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액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2015188682
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 (a) 원료분말이 분산된 마이크로 액적을 챔버 내에 분무하는 단계; (b) 분무된 마이크로 액적을 가열하여 에어로졸이 형성되도록 하는 단계; 및 (c) 상기 에어로졸을 노즐을 통해 분사하여 기판에 증착시키는 단계; 를 포함하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 방법을 제공한다.또한, 본 발명은 원료분말이 분산된 마이크로 액적을 분무하는 미세노즐; 분무된 마이크로 액적을 수용하고 가열하여 에어로졸화시키는 가열챔버; 가열챔버 내의 에어로졸을 분사하는 분사노즐; 및 내부에 기판이 설치되어 있고, 배기부가 구비된 증착챔버; 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 장치를 함께 제공한다.마이크로 액적, 나노구조체, 박막, 증착
Int. CL B82B 1/00 (2006.01) C01B 31/02 (2006.01) B32B 37/00 (2006.01)
CPC B32B 37/00(2013.01) B32B 37/00(2013.01) B32B 37/00(2013.01)
출원번호/일자 1020090035082 (2009.04.22)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1110588-0000 (2012.01.20)
공개번호/일자 10-2010-0116400 (2010.11.01) 문서열기
공고번호/일자 (20120215) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.04.22)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 허승헌 대한민국 서울특별시 동작구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 조성광 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***(가산동, 가산더블유센터) ****호(지본특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2009-0243618-07
2 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2009.07.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-0410357-58
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2009.07.15 수리 (Accepted) 1-1-2009-0429129-99
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.10.28 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.12.16 수리 (Accepted) 9-1-2010-0077379-51
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.02.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0096072-68
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.04.18 수리 (Accepted) 1-1-2011-0282878-67
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.05.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0369230-65
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.05.18 수리 (Accepted) 1-1-2011-0369232-56
10 등록결정서
Decision to grant		 2011.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0709299-26
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000353-25
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
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번호 청구항
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원료분말이 분산된 마이크로 액적을 분무하는 미세노즐;분무된 마이크로 액적을 수용하고 가열하여 에어로졸화시키는 가열챔버;가열챔버 내의 에어로졸을 분사하는 분사노즐; 및내부에 기판이 설치되어 있고, 배기부가 구비된 증착챔버; 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 장치
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제17항에서,상기 증착챔버 내부의 기판을 회전시키거나 상하좌우로 이동시킬 수 있는 구동장치; 를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 장치
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제17항에서,원료분말용액을 저장하는 원료저장챔버; 상기 원료저장챔버와 가열챔버를 연결하며, 상기 가열챔버측 말단은 상기 미세노즐과 결합된 마이크로튜브; 및상기 원료저장챔버 내에 수송기체를 주입하여 원료분말용액을 액적화시키는 가스공급장치; 를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 장치
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제17항, 제19항 및 제20항 중 어느 한 항에서,상기 가열챔버는 상기 증착챔버 내에 구비된 것을 특징으로 하는 액상-기상 전환 에어로졸 증착 장치
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.