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탄화규소 섬유를 제조하기 위한 제조장비로서,탄화규소 섬유를 제조하기 위한 폴리카보실란(polycarbosilane, PCS)을 용융 방사하여 섬유상으로 형성하는 용융 방사 장치; 상기 용용방사 장치에서 방사된 섬유를 불융화하여 섬유의 산화량을 조절하는 불융화 장치; 및 상기 불융화 장치에서 처리된 섬유를 열처리하는 열처리 장치를 포함하고,상기 용용 방사 장치는 폴리카보실란을 용융하고 섬유상으로 방사하는 용융방사 유닛; 상기 용융 방사 유닛에서 섬유상으로 방사되는 섬유를 이송하는 복수의 이송 롤러; 상기 이송 롤러에 의해 이송되는 섬유를 각각 권선하고 다시 푸는 롤러; 및 상기 롤러에 의해 풀어지는 섬유를 수거하는 수거 부재를 포함하는탄화규소 섬유의 제조 장치
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제1항에 있어서,상기 수거 부재는 네트 형상의 플레이트로 이루어지며,섬유를 푸는 상기 롤러는 섬유가 와선 형태로 일정 간격을 갖고 수거 부재에 풀도록 하는탄화규소 섬유의 제조 장치
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제4항에 있어서,상기 불융화 장치는내산화성 재질의 밀폐 용기;상기 수거 부재가 안착되고, 섬유의 산소 함량을 조절하기 위한 물질이 구비되며 상기 밀폐 용기 내에 수용되는 안착 부재;상기 밀폐 용기 내부를 가열하기 위한 가열 유닛;상기 밀폐 용기 내로 불활성 가스를 공급하기 위한 불활성가스 공급유닛;상기 밀폐 용기 내부를 진공 상태로 만들기 위한 진공 유닛; 및상기 각 구성요소의 동작을 제어하는 컨트롤러를 포함하는탄화규소 섬유의 제조 장치
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제5항에 있어서,상기 안착 부재는 중앙부에 홈이 형성되고, 중심에 승화성 할라이드 물질이 위치되는 플레이트 형상으로 이루어지는탄화규소 섬유의 제조 장치
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제6항에 있어서,상기 안착 부재는 상기 수거 부재와 일체로 형성되는탄화규소 섬유의 제조 장치
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제6항에 있어서,상기 승화성 할라이드 물질은 아이오딘인탄화규소 섬유의 제조 장치
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제1항에 있어서,상기 열처리 장치는상기 불융화 처리를 거친 섬유가 내부에 위치되는 가열 용기;상기 가열 용기 내부를 가열하기 위한 가열 수단;상기 가열 용기의 내부를 진공 상태로 만들기 위한 진공 유닛;상기 가열 용기 내로 불활성가스를 공급하기 위한 불활성가스 공급유닛; 및상기 각 구성요소들을 제어하는 컨트롤러를 포함하는탄화규소 섬유의 제조 장치
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제9항에 있어서,상기 열처리 장치는 상기 가열 용기의 겉면의 온도를 낮춰주기 위한 냉각기와, 상기 가열 용기의 외면 온도를 측정하기 위한 외부 온도계를 더 포함하며,상기 컨트롤러는 상기 가열 용기의 외면 온도가 소정 온도 이상일 경우 상기 가열 수단의 가열 동작을 정지시키도록 구성되는탄화규소 섬유의 제조 장치
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탄화규소 섬유를 제조하기 위한 제조 방법으로서,탄화규소 섬유를 제조하기 위한 폴리카보실란을 준비하는 단계;상기 폴리카보실란을 용융하고 섬유상으로 방사하여 수거하는 단계;수거된 섬유를 불융화 처리하는 단계; 및불융화 처리된 섬유를 최종 고온 열처리하는 단계를 포함하고,상기 불융화 처리하는 단계에서는, 수거된 섬유가 위치되는 용기의 내부를 진공 상태로 하고, 용기의 내부를 불활성 분위기로 한 다음, 용기의 내부에 위치된 아이오딘이 섬유에 흡착될 수 있도록 용기의 내부를 50 내지 200도의 온도로 1 내지 5시간 동안 1차 가열한 다음, 흡착된 섬유가 위치된 용기 내부를 다시 진공 상태 및 불활성 분위기로 한 뒤, 용기의 내부를 300 내지 700도의 온도로 2차 가열하는탄화규소 섬유의 제조 방법
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제11항에 있어서,상기 섬유상으로 수거하는 과정에서 수거되는 섬유는 네트 형상의 플레이트 위에 섬유가 겹치지 않게 소정 간격을 갖는 와선 형태로 수거되는탄화규소 섬유의 제조 방법
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제11항에 있어서,상기 고온 열처리는상기 불융화 처리된 섬유를 가열 용기에 넣고, 용기 내를 진공 상태로 만들고, 불활성 분위기를 만든 다음, 상기 용기의 내부 온도를 1100 내지 1700도 상승시키고 30분 내지 2시간 동안 처리하는탄화규소 섬유의 제조 방법
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