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태양전지용 기판의 제조방법

기술번호 : KST2015189084
담당센터 : 서울서부기술혁신센터
전화번호 : 02-6124-6930

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 태양전지용 기판의 제조방법에 관한 것이다.일례로, 일면에 산화실리콘층이 형성된 실리콘 기판을 준비하는 단계; 잉크가 도포된 텍스처 구조의 패턴을 갖는 PDMS 스탬프를 상기 산화실리콘층 상에 프린팅하여, 상기 산화실리콘층에 상기 잉크를 전사하는 단계; 제 1 식각 용액으로, 상기 잉크가 전사되지 않은 상기 산화실리콘층의 일부를 제거하여, 상기 PDMS 스탬프로부터 전사된 패턴과 동일한 산화실리콘 패턴을 형성하는 단계; 및 제 2 식각 용액으로, 상기 산화실리콘 패턴에 의해 노출된 상기 실리콘 기판의 표면 일부를 제거하여, 상기 실리콘 기판의 일면에 텍스처 구조의 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 태양전지용 기판의 제조방법을 개시한다.
Int. CL	H01L 31/0236 (2014.01) H01L 31/18 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC
출원번호/일자	1020110123219 (2011.11.23)
출원인	한국세라믹기술원
등록번호/일자	10-1334590-0000 (2013.11.25)
공개번호/일자	10-2013-0057359 (2013.05.31) 문서열기
공고번호/일자	(20131129) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2011.11.23)
심사청구항수	13

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	한국세라믹기술원	대한민국	경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	한윤수	대한민국	경기도 수원시 팔달구
2	최균	대한민국	경기도 광주시 초월읍
3	김형태	대한민국	서울특별시 서초구
4	김경자	대한민국	경기도 군포시

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	김호종	대한민국	서울특별시 강남구 테헤란로길 -, *층 (역삼동, 신도빌딩)(태산특허법률사무소)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	한국세라믹기술원		경상남도 진주시 소호로 ***

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2011.11.23	수리 (Accepted)	1-1-2011-0930153-52
2	[대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)	2013.01.11	수리 (Accepted)	1-1-2013-0031831-82
3	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2013.03.20	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0186980-13
4	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2013.05.20	수리 (Accepted)	1-1-2013-0442101-00
5	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2013.05.20	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2013-0442166-56
6	등록결정서 Decision to grant	2013.08.29	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0599873-01
7	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2014.01.03	수리 (Accepted)	4-1-2014-0000353-25
8	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2015.03.31	수리 (Accepted)	4-1-2015-5040685-78

