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수소를 검출하는 장치에 있어서,수소에 노출되면 색깔이 변하는 가스채색 물질로 구성된 박막;상기 박막 상에 Pd과 Ni을 합금하여 증착한 촉매층;상기 박막을 지지하는 기질(substrate); 및상기 박막에 빛을 전달하고, 상기 박막으로부터 반사되는 빛을 역방향으로 전달하는 광섬유를 포함하되,상기 촉매층에서 Ni의 함유량은 0
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제 1 항에 있어서,상기 촉매층은, 비활성 기체를 주입하여 상기 비활성 기체와 Pd 및 Ni을 충돌시킴으로써 플라즈마(plasma)를 생성한 후, 상기 생성된 플라즈마를 상기 박막 상에 증착시켜 생성된 것을 특징으로 하는 장치
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제 2 항에 있어서,상기 Pd은 DC(direct current) 스퍼터링(sputtering) 방법을 이용하여 상기 박막 상에 증착시키고,상기 Ni은 RF(radio frequency) 스퍼터링 방법을 이용하여 상기 박막 상에 증착시키는 것을 특징으로 하는 장치
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제 1 항에 있어서,상기 촉매층은 수소에 노출되었을 때 상기 수소 분자를 양성자와 전자로 해리시키고, 해리된 상기 양성자와 전자를 통과시켜 상기 박막에 전달함으로써 상기 박막의 색깔을 변화시키는 것을 특징으로 하는 장치
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제 1 항에 있어서,상기 박막은, 텅스텐 산화물, 텅스테이트, 니오복사이드, 몰리브덴 산화물, 몰리브테이드, 니켈 산화물, 티타늄 산화물, 바나듐 산화물, 이리듐 산화물, 망간 산화물, 코발트 산화물, 루테늄 산화물 및 이의 혼합물로 구성된 군으로부터 선택되는 전이금속 산화물인 것을 특징으로 하는 장치
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수소를 검출하는 장치에 있어서,수소에 노출되면 색깔이 변하는 가스채색 물질로 구성된 박막과 상기 박막 상에 Pd과 Ni을 합금하여 증착한 촉매층을 포함하는 센싱 모듈;빛을 발생시키는 광원, 상기 광원으로부터 발생된 빛을 분리시키는 광분리기, 상기 분리된 빛을 집광하여 상기 센싱 모듈에 전달하는 대물렌즈, 상기 센싱 모듈에서 반사된 빛을 수신하여 전기신호로 변환하는 광검출부를 포함하는 제어 모듈; 및상기 센싱 모듈과 상기 제어 모듈을 광학적으로 연결하는 광섬유를 포함하되,상기 촉매층에서 Ni의 함유량은 0
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제 8 항에 있어서,상기 촉매층은, 비활성 기체를 주입하여 상기 비활성 기체와 Pd 및 Ni을 충돌시킴으로써 플라즈마를 생성한 후, 상기 생성된 플라즈마를 상기 박막 상에 증착시켜 생성된 것을 특징으로 하는 장치
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제 8 항에 있어서,상기 광섬유를 연장하여 상기 센싱 모듈과 상기 제어 모듈을 물리적으로 이격시키고,상기 센싱 모듈만이 검출하고자 하는 수소 기체에 접촉하는 것을 특징으로 하는 장치
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수소 검출 장치를 위한 센서 제조 방법에 있어서,제 1 스퍼터링 방법을 이용하여 W를 기질에 증착시켜 텅스텐 산화물 박막을 형성하는 단계;제 2 스퍼터링 방법을 이용하여 Pd 및 Ni을 동시에 상기 박막에 증착시켜 촉매층을 형성하는 단계; 및상기 박막에 빛을 전달하고, 상기 박막으로부터 반사되는 빛을 역방향으로 전달하는 광섬유를 상기 박막에 광학적으로 연결하는 단계를 포함하고,상기 촉매층은 수소에 노출되었을 때 상기 수소 분자를 양성자와 전자로 해리시키고, 해리된 상기 양성자와 전자를 통과시켜 상기 박막에 전달함으로써 상기 박막의 색깔을 변화시키며,상기 박막은 상기 변화된 색깔에 따라 상기 광섬유로부터 전달된 빛에 대한 반사도가 달라지고,상기 촉매층에서 Ni의 함유량은 0
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제 12 항에 있어서,상기 제 1 스퍼터링 방법은,챔버(chamber) 내에 비활성 기체를 공급하고 DC 전압을 인가하는 단계;상기 전압에 의해 음극(cathode)으로부터 방출된 전자와 상기 비활성 기체를 충돌시켜 글로 방전(glow discharge)시킴으로써 플라즈마를 형성하는 단계;상기 플라즈마의 양이온을 음극 쪽으로 가속시켜 상기 W 표면에 충돌시키는 단계; 및상기 충돌에 의해 상기 W 표면으로부터 중성 원자가 유출되어 상기 기질에 상기 텅스텐 산화물 박막을 형성하는 단계를 포함하는 방법
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제 12 항에 있어서,상기 제 2 스퍼터링 방법은,무선 주파수(RF)에 의해 전극의 극성을 변화시킴으로써 형성된 플라즈마를 이용하여 상기 Ni의 표면으로부터 중성 원자를 유출시키는 단계;DC 전압을 인가하여 글로 방전시킴으로써 형성된 플라즈마를 이용하여 상기 Pd의 표면으로부터 중성 원자를 유출시키는 단계; 및상기 유출된 Ni의 중성 원자와 상기 유출된 Pd의 중성 원자를 상기 박막에 동시에 증착시키는 단계를 포함하는 방법
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제 14 항에 있어서,상기 무선 주파수 및 상기 DC 전압을 조절하여 상기 Ni 및 상기 Pd의 합금 비율을 결정하는 것을 특징으로 하는 방법
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