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감광성 세라믹 시트를 이용한 미세유체소자 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015188739
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 감광성 세라믹 시트를 이용한 소자의 제조 방법에 관한 것으로 특히 시트(sheet)를 이용함으로써 페이스트를 이용하여 제작된 기판에 의해 구현할 수 없는 다층형 3차원 형태의 제작이 가능하며, 회로요철도 및 채널의 깊이가 향상되는 감광성 세라믹 시트를 이용한 미세유체소자(microfluidic device)의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은 소정의 패턴 깊이를 확보하기 위해 기판에 감광성 시트를 열간 프레스(press) 장비를 이용하여 대략 1000psi의 압력으로 약 30초간 적층을 실시하는 단계; 적층된 기판을 얼라이너(aligner)를 이용하여 배열하고, 자외선노광기(UV exposure)를 이용하여 노광을 실시하는 단계; 오븐(oven)을 이용하여 80℃의 온도에서 10분간 완전건조를 실시하고, 현상액을 이용하여 형상 제작하는 현상단계; 및 1℃/min의 속도로 승온 후 500℃로 1시간 동안 유지하고, 그런 다음 2℃/min의 속도로 800℃까지 승온 후 1시간 동안 유지하는 소결을 실시하는 단계;로 구성된다. 감광성, 세라믹, 기판, 시트, 페이스트, 다층형, 회로요철도, 채널, 소자, 미세유체
Int. CL H01L 21/027 (2006.01) H01L 23/15 (2006.01)
CPC H01L 21/033(2013.01) H01L 21/033(2013.01) H01L 21/033(2013.01)
출원번호/일자 1020080119567 (2008.11.28)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1059838-0000 (2011.08.22)
공개번호/일자 10-2010-0060816 (2010.06.07) 문서열기
공고번호/일자 (20110829) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.11.28)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤영준 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 김효태 대한민국 경기도 안양시 만안구
3 김종희 대한민국 서울특별시 송파구
4 최재경 대한민국 인천광역시 계양구
5 임종우 대한민국 서울특별시 금천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 최환욱 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, *층(역삼동, 케이앤와이빌딩)(특허법인 수)
2 강민수 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, *층 (역삼동, 우일빌딩)(광개토국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (주)와이앤지 경기도 용인시 기흥구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2008-0822582-87
2 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2009.07.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-0410356-13
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2009.07.15 수리 (Accepted) 1-1-2009-0430387-86
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.09.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination		 2010.10.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2010-0018370-96
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.10.19 수리 (Accepted) 9-1-2010-0065478-47
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.10.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0471334-32
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.10.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0682623-79
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0682622-23
10 등록결정서
Decision to grant		 2011.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0293550-02
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000353-25
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
복수의 감광성 시트를 제작하는 단계; 상기 제작된 각 감광성 시트를 노광하는 단계; 상기 노광에 의하여 제작된 각 시트를 건조하고, 현상하여 형상을 제작하는 단계; 및 상기 현상된 각 시트를 일괄 적층하는 단계; 및 상기 적층된 시트를 소결하는 단계;로 구성되는 것을 특징으로 하는 감광성 세라믹 시트를 이용한 미세유체소자의 제조 방법
2 2
상기 노광에 의하여 제작된 각 시트를 건조하는 단계는, 60 ~ 100℃의 온도에서 5 ~ 15분간 실시되는 단계에 의하고, 상기 적층된 시트를 소결하는 단계는, 0
3 3
제 2항에 있어서, 감광성 시트의 재료는, 용매, 중합체 바인더, 단량체, 광개시제, 분산제, 침강방지제, 가소제를 포함하는 유기조성물과; 알루미나(Al2O3), 코디어라이트(MgO-CaO-2Al2O3-5SiO2)중에서 선택되는 적어도 하나의 무기조성물;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 감광성 세라믹 기판을 이용한 미세유체소자의 제조방법
4 4
제 3항에 있어서, 상기 무기조성물을 상기 유기조성물 100 중량부를 기준으로 하였을 때, 80 ~ 110 중량부인 것을 특징으로 하는 감광성 세라믹 기판을 이용한 미세유체소자의 제조방법
5 5
제 4항에 있어서, 상기 용매는 톨루엔과 에탄올이 사용되며, 상기 무기조성물을 100중량부로 하였을 때, 상기 톨루엔은 30 ~ 40 중량부, 상기 에탄올은 15 ~ 25 중량부인 것을 특징으로 하는 감광성 세라믹 기판을 이용한 미세유체소자의 제조방법
6 6
제 1항에 있어서, 상기 노광을 실시하는 단계는, 단일의 감광성 시트를 노광하는 경우에는 자외선 강도를 280 ~ 320W로 설정하고 40 ~ 80초간 실시하며, 복수의 감광성 시트를 노광하는 경우에는 자외선 강도는 320 ~ 380W로 설정하고 40 ~ 80초간 실시하는 것을 특징으로 하는 감광성 세라믹 시트를 이용한 소자의 제조 방법
7 7
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항의 방법에 의하여 제조되며, 1㎛ ~ 10mm의 채널선폭과 1㎛ ~ 500㎛의 채널깊이를 갖는 것을 특징으로 하는 미세유체소자
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