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 일면에 산화실리콘층이 형성된 실리콘 기판을 준비하는 단계;음각 패턴과 상기 음각 패턴을 둘러싸는 테두리 형태의 양각 패턴을 구비하는 텍스처 구조의 패턴을 갖는 PDMS 스탬프의 상기 양각 패턴에 도포된 잉크를 상기 산화실리콘층에 전사하는 단계;제 1 식각 용액으로, 상기 잉크가 전사되지 않은 상기 산화실리콘층의 일부를 제거하여, 상기 PDMS 스탬프로부터 전사된 패턴과 동일한 산화실리콘 패턴을 형성하는 단계; 및제 2 식각 용액으로, 상기 산화실리콘 패턴에 의해 노출된 상기 실리콘 기판의 표면 일부를 제거하여, 상기 실리콘 기판의 일면에 텍스처 구조의 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 기판의 제조방법
2	2 제 1 항에 있어서,상기 실리콘 기판을 준비하는 단계와 상기 잉크를 전사하는 단계 사이에, Au 또는 Au/Cr 물질이 도포된 텍스처 구조의 패턴을 갖는 PDMS 스탬프를 이용하여 상기 산화실리콘층 상에 Au 또는 Au/Cr 층을 포함하는 중간층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 기판의 제조방법
3	3 제 1 항에 있어서,상기 실리콘 기판의 일면에 텍스처 구조의 패턴을 형성한 이후, HF 용액을 이용하여 상기 실리콘 기판의 일면에 남은 상기 산화실리콘 패턴을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 기판의 제조방법
4	4 제 1 항에 있어서,상기 PDMS 스탬프의 형성 방법은,텍스처 구조의 패턴이 형성된 마스터를 준비하는 단계;상기 마스터의 패턴 상에 실리콘을 코팅하는 단계;상기 실리콘이 코팅된 상기 마스터의 패턴으로 PDMS 용액을 붓는 단계;상기 마스터의 패턴에 부어진 PDMS 용액을 상온에서 큐어링하는 단계; 및큐어링된 PDMS를 상기 마스터로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 기판의 제조방법
5	5 일면에 산화실리콘층이 형성된 실리콘 기판을 준비하는 단계;음각의 스트라이크 패턴과 상기 스트라이크 패턴을 제외한 평평한 양각 패턴으로 이루어지는 전극 라인 패턴을 갖는 PDMS 스탬프의 상기 양각 패턴에 도포된 잉크를 상기 산화실리콘층에 전사하는 단계;제 1 식각 용액으로, 상기 잉크가 전사되지 않은 상기 산화실리콘층의 일부를 제거하여, 상기 PDMS 스탬프로부터 전사된 패턴과 동일한 산화실리콘 패턴을 형성하는 단계; 및상기 산화실리콘 패턴을 마스크로 하여, 상기 산화실리콘 패턴에 의해 노출된 상기 실리콘 기판의 표면 일부에 불순물을 도핑하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 기판의 제조방법
6	6 제 5 항에 있어서,상기 실리콘 기판을 준비하는 단계와 상기 잉크를 전사하는 단계 사이에, Au 또는 Au/Cr 물질이 도포된 텍스처 구조의 패턴을 갖는 PDMS 스탬프를 이용하여 상기 산화실리콘층 상에 Au 또는 Au/Cr 층을 포함하는 중간층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 기판의 제조방법
7	7 제 5 항에 있어서,상기 실리콘 기판의 일면에 전극 라인 패턴을 형성한 이후, HF 용액을 이용하여 상기 실리콘 기판의 일면에 남은 상기 산화실리콘 패턴을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 기판의 제조방법
8	8 제 5 항에 있어서,상기 PDMS 스탬프의 형성 방법은,전극 라인 패턴이 형성된 마스터를 준비하는 단계;상기 마스터의 패턴 상에 실리콘을 코팅하는 단계;상기 실리콘이 코팅된 상기 마스터의 패턴으로 PDMS 용액을 붓는 단계;상기 마스터의 패턴에 부어진 PDMS 용액을 상온에서 큐어링하는 단계; 및큐어링된 PDMS를 상기 마스터로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 기판의 제조방법
9	9 상면에 제 1 산화실리콘층과, 하면에 제 2 산화실리콘층이 형성된 실리콘 기판을 준비하는 단계;잉크가 도포된 텍스처 구조의 패턴을 갖는 제 1 PDMS 스탬프를 이용하여, 상기 제 1 산화실리콘층 상에 상기 잉크를 전사하고, 상기 잉크가 도포된 전극 라인 패턴을 갖는 제 2 PDMS 스탬프를 이용하여, 상기 제 2 산화실리콘층에 상기 잉크를 전사하는 단계;제 1 식각 용액으로, 상기 잉크가 전사되지 않은 상기 제 1 산화실리콘층과 상기 제 2 산화실리콘층의 일부를 각각 제거하여, 상기 제 1 PDMS 스탬프로부터 전사된 패턴과 동일한 제 1 산화실리콘 패턴과, 상기 제 2 PDMS 스탬프로부터 전사된 패턴과 동일한 제 2 산화실리콘 패턴을 각각 형성하는 단계;제 2 식각 용액으로, 상기 제 1 산화실리콘 패턴에 의해 노출된 상기 실리콘 기판의 상부 표면 일부를 제거하여, 상기 실리콘 기판의 상면에 텍스처 구조의 패턴을 형성하는 단계; 및상기 제 2 산화실리콘 패턴을 마스크로 하여, 상기 제 2 산화실리콘 패턴에 의해 노출된 상기 실리콘 기판의 하면 일부에 불순물을 도핑하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 기판의 제조방법
10	10 제 9 항에 있어서,상기 실리콘 기판을 준비하는 단계와 상기 잉크를 전사하는 단계 사이에, Au 또는 Au/Cr 물질이 도포된 텍스처 구조의 패턴을 갖는 PDMS 스탬프를 이용하여 상기 제 1 산화실리콘층 및 상기 제 2 산화실리콘층 상에 Au 또는 Au/Cr 층을 포함하는 중간층을 각각 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 기판의 제조방법
11	11 제 9 항에 있어서,상기 실리콘 기판의 상면에 텍스처 구조의 패턴과, 상기 실리콘 기판의 하면에 전극 라인 패턴을 각각 형성한 이후, HF 용액을 이용하여 상기 실리콘 기판의 상면에 남은 상기 제 1 산화실리콘 패턴과, 상기 실리콘 기판의 하면에 남은 상기 제 2 산화실리콘 패턴을 각각 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 기판의 제조방법
12	12 제 9 항에 있어서,상기 제 1 PDMS 스탬프의 형성 방법은,텍스처 구조의 패턴이 형성된 마스터를 준비하는 단계;상기 마스터의 패턴 상에 실리콘을 코팅하는 단계;상기 실리콘이 코팅된 상기 마스터의 패턴으로 PDMS 용액을 붓는 단계;상기 마스터의 패턴에 부어진 PDMS 용액을 상온에서 큐어링하는 단계; 및큐어링된 PDMS를 상기 마스터로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 기판의 제조방법
13	13 제 9 항에 있어서,상기 제 2 PDMS 스탬프의 형성 방법은,전극 라인 패턴이 형성된 마스터를 준비하는 단계;상기 마스터의 패턴 상에 실리콘을 코팅하는 단계;상기 실리콘이 코팅된 상기 마스터의 패턴으로 PDMS 용액을 붓는 단계;상기 마스터의 패턴에 부어진 PDMS 용액을 상온에서 큐어링하는 단계; 및큐어링된 PDMS를 상기 마스터로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지용 기판의 제조방법

