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불소화합물 가스의 흡착처리제, 그를 이용한 불소화합물 가스 처리방법 및 불소화합물 가스 처리장치

  • 기술번호 : KST2015188704
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 불소화합물 가스의 흡착처리제, 그를 이용한 불소화합물 가스 처리방법 및 불소화합물 가스 처리장치에 관한 것으로서, 본 발명에 의한 불소화합물 가스의 흡착처리제는, 철 산화물 또는 철(Fe)과, 알칼리금속 화합물 및 알칼리토금속 화합물을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하며, 본 발명에 의한 불소화합물 가스의 처리방법은, 상기 흡착처리제를 200 내지 800℃ 온도에서 불소화합물 가스와 접촉시키는 단계를 포함하여 이루어진다. 또한, 본 발명에 의한 불소화합물 가스 처리장치는 상기 흡착처리제를 충진한 반응기를 포함하여 이루어진다. 본 발명에 의하면, 반도체 또는 디스플레이 장치의 에칭 또는 클리닝 공정에서 배출되는 다량의 PFC(퍼플루오르 카본) 가스, 특히 SF6를 저온에서, 물 등의 추가적인 재료 투입 없이도 효율적으로 분해하여 친환경적으로 처리할 수 있다. 불소화합물, PFCs, 에칭, 클리닝, 흡착처리제, 산화철, 알칼리, 처리장치
Int. CL B01J 20/02 (2006.01) B01D 53/68 (2006.01) B01J 20/04 (2006.01)
CPC B01J 20/0229(2013.01) B01J 20/0229(2013.01) B01J 20/0229(2013.01) B01J 20/0229(2013.01) B01J 20/0229(2013.01) B01J 20/0229(2013.01) B01J 20/0229(2013.01) B01J 20/0229(2013.01)
출원번호/일자 1020080073659 (2008.07.28)
출원인 주식회사 세미라인, 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-0968089-0000 (2010.06.29)
공개번호/일자 10-2010-0012324 (2010.02.08) 문서열기
공고번호/일자 (20100705) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.07.28)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***
2 주식회사 세미라인 대한민국 경기도 화성시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김대성 대한민국 서울 구로구
2 이승호 대한민국 서울특별시 동작구
3 하문수 대한민국 강원도 춘천

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 나승택 대한민국 서울특별시 서초구 양재천로**길 **, *층 (양재동, 대화빌딩)(무일국제특허법률사무소)
2 조영현 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***(도곡동, 은하수빌딩) *층(특허사무소시선)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 세미라인 대한민국 경기도 화성시
2 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.07.28 수리 (Accepted) 1-1-2008-0543245-94
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2008-5187618-45
3 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2009.07.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-0410356-13
4 [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)
2009.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-0431912-25
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.08.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.09.11 수리 (Accepted) 9-1-2009-0050037-62
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.12.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0523473-10
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2010.02.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0113174-80
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.03.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0180626-75
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.03.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0180634-30
11 등록결정서
Decision to grant
2010.03.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0136577-06
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000353-25
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
14 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.08.05 수리 (Accepted) 1-1-2016-0761178-56
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번호 청구항
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철 산화물 또는 철(Fe)과, 알칼리금속 화합물 및 알칼리토금속 화합물을 포함하는 흡착처리제를 200 내지 800℃ 온도에서 불소화합물 가스와 접촉시키는 단계를 포함하여 이루어지며, 상기 흡착처리제와 접촉된 가스를 알칼리금속 화합물 및 알칼리토금속 화합물로 이루어진 제2차 흡착처리제를 이용하여 추가적으로 처리하는 단계를 더 포함하고, 상기 흡착처리제 및 상기 제2차 흡착처리제에 있어서, 상기 알칼리금속 화합물 및 알칼리토금속 화합물은, 알칼리금속 및 알칼리토금속의 탄산염 또는 수산화염 중 적어도 하나로 이루어지며, 상기 철 산화물 또는 철 100중량부에 대하여, 상기 알칼리토금속 화합물은 80 내지 2000중량부, 상기 알칼리금속 화합물은 0
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제6항에 있어서, 상기 불소화합물 가스는 SF6인 것을 특징으로 하는 불소화합물 가스의 처리방법
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불소화합물 가스가 유입되는 유입구; 상기 유입구에서 유입된 불소화합물 가스를 가열하도록 외주면의 일부 또는 전부를 둘러싸는 히터와, 내부 공간에 철 산화물 또는 철과, 알칼리금속 화합물 및 알칼리토금속 화합물을 포함하는 흡착처리제가 충진되어 이루어진 제1차 흡착처리제 충진부를 포함하여
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제9항에 있어서, 상기 제2차 흡착처리제는, 철 또는 철 산화물을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 불소화합물 가스 처리장치
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제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 불소화합물 가스는 SF6인 것을 특징으로 하는 불소화합물 가스 처리장치
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제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 유입구를 통하여 반응기에 공급되는 불소화합물 가스는 아르곤, 헬륨, 및 질소 중 적어도 하나로 이루어진 비활성 가스 또는 공기로 희석시킨 후 공급되거나, 또는 상온에서는 액상이지만, 상기 비활성 가스 또는 공기를 수반하는 경우에 증기를 더 포함하여 이루어지는 혼합가스 형태로 공급되는 것을 특징으로 하는 불소화합물 가스 처리장치
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