맞춤기술찾기

이전대상기술

확산방지층이 코팅된 소다라임 기판위에 인듐주석 산화물 투명 도전막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015188901
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 PDP, LCD, OLED, FED 및 E-paper의 투명 전극으로 사용되는 확산방지층이 코팅된 소다라임 기판위에 인듐주석 산화물 투명 도전막의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판디스플레이에 사용되는 고가의 무알카리 유리, 고왜점유리를 대체하기 위해 값싼 소다석회 유리 기판상에 열 팽창 계수가 기판과 유사한 알루미나(Al2O3)를 알카리 이온 확산 방지층으로 증착하여 기판유리와 ITO 박막의 열팽창계수 matching으로 인한 표면조도 향상에 관한 것으로 상기 방지층상부에 저온에서 비정질 형태의 인듐주석산화물 막을 형성한 후 400℃에서 2시간 질소(N2) 또는 3%의 수소가 포함된 아르곤 분위기에서 열처리하여 다결정질화 하는 방법을 특징으로 하여, 투과율, 전도도 및 표면거칠기 등이 매우 우수한 ITO투명도전막을 값싼 유리기판에 경제적으로 제조할 수 있다. ITO, 투명전극, 확산방지층, 소다라임유리, 인듐주석산화물
Int. CL C23C 14/08 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01)
CPC C23C 14/08(2013.01) C23C 14/08(2013.01) C23C 14/08(2013.01) C23C 14/08(2013.01) C23C 14/08(2013.01)
출원번호/일자 1020080096590 (2008.10.01)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1095004-0000 (2011.12.09)
공개번호/일자 10-2010-0037324 (2010.04.09) 문서열기
공고번호/일자 (20111219) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.10.01)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 최병현 대한민국 경기도 광명시 철산로 **,
2 지미정 대한민국 경기도 광명시 하안로 ***
3 이정민 대한민국 경기도 평택시
4 박정호 대한민국 경기도 고양시 일산동구
5 안용태 대한민국 경상북도 포항시 남구
6 이대진 대한민국 인천광역시 서구
7 김세기 대한민국 서울특별시 영등포구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 황성택 대한민국 서울특별시 구로구 경인로**길 **, 가동 ****호 노송특허법률사무소 (구로동, 중앙유통단지)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.10.01 수리 (Accepted) 1-1-2008-0690634-55
2 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.10.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0748396-76
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2008-5187618-45
4 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2009.07.06 수리 (Accepted) 1-1-2009-0410356-13
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2009.07.22 수리 (Accepted) 1-1-2009-0446306-17
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.09.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.10.13 수리 (Accepted) 9-1-2009-0057001-37
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.10.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0476732-62
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.12.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0846960-42
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0846961-98
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.06.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0344706-13
12 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2011.07.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2011-0027185-61
13 등록결정서
Decision to grant
2011.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0534798-48
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000353-25
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
소다석회 유리기판 위에 50내지 100nm의 두께로 확산방지층을 증착하는 단계; 상기 확산방지층 상부에 인듐주석산화물 박막을 증착하는 단계; 상기 박막을 질소(N2)또는 3%의 수소(H2)가 포함된 아르곤(Ar) 분위기 400℃에서 2시간 열처리 하여 결정화 시키는 단계를 포함하며,상기 확산방지층의 소재로는 기판유리와 열팽창계수가 유사한 Al2O3인 것을 특징으로 하는 확산방지층이 코팅된 소다라임 기판위에 인듐주석 산화물 투명 도전막의 제조방법
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서 확산방지 물질인 Al2O3을 소다라임 유리기판에 형성하는 것을 특징으로 하는 확산방지층이 코팅된 소다라임 기판위에 인듐주석 산화물 투명 도전막의 제조방법
4 4
제 1항에 있어서 확산방지층은 교류전원 마그네트론 스퍼터링을 사용하여 증착하는 것을 특징으로 하는 확산방지층이 코팅된 소다라임 기판위에 인듐주석 산화물 투명 도전막의 제조방법
5 5
제 1항에 있어서, 박막은 교류전원 스퍼터링 방법으로 형성하는 것을 특징으로 하는 확산방지층이 코팅된 소다라임 기판위에 인듐주석 산화물 투명 도전막의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.