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	WO2013077523	WO	세계지적재산권기구(WIPO)	FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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1	WO2013077523	WO	세계지적재산권기구(WIPO)	DOCDBFAMILY

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특허 등록번호	10-1334590-0000

권리란

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표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20111123 출원 번호 : 1020110123219 공고 연월일 : 20131129 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20130829 청구범위의 항수 : 13 유별 : H01L 31/042 발명의 명칭 : 태양전지용 기판의 제조방법 존속기간(예정)만료일 : 20181126

특허권자란

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순위번호	사항
1	(권리자) 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***...

등록료란

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제 1 - 3 년분	금 액	276,000 원	2013년 11월 26일	납입
제 4 년분	금 액	228,200 원	2016년 11월 07일	납입
제 5 년분	금 액	228,200 원	2017년 11월 06일	납입

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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2011.11.23	수리 (Accepted)	1-1-2011-0930153-52
2	[대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서	2013.01.11	수리 (Accepted)	1-1-2013-0031831-82
3	의견제출통지서	2013.03.20	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0186980-13
4	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2013.05.20	수리 (Accepted)	1-1-2013-0442101-00
5	[명세서등 보정]보정서	2013.05.20	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2013-0442166-56
6	등록결정서	2013.08.29	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0599873-01
7	출원인정보변경(경정)신고서	2014.01.03	수리 (Accepted)	4-1-2014-0000353-25
8	출원인정보변경(경정)신고서	2015.03.31	수리 (Accepted)	4-1-2015-5040685-78

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