| 요약 |
본 발명은, 니켈-몰리브덴(Ni1-XMoX, 여기서 0.5≤X003c#1이고 X는 실수임) 전극을 준비하는 단계와, 상기 니켈-몰리브덴 전극과 니켈 플레이트를 접합하려는 면이 서로 닿도록 접촉시켜 몰드에 충진하고 방전 플라즈마 소결 장치의 챔버에 세팅하는 단계와, 상기 챔버 내부를 진공화시켜 감압하고, 상기 니켈-몰리브덴 전극과 상기 니켈 플레이트를 가압하면서 직류펄스를 인가하여 니켈과 몰리브덴의 용융 온도보다 낮은 목표하는 접합 온도로 상승시키는 단계와, 상기 접합 온도에서 상기 니켈-몰리브덴 전극과 상기 니켈 플레이트를 가압하면서 상기 니켈-몰리브덴 전극과 상기 니켈 플레이트가 접합되게 하는 단계와, 상기 챔버의 온도를 냉각하여 상기 니켈-몰리브덴 전극과 상기 니켈 플레이트의 접합체를 얻는 단계와, 상기 접합체, 열전반도체 및 상기 접합체가 순차적으로 적층되게 하고, 상기 접합체의 니켈 플레이트가 상기 열전반도체와 접촉되게 배치하여 몰드에 충진하고 방전 플라즈마 소결 장치의 챔버에 세팅하는 단계와, 상기 챔버 내부를 진공화시켜 감압하고, 상기 접합체와 상기 열전반도체를 가압하면서 직류펄스를 인가하여 상기 열전반도체의 용융 온도보다 낮은 목표하는 접합 온도로 상승시키는 단계와, 상기 접합 온도에서 상기 접합체와 상기 열전반도체를 가압하면서 상기 열전반도체와 상기 접합체의 니켈 플레이트가 접합되게 하는 단계 및 상기 챔버의 온도를 냉각하여 상기 접합체의 니켈 플레이트와 상기 열전반도체가 접합된 열전소자를 얻는 단계를 포함하는 열전소자의 제조방법 및 이를 이용하여 제조된 열전소자에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 니켈-몰리브덴 전극, 니켈 플레이트, 열전반도체, 니켈 플레이트 및 니켈-몰리브덴 전극이 순차적으로 연속된 구조를 이루며, 각 계면은 크랙(crack)이나 보이드(void)와 같은 결함이 거의 없으며 계면 정합이 잘 이루어져 인장력에 대한 강성이 우수하고, 열전반도체인 CoSb3와 열팽창계수 차이가 다른 전극 소재에 비하여 매우 작은 니켈-몰리브덴 전극을 사용하므로 고온에서도 열전반도체와의 계면에서 들뜨거나 하는 등의 부정합이 작아 계면 분리가 일어나지 않으므로 고온에서의 신뢰성이 높다. 열전소자, 전극, 니켈, 몰리브덴, 열팽창계수, 방전 플라즈마 소결(Spark Plasma Sintering), 제벡 효과(Seebeck Effect), 펠티에 효과(Peltier Effect)
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