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하부에 개방부가 형성되고 내부에 그라파이트 기재(a)가 위치하며, 별도로 공급되는 반응 가스와 캐리어 가스가 혼합된 혼합 가스를 상기 그라파이트 기재에 공급하는 내부 챔버와,상기 개방부에 분리 가능하도록 결합되어 내부 챔버의 하부를 밀폐하며, 상기 내부 챔버에서 사용된 사용 가스를 상기 내부 챔버의 외부로 유출하는 커버홀을 포함하는 챔버 커버와,상기 내부 챔버의 측면에 위치하여 상기 내부 챔버를 가열하는 가열 수단과, 상기 내부 챔버의 측면과 상면 및 상기 가열 수단을 감싸면서 상기 내부 챔버와의 사이에 이격 공간이 구비되도록 형성되며, 상기 이격 공간을 통하여 상기 캐리어 가스를 상기 내부 챔버로 공급하는 외부 하우징와,상기 내부 챔버에 연결되어 상기 반응 가스를 공급하는 반응 가스 공급관 및상기 외부 하우징에 연결되어 상기 캐리어 가스를 공급하는 캐리어 가스 공급관을 포함하여 형성되는 것을 특징으로 하는 실리콘카바이드 코팅 장치
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제 1 항에 있어서,상기 내부 챔버는 챔버 상면과 챔버 측면을 구비하며,상기 챔버 상면에 형성되는 적어도 2개의 캐리어 가스 공급홀과 상기 챔버 상면 또는 챔버 측면에 형성되어 상기 반응 가스 공급관이 결합되는 반응 가스 공급홀 및 복수의 혼합 가스 공급홀을 구비하며 상기 내부 챔버의 내부에서 상기 챔버 상면과 이격되어 위치하는 분리 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘카바이드 코팅 장치
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제 2 항에 있어서,상기 캐리어 가스 공급홀과 상기 혼합 가스 공급홀은 수직 방향을 기준으로 다른 위치에 형성되어 서로 관통되지 않도록 형성되는 것을 특징으로 하는 실리콘카바이드 코팅 장치
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제 2 항에 있어서,상기 혼합 가스 공급홀은 상기 캐리어 가스 공급홀보다 작은 크기로 형성되는 것을 특징으로 하는 실리콘카바이드 코팅 장치
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제 2 항에 있어서,상기 반응 가스 공급홀은 상기 챔버 상면에 형성되며, 상기 반응 가스 공급홀과 상기 혼합 가스 공급홀은 수직 방향을 기준으로 다른 위치에 형성되어 서로 관통되지 않도록 형성되는 것을 특징으로 하는 실리콘카바이드 코팅 장치
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제 1 항에 있어서,상기 챔버 커버의 상부에 안착되며 상기 그라파이트 기재가 안착되는 기재 안착대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘카바이드 코팅 장치
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제 1 항에 있어서,상기 가열 수단은 상기 챔버 측면에서 수직 방향으로 서로 이격되어 위치하는 적어도 3개의 서브 히터를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 카바이드 코팅 장치
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제 1 항에 있어서,상기 외부 하우징은 하우징 상면과 하우징 측면 및 하우징 하면을 구비하며,상기 하우징 상면은 상기 반응 가스 공급관이 관통하는 하우징 상면홀을 구비하며 상기 챔버 상면과 이격되어 형성되고,상기 하우징 측면은 상기 캐리어 가스 공급관이 결합되는 하우징 측면홀을 구비하며, 상기 챔버 측면과 이격되어 형성되고,상기 하우징 하면은 상기 내부 챔버가 관통하는 하우징 하면홀을 구비하는 것을 특징으로 하는 실리콘카바이드 코팅 장치
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제 8항에 있어서,상기 챔버 측면은 상기 하우징 하면으로부터 하부로 돌출되도록 결합되는 것을 특징으로 하는 실리콘카바이드 코팅 장치
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