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감광성 세라믹 기판을 노광 및 현상하여 이의 상면에 함몰된 소정 폭 및 깊이의 트렌치 채널을 형성하는 단계와;상기 감광성 세라믹 기판의 상면 전체에 감광성 전극 페이스트를 도포 및 건조하는 단계와;노광 및 현상하여 하부가 상기 트렌치 채널에 충전되고 상부가 상기 감광성 세라믹 기판상에 돌출된 전극패턴을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 트렌치 채널은 언더컷되고 상기 트렌치 채널에 충전된 상기 전극패턴 하부의 최대폭은 상기 감광성 세라믹 기판상에 돌출된 상기 전극패턴 상부의 최대폭 이상인 것을 특징으로 하는 미세패턴 전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 감광성 세라믹 기판상에 돌출된 상기 전극패턴 상부와 상기 트렌치 채널에 충전된 상기 전극패턴 하부의 두께 비율은 1:1 내지 1:3으로 되는 것을 특징으로 하는 미세패턴 전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 감광성 세라믹 기판은 감광성 유기물과 소결온도가 800~900℃ 범위의 저온동시소성 세라믹스(LTCC)를 포함하는 조성물로 되는 것을 특징으로 하는 미세패턴 전극의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 저온동시소성 세라믹스는 [글라스(glass)＋알루미나(Al2O3) 필러(filler)], [글라스＋코디어라이트(cordierite: 2MgO-2Al2O3-5SiO2) 필러] 및 비정질 코디어라이트(MgO-CaO-2Al2O3-5SiO2)로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상으로 되는 것을 특징으로 하는 미세패턴 전극의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 감광성 유기물은 바인더 폴리머, 감광성 모노머, 광 개시제, 분산제 및 침강방지제를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 감광성 전극 페이스트는 감광성 유기물 조성과 전도성 금속분말을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 전극의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 감광성 유기물은 바인더 폴리머, 감광성 모노머, 광 개시제, 분산제 및 침강방지제를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세패턴 전극의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 전도성 금속분말은 은(Ag), 구리(Cu), 팔라듐(Pd) 및 Ag/Pd 합금으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상으로 되는 것을 특징으로 하는 미세패턴 전극의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 감광성 세라믹 기판은 상기 조성물로 되는 시트를 하나 이상 적층하여 형성되는 것을 특징으로 하는 미세패턴 전극의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 감광성 전극 페이스트는 스크린 인쇄 및 스핀코팅 중의 하나 이상으로 도포되는 것을 특징으로 하는 미세패턴 전극의 제조방법
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