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금속재질의 금속체를 준비하는 공정과;
상기 금속체의 표면에 실리카 나노 분말을 포함하는 폴리카보실란 용액을 코팅하는 공정과;
상기 실리카 나노 분말을 포함하는 폴리카보실란 용액이 코팅된 금속체를 200~400℃의 온도로 1차 열처리하는 공정과;
상기 1차 열처리된 금속체를 600~1500℃의 온도로 2차 열처리하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드층을 포함하고,
상기 실리카 나노 분말은 입자크기가 50nm 이하인 금속체의 제조방법
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제 1항에 있어서,
상기 2차 열처리하는 공정은 800~1200℃의 온도로 수행되는 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법
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제 1항에 있어서,
상기 금속체의 표면에 실리카 나노 분말을 포함하는 폴리카보실란 용액을 코팅하는 공정에서 실리카 나노 분말을 포함하는 폴리카보실란 용액의 점도는 5cp이상인 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법
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제 1항에 있어서,
상기 금속체의 표면에 실리카 나노 분말을 포함하는 폴리카보실란 용액을 코팅하는 공정에서 실리카 나노 분말을 포함하는 폴리카보실란 용액은 폴리카보실란의 농도가 20 ~ 50wt%이고, 실리카 나노분말의 농도가 1~3wt%인것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법
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삭제
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제 1항, 제3항, 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 실리카 나노 분말은 입자크기가 20nm 이하인 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법
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제 1항, 제3항, 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 폴리카보실란은 겔 투과 크로마토 그래피(GPC; Gel Permeation Chromatography)에 의해 측정되는 폴리스티렌 환산 중량평균 분자량(Mw)이 2000 ~ 6000인 폴리페닐카보실란인 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법
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제 1항에 있어서,
상기 2차 열처리 공정은 불활성 가스 또는 진공분위기 중에서 수행되는 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법
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제 1항에 있어서,
상기 2차 열처리 후, 상기 금속체의 표면에 형성된 실리콘옥시카바이드층의 두께는 1
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제 1항에 있어서,
상기 금속체의 금속재질은 Ni-Cr 합금인 것을 특징으로 하는 실리콘옥시카바이드층을 포함하는 금속체의 제조방법
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