요약 | 본 발명은 CNT(탄소나노튜브)와 금속의 혼합분말을 진공팽창원리로 가속시킨 후(에어로졸 증착법: 이하 AD법) 기재에 충돌시키는 방법을 통하여 전계방출용 (Electron Field Emission) CNT-금속 혼합막을 균일하게 형성시키는 방법 및 이러한 방법 실시를 위한 에어로졸 증착장치에 관한 것이다. 본 발명은 가스유입부가 구비된 에어로졸 챔버; 내부에 기재가 배치된 저진공상태의 증착챔버; 및 일단은 상기 에어로졸 챔버와 연통되고 타단은 상기 증착챔버 내에 삽입되어 상기 기재를 향해 개구되어 있는 수송관; 을 포함하여 구성된 에어로졸 증착장치에 의해 (a) CNT-금속 혼합분말에 기계적 충돌에너지를 가하는 전처리 단계; (b) 전처리된 CNT-금속 혼합분말을 상기 에어로졸 챔버에 도입하고, 상기 CNT-금속 혼합분말에 수송가스를 직접 분사하여 에어로졸화시키는 단계; 및 (c) 상기 에어로졸을 진공팽창원리로 가속하여 상기 수송관을 통해 상기 증착챔버 내부로 토출시킴으로써, 상기 기재에 증착시키는 단계; 로 시행되는 전계방출용 CNT-금속 혼합막 제조 방법을 제공한다. |
---|---|
Int. CL | C23C 24/04 (2006.01) B05D 1/02 (2006.01) |
CPC | C23C 24/04(2013.01) C23C 24/04(2013.01) C23C 24/04(2013.01) C23C 24/04(2013.01) C23C 24/04(2013.01) C23C 24/04(2013.01) C23C 24/04(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020100116129 (2010.11.22) |
출원인 | 한국세라믹기술원 |
등록번호/일자 | 10-1214044-0000 (2012.12.13) |
공개번호/일자 | 10-2012-0054813 (2012.05.31) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20121220) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | 1020120092961;1020120092964;1020120092967; |
심사청구여부/일자 | Y (2010.11.22) |
심사청구항수 | 4 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국세라믹기술원 | 대한민국 | 경상남도 진주시 소호로 *** |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 허승헌 | 대한민국 | 서울특별시 동작구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 조성광 | 대한민국 | 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***(가산동, 가산더블유센터) ****호(지본특허법률사무소) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 한국세라믹기술원 | 경상남도 진주시 소호로 *** |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2010.11.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0760631-42 |
2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2012.02.06 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2012.03.21 | 수리 (Accepted) | 9-1-2012-0020136-29 |
4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2012.07.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0428383-30 |
5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2012.08.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0682196-43 |
6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2012.08.24 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0682216-79 |
7 | [분할출원]특허출원서 [Divisional Application] Patent Application |
2012.08.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0682266-41 |
8 | [분할출원]특허출원서 [Divisional Application] Patent Application |
2012.08.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0682232-00 |
9 | [분할출원]특허출원서 [Divisional Application] Patent Application |
2012.08.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0682245-93 |
10 | 등록결정서 Decision to grant |
2012.09.13 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0541748-75 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.01.03 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-0000353-25 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.03.31 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5040685-78 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 가스유입부가 구비된 에어로졸 챔버; 내부에 기재가 배치된 저진공상태의 증착챔버; 및 일단은 상기 에어로졸 챔버와 연통되고 타단은 상기 증착챔버 내에 삽입되어 상기 기재를 향해 개구되어 있는 수송관; 을 포함하여 구성된 에어로졸 증착장치에 의해 다음의 각 단계로 시행되는 전계방출용 CNT-금속 혼합막 제조 방법 |
2 |
2 제1항에서,상기 금속은 Ag, Au, Al, Zn, Pd, Sn, Pt, Fe, Co, Ni, W 및 Mo 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 전계방출용 CNT-금속 혼합막 제조 방법 |
3 |
3 삭제 |
4 |
4 삭제 |
5 |
5 제1항에서,상기 블레이드는 5,000~15,000rpm의 속도로 회전시키는 것을 특징으로 하는 전계방출용 CNT-금속 혼합막 제조 방법 |
6 |
6 삭제 |
7 |
7 삭제 |
8 |
8 삭제 |
9 |
9 제1항에서,상기 기재는 금속기판 또는 투명전도막인 것을 특징으로 하는 전계방출용 CNT-금속 혼합막 제조 방법 |
10 |
10 삭제 |
11 |
11 삭제 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | KR101214047 | KR | 대한민국 | FAMILY |
2 | KR101214050 | KR | 대한민국 | FAMILY |
3 | KR101214051 | KR | 대한민국 | FAMILY |
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다 |
국가 R&D 정보가 없습니다. |
---|
특허 등록번호 | 10-1214044-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
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1 |
출원 연월일 : 20101122 출원 번호 : 1020100116129 공고 연월일 : 20121220 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20120913 청구범위의 항수 : 4 유별 : C23C 24/04 발명의 명칭 : 전계방출용 CNT-금속 혼합막 제조 방법 존속기간(예정)만료일 : 20171214 |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 100,500 원 | 2012년 12월 13일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 89,600 원 | 2015년 12월 01일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 89,600 원 | 2016년 12월 01일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2010.11.22 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0760631-42 |
2 | 선행기술조사의뢰서 | 2012.02.06 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
3 | 선행기술조사보고서 | 2012.03.21 | 수리 (Accepted) | 9-1-2012-0020136-29 |
4 | 의견제출통지서 | 2012.07.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0428383-30 |
5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2012.08.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0682196-43 |
6 | [명세서등 보정]보정서 | 2012.08.24 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0682216-79 |
7 | [분할출원]특허출원서 | 2012.08.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0682266-41 |
8 | [분할출원]특허출원서 | 2012.08.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0682232-00 |
9 | [분할출원]특허출원서 | 2012.08.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0682245-93 |
10 | 등록결정서 | 2012.09.13 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0541748-75 |
11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.01.03 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-0000353-25 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.03.31 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5040685-78 |
기술정보가 없습니다 |
---|
과제고유번호 | 1415095753 |
---|---|
세부과제번호 | kicet2008 |
연구과제명 | 요업기술원 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 지식경제부 |
연구주관기관명 | 요업기술원 |
성과제출연도 | 2008 |
연구기간 | 200801~200812 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 기타 |
6T분류명 |
과제고유번호 | 1415102375 |
---|---|
세부과제번호 | kicet2009 |
연구과제명 | 한국세라믹기술원 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 지식경제부 |
연구주관기관명 | 한국세라믹기술원 |
성과제출연도 | 2009 |
연구기간 | 200901~200912 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 기타 |
6T분류명 | 기타 |
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