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고분자폼을 소정 형태 및 크기로 가공하는 단계;가공된 고분자폼을 불융화처리하는 단계;불융화처리된 고분자폼을 탄화시켜 탄소 소재로 변환시키는 단계; 및탄소 소재를 반응소결공정에 의하여 탄화규소 소재로 변환시키는 단계를 포함하며,상기 불융화처리는,가공된 고분자폼을 인산 용액에 30~120분 동안 담지하는 단계; 및80~110℃의 공기 분위기에서 건조하는 단계를 포함하는다공성 탄화규소 발열체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 고분자폼은 기공 크기가 상이한 2종 이상을 적층한 것인다공성 탄화규소 발열체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 고분자폼은 페놀폼, 우레탄폼 및 에폭시폼으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인다공성 탄화규소 발열체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 인산 용액은 30~60중량% 농도의 인산 수용액인다공성 탄화규소 발열체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 탄화는 상기 불융화된 고분자폼을 900~1200℃의 온도에서 열처리함으로써 이루어지는다공성 탄화규소 발열체의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 열처리는 불활성 분위기 또는 진공 분위기에서 이루어지는다공성 탄화규소 발열체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 반응소결공정은 1400~1600℃의 온도에서 실리콘을 용융침투(Melt Infiltration; MI) 또는 화학기상침투(Chemical Vapor Infiltration; CVI)시킴으로써 이루어지는다공성 탄화규소 발열체의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 반응소결공정은 불활성 분위기 또는 진공 분위기에서 이루어지는다공성 탄화규소 발열체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 탄화규소 소재는 기공 크기가 상이한 2 이상의 층이 적층된 구조를 갖는다공성 탄화규소 발열체의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 발열체는 라디에이션 히터용으로 이용되는다공성 탄화규소 발열체의 제조방법
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제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 제조방법으로 제조된 다공성 탄화규소 발열체
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