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박판형 질화알루미늄의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015189041
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 판형의 알루미늄 금속 박판을 준비하는 단계와, 상기 알루미늄 금속 박판을 질화처리챔버에 공급하는 단계와, 상기 알루미늄 금속 박판이 공급된 상기 질화처리챔버를 가열하는 단계와, 상기 질화처리챔버에 암모니아 가스를 공급하는 단계 및 상기 알루미늄 금속 박판을 500~1300℃에서 질화처리하여 박판형 질화알루미늄을 합성하는 단계를 포함하는 박판형 질화알루미늄의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 판형의 알루미늄 금속 박판을 암모니아 가스 분위기에서 직접 질화처리하는 방법으로 대면적을 갖는 박판형 질화알루미늄을 제조하는 것이 가능하다.
Int. CL C01B 21/072 (2006.01) C04B 35/581 (2006.01)
CPC C01B 21/0722(2013.01) C01B 21/0722(2013.01) C01B 21/0722(2013.01)
출원번호/일자 1020110048782 (2011.05.24)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1323111-0000 (2013.10.23)
공개번호/일자 10-2012-0130803 (2012.12.04) 문서열기
공고번호/일자 (20131030) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.24)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 피재환 대한민국 경기도 광주시
2 이성민 대한민국 경기도 광주시
3 조광연 대한민국 서울특별시 구
4 김창열 대한민국 경기도 안양시 만안구
5 조우석 대한민국 서울특별시 광진구
6 김경자 대한민국 경기도 군포시 광정로 ***, 대림아파트 *

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고길수 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 **, *층 (서초동)(정석국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.05.24 수리 (Accepted) 1-1-2011-0385730-57
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.09.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.09.28 수리 (Accepted) 9-1-2012-0075176-12
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.02.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0144221-15
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0382058-37
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0480262-11
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.06.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0532651-22
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.06.17 수리 (Accepted) 1-1-2013-0532663-70
9 등록결정서
Decision to grant		 2013.10.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0703226-44
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000353-25
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 판형의 알루미늄 금속 박판을 준비하는 단계;(b) 상기 알루미늄 금속 박판을 복수 개의 층으로 겹쳐서 공급하는 경우에 질화알루미늄 박판들이 서로 붙는 것을 억제하고 질화알루미늄 박판 사이의 박리를 위해 상기 알루미늄 금속 박판이 겹쳐지는 부분에 질화붕소(BN)를 도포하는 단계;(c) 겹쳐지는 부분에 질화붕소(BN)이 도포된 상기 알루미늄 금속 박판을 복수 개의 층으로 겹쳐서 질화처리챔버에 공급하는 단계;(d) 상기 알루미늄 금속 박판이 공급된 상기 질화처리챔버를 가열하는 단계;(e) 상기 질화처리챔버에 암모니아 가스를 공급하는 단계; 및(f) 상기 알루미늄 금속 박판을 500~1300℃에서 질화처리하여 박판형 질화알루미늄을 합성하는 단계를 포함하며,상기 (d) 단계에서 질화처리챔버의 안정화를 위해 질소 가스를 상기 질화처리챔버에 공급하며,상기 질화처리챔버의 온도가 400~500℃에 도달하면 상기 암모니아 가스를 공급하고,질화처리하는 단계에서, 상기 질소 가스와 상기 암모니아 가스를 1:0
2 2
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3 3
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4 4
제1항에 있어서, 상기 질소 가스의 공급 유량은 50~3000㎖/min로 설정하는 것을 특징으로 하는 박판형 질화알루미늄의 제조방법
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삭제
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제1항에 있어서, 상기 암모니아 가스의 공급 유량은 50~3000㎖/min 범위로 설정하는 것을 특징으로 하는 박판형 질화알루미늄의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 알루미늄 금속 박판의 두께는 10㎛~2mm이고, 상기 알루미늄 금속 박판의 면적은 1㎠~10㎡인 것을 특징으로 하는 박판형 질화알루미늄의 제조방법
8 8
삭제
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국세라믹기술원 산업원천기술개발사업 차세대 전자패키지용 고방열 융복합 신소재 기술개발