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전계 발광 시료의 분석 장치로서,상기 전계 발광 시료에 펄스 구동 신호를 인가하는 펄스 발생기;상기 펄스 구동 신호가 인가됨에 따라 상기 전계 발광 시료로부터 방출되는 EL(Electroluminescence)을 수광한 수광 신호의 트랜지언트(transient) 구간에 대한 EL 영상을 촬영하는 영상 촬영기; 및상기 트랜지언트 구간 중 적어도 2개의 시점에 촬영된 EL 영상에 기초하여, EL 영상 내의 각각의 동일 좌표들에 관한 상기 적어도 2개 시점의 상기 수광 신호의 세기의 차를 시간에 따라 맵핑한 3차원 맵핑 영상을 생성하고, 상기 생성된 3차원 맵핑 영상을 분석하여 상기 전계 발광 시료에서의 결함형 전하트랩에 관한 정보를 획득하는 ELTS(Electroluminescence Transient Spectroscopy) 분석부를 포함하는 전계 발광 시료 분석 장치
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제1항에 있어서,상기 펄스 발생기는 구형파 펄스 신호를 상기 전계 발광 시료에 인가하고, 상기 영상 촬영기는 상기 전계 발광 시료로부터 상기 인가된 구형파 펄스 신호에 반응하여 방출된 EL을 수광하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 시료 분석 장치
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제1항에 있어서,상기 ELTS 분석부는,상기 수광 신호의 트랜지언트 구간 내의 2개의 시점을 샘플링 시점으로 하여 상기 2개의 샘플링 시점에서의 수광 신호의 세기의 차를 산출하고,상기 2개의 샘플링 시점에서의 수광 신호의 세기의 차를 미리 지정된 기준 시점의 수광 신호의 세기에 기준하여 정규화시키고,상기 정규화된 세기 값을 상기 2개의 샘플링 시점의 시간 간격으로 나눈 값이 미리 지정된 임계치 이상인 경우를 상기 3차원 맵핑 영상 내의 해당 좌표에 맵핑 표시하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 시료 분석 장치
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제3항에 있어서,상기 ELTS 분석부는,상기 3차원 맵핑 영상 내에 맵핑 표시된 좌표에 해당하는 위치를 상기 전계 발광 시료 내의 상기 전하 트랩에 의한 결함 위치로 판정하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 시료 분석 장치
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제1항에 있어서,상기 영상 촬영기는, 상기 수광 신호의 트랜지언트 구간 내의 특정 시점을 시작점으로 하여 미리 지정된 시간 간격 마다에 촬영된 EL 영상을 연속하여 획득하되,상기 ELTS 분석부는,상기 연속하여 획득된 EL 영상들에 기초하여, 상기 시작점이 되는 특정 시점에서의 수광 신호의 세기와 상기 미리 지정된 시간 간격이 경과하였을 때의 각각에서의 수광 신호의 세기 간의 차이를 정규화한 세기 값을 연속하여 산출하고, 상기 연속 산출된 정규화한 세기 값들 중 극대값이 미리 지정된 임계치 이상인 경우를 상기 3차원 맵핑 영상 내의 해당 좌표에 맵핑 표시하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 시료 분석 장치
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제5항에 있어서,상기 ELTS 분석부는,상기 정규화한 세기 값들의 연속 산출에 하기의 수학식을 이용하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 시료 분석 장치
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제5항에 있어서,상기 ELTS 분석부는,상기 3차원 맵핑 영상 내에 맵핑 표시된 좌표에 해당하는 위치를 상기 전계 발광 시료 내의 상기 전하 트랩에 의한 결함 위치로 판정하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 시료 분석 장치
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제3항에 있어서,상기 ELTS 분석부는,상기 정규화된 세기 값을 상기 2개의 샘플링 시점의 시간 간격으로 나눈 값에 기초하여, 상기 전계 발광 시료로부터 방출된 EL의 라이프타임을 분석하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 시료 분석 장치
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제1항에 있어서,상기 영상 촬영기는, CCD 카메라 또는 근적외선 카메라인 것을 특징으로 하는 전계 발광 시료 분석 장치
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