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정전척에 사용되는 소재에 있어서, 산화이트륨(Y2O3) 100중량부와, 명도를 낮추어 복사열에 의한 열전달이 높아 웨이퍼의 온도 균일도를 향상시키고 유전체 색상의 변동을 억제하기 위한 카본(C), WC, TiC, TaC, VC, CrC, ZrC, NbC, MoC, HfC 및 NiO 중에서 선택된 1종 이상의 물질이 상기 산화이트륨(Y2O3) 100중량부에 대하여 0
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제1항에 있어서, 상기 정전척용 흑색 유전체 소재에 웨이퍼와 접촉하는 유전체의 경도를 조절하기 위한 산화알루미늄(Al2O3)이 상기 산화이트륨(Y2O3) 100중량부에 대하여 0
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 정전척은 유전체 상하면에 존재하는 서로 다른 전하들 간의 정전기적인 인력을 이용하여 웨이퍼를 고정하는 쿨롱형 정전척인 것을 특징으로 하는 정전척용 흑색 유전체 소재
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정전척에 사용되는 소재의 제조방법에 있어서, 산화이트륨(Y2O3) 분말과, 상기 산화이트륨(Y2O3) 100중량부에 대하여 명도를 낮추어 복사열에 의한 열전달이 높아 웨이퍼의 온도 균일도를 향상시키고 유전체 색상의 변동을 억제하기 위한 카본(C), WC, TiC, TaC, VC, CrC, ZrC, NbC, MoC, HfC 및 NiO 중에서 선택된 1종 이상의 분말 0
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제5항에 있어서, 상기 원료분말에 웨이퍼와 접촉하는 유전체의 경도를 조절하기 위한 산화알루미늄(Al2O3)이 더 포함되며, 상기 산화알루미늄(Al2O3)은 상기 원료분말에 상기 산화이트륨(Y2O3) 100중량부에 대하여 0
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제5항에 있어서, 상기 가압 소결은 1400~1600℃의 온도에서 10~30 MPa의 압력을 인가하여 30분～10시간 동안 수행하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 정전척용 흑색 유전체 소재의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 가압 소결은 아르곤(Ar) 가스, 질소(N2) 가스 또는 이들의 혼합가스 분위기에서 수행되고, 공급하는 가스의 유량은 100～2000sccm 범위인 것을 특징으로 하는 정전척용 흑색 유전체 소재의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 혼합된 원료분말을 가압 소결하기 위한 몰드는 흑연 재질로 이루어진 몰드를 사용하는 것을 정전척용 흑색 유전체 소재의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 정전척은 유전체 상하면에 존재하는 서로 다른 전하들 간의 정전기적인 인력을 이용하여 웨이퍼를 고정하는 쿨롱형 정전척인 것을 특징으로 하는 정전척용 흑색 유전체 소재의 제조방법
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