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실리콘 슬러지 재활용 및 탄화규소 소결체 제조방법

  • 기술번호 : KST2015188816
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 실리콘 폐슬러지로부터 탄화규소 소결체를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 발명은 실리콘 웨이퍼 절단 공정에서 발생하는 실리콘 슬러지를 제공하는 단계; 상기 실리콘 슬러지를 열처리하여 유분의 일부를 제거하는 단계; 상기 실리콘 슬러지와 탄소원을 혼합 및 성형하는 단계; 및 비산화성 분위기 및 1300~1900℃의 온도에서 상기 혼합물을 반응소결하는 단계를 포함하는 실리콘 웨이퍼 절단시 발생하는 슬러지로부터 탄화규소 소결체를 제조하는 방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 반도체 웨이퍼 가공 공장에서 발생하는 실리콘 슬러지의 전량 처리가 가능하고, 낮은 제조 비용으로 고부가가치의 탄화규소를 제조하는 경제적인 방법을 제공할 수 있게 된다. 실리콘 슬러지, 탄화규소, 탄소원, 유분, 웨이퍼
Int. CL C04B 35/573 (2006.01) C04B 35/565 (2006.01) C04B 35/64 (2006.01)
CPC C04B 35/62204(2013.01) C04B 35/62204(2013.01) C04B 35/62204(2013.01) C04B 35/62204(2013.01)
출원번호/일자 1020090117371 (2009.11.30)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1079311-0000 (2011.10.27)
공개번호/일자 10-2011-0060701 (2011.06.08) 문서열기
공고번호/일자 (20111104) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.11.30)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권우택 대한민국 서울특별시 강남구
2 김영희 대한민국 서울특별시 서대문구
3 김수룡 대한민국 서울특별시 관악구
4 이윤주 대한민국 서울특별시 종로구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충정 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 *
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2009-0739705-15
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2010.11.19 수리 (Accepted) 1-1-2010-0757143-02
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search		 2010.11.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2010.12.07 수리 (Accepted) 9-1-2010-0074108-81
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.01.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0029428-69
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2011-0193128-88
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.03.23 수리 (Accepted) 1-1-2011-0213734-06
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.03.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0213733-50
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.05.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0253719-94
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.06.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0423417-52
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.06.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0423418-08
12 등록결정서
Decision to grant		 2011.09.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0510923-19
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000353-25
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
실리콘 웨이퍼 절단 공정에서 발생하는 실리콘 슬러지를 제공하는 단계; 비산화성 분위기에서 상기 실리콘 슬러지를 열처리하여 유분의 일부를 제거하는 단계; 상기 실리콘 슬러지와 탄소원을 혼합하고 성형체를 제조하는 단계; 및 비산화성 분위기 및 1300~1900℃의 온도에서 상기 성형체를 반응소결하는 단계를 포함하는 실리콘 웨이퍼 절단시 발생하는 슬러지로부터 탄화규소 소결체를 제조하는 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 실리콘 슬러지는 SiC 분말을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄화규소 소결체를 제조하는 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 유분 제거 단계의 열처리는 100~600℃의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 탄화규소 소결체를 제조하는 방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 유분 제거 단계를 거친 후의 실리콘 슬러지는 0
5 5
제1항에 있어서, 상기 혼합 및 성형 단계 이전에 상기 실리콘 슬러지를 분리 정제하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반응소결 탄화규소 소결체를 제조하는 방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 혼합 단계에서 Al2O3나 SiC를 추가로 혼합하는 것을 특징으로 하는 반응소결 탄화규소 소결체를 제조하는 방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 탄소원은 카본 분말, 유기물 또는 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는 탄화규소 소결체를 제조하는 방법
8 8
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