| 1 |
1
폴리카보실란을 방사하여 폴리카보실란 섬유를 제조하는 단계(S1); 상기 폴리카보실란 섬유를 할라이드계 기체를 이용한 기체훈증법으로 안정화 시키는 단계(S2); 및상기 안정화된 폴리카보실란 섬유를 열처리하는 소성 단계(S3);를 포함하는 실리콘카바이드의 제조방법
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 폴리카보실란은 중량평균분자량이 1500 내지 4500인 것을 특징으로 하는 실리콘카바이드의 제조방법
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 폴리카보실란은 용융온도가 300℃ 이하인 것을 특징으로 하는 실리콘카바이드의 제조방법
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 폴리카보실란은 용융온도가 130 내지 250℃인 것을 특징으로 하는 실리콘카바이드의 제조방법
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, 상기 S2 단계에서 할라이드계 기체는 불소(F), 염소(Cl), 브롬(Br) 및 요오드(I)로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 할로겐 원소를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘카바이드의 제조방법
|
| 6 |
6
제1항에 있어서, 상기 S2 단계에서 기체훈증법은 유량을 제어하는 경우 유량이 10 내지 20 cc/min이 되도록 실시하는 것을 특징으로 하는 실리콘카바이드의 제조방법
|
| 7 |
7
제1항에 있어서, 상기 S2 단계에서 기체훈증법은 훈증온도가 20 내지 80℃이고, 훈증시간이 0
|
| 8 |
8
제1항에 있어서, 상기 S3 단계에서 소성 공정은 1000 내지 1800℃에서 1 내지 5시간 동안 실시하는 것을 특징으로 하는 실리콘카바이드의 제조방법
|
| 9 |
9
할라이드계 기체를 이용한 기체훈증법으로 안정화시킨 폴리카보실란으로 제조한 실리콘카바이드
|
| 10 |
10
제9항에 있어서, 상기 폴리카보실란은 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 따라 실시하는 기체훈증법으로 안정화된 것을 특징으로 하는 실리콘카바이드
|
| 11 |
11
제9항에 있어서, 상기 실리콘카바이드는 섬유의 직경이 5 내지 10㎛인 것을 특징으로 하는 실리콘카바이드
|
| 12 |
12
제9항에 있어서, 상기 실리콘카바이드는 상온에서의 인장강도가 1
|
