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질화알루미늄 소재의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015188754
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 질화알루미늄 내에 입계상을 형성하는 산화이트륨(Y2O3)이 3~10중량% 함유되고, 질화알루미늄(AlN)의 자리에 치환형으로 고용되는 산화크롬(Cr2O3)이 0.01~0.5중량% 함유되며, 600℃에서의 비저항이 107~108 Ω·㎝ 범위를 나타내는 질화알루미늄 소재의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 소결조제로 사용되는 산화이트륨(Y2O3)의 함량을 종래에 비하여 획기적으로 줄일 수 있으며, 이에 따라 플라즈마 노출 시에 오염 입자의 원인이 될 수 있는 입계상을 최소할 수 있어 오염 입자의 발생 빈도를 현저하게 줄일 수 있고, 적은 산화이트륨(Y2O3)의 함량으로 고열전도성을 가지면서도 상온~600℃ 구간에서 전기적 특성이 우수하며, 미량의 산화크롬(Cr2O3)을 첨가하여 질화알루미늄(AlN) 입자 내부로 고용시킴으로써 추가의 입계상이 생성됨이 없이도 전기적 특성이 향상되고, 탄소를 첨가하여 열탄소환원 반응이 일어나도록 열처리함으로써 질화알루미늄(AlN) 입자에 고용된 산소량이 감소되고 적은 산화이트륨(Y2O3)의 함량에도 높은 비저항 특성을 얻을 수가 있다.질화알루미늄(AlN), 산화이트륨, 산화크롬, 열탄소환원(carbothermal reduction)
Int. CL C04B 35/505 (2006.01) C04B 35/057 (2006.01) C04B 35/581 (2006.01)
CPC C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01) C04B 35/581(2013.01)
출원번호/일자 1020090007732 (2009.01.30)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1195009-0000 (2012.10.22)
공개번호/일자 10-2010-0088479 (2010.08.09) 문서열기
공고번호/일자 (20121029) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.01.30)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이성민 대한민국 경기도 광주시
2 오윤석 대한민국 서울특별시 강동구
3 김희식 대한민국 대구광역시 서구
4 김형태 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고길수 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 **, *층 (서초동)(정석국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2009-0061660-91
2 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2009.07.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-0410357-58
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2009.07.13 수리 (Accepted) 1-1-2009-0425727-99
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.05.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.06.16 수리 (Accepted) 9-1-2010-0036739-90
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.03.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0147447-61
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-0361736-79
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.06.15 수리 (Accepted) 1-1-2011-0450920-39
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.06.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0450882-92
10 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2011.12.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0757838-06
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.01.12 수리 (Accepted) 1-1-2012-0030198-75
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.01.12 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0030188-18
13 등록결정서
Decision to grant
2012.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0436558-66
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000353-25
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
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번호 청구항
1 1
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5 5
(a) 질화알루미늄(AlN) 분말, 산화이트륨(Y2O3) 분말 3~10중량% 및 탄소(C) 분말 0
6 6
제5항에 있어서, 상기 열탄소환원 반응을 시킨 후, 상기 열처리 온도부터 상기 소결 온도까지 승온하면서 10~30MPa의 압력으로 가압하고, 상기 소결 온도에서도 10~30MPa의 압력이 유지되면서 소결이 이루어지는 것을 특징으로 하는 질화알루미늄 소재의 제조방법
7 7
제5항에 있어서, 상기 (a) 단계는, 산화크롬(Cr2O3) 분말 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.