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용매와 킬레이트제를 혼합하는 단계;상기 용매와 상기 킬레이트제가 혼합된 결과물을 가열하면서 교반하여 상기 킬레이트제를 용해시키는 단계;상기 킬레이트제가 용해되어 있는 결과물에 갈륨(Ga) 성분을 포함하는 금속이온물질을 첨가하고 교반하여 투명 용액을 얻는 단계;상기 투명 용액의 pH를 조절하는 단계;pH가 조절된 투명 용액을 제1 온도로 가열하여 폴리에스테르화를 진행시켜 고분자착체를 형성하는 단계;상기 고분자착체를 분쇄하는 단계; 및분쇄된 고분자착체를 상기 제1 온도보다 높은 제2 온도로 열처리하여 Ga2O3 분말을 형성하는 단계를 포함하며,상기 용매와 상기 킬레이트제는 3:1∼7:1의 몰비로 혼합하는 것을 특징으로 하는 갈륨산화물 분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 킬레이트제와 상기 갈륨(Ga) 성분을 포함하는 금속이온물질이 1:0
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제1항에 있어서, 상기 갈륨(Ga) 성분을 포함하는 금속이온물질은 갈륨나이트레이트(Ga(NO3)3)인 것을 특징으로 하는 갈륨산화물 분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 킬레이트제로 구연산(C6H8O7) 및 에틸렌디아민테트라아세트산(C10H16N2O8) 중에서 선택된 1종 이상의 물질을 사용하는 것을 특징으로 하는 갈륨산화물 분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 용매로 에틸렌글리콜(C2H6O2) 및 물 중에서 선택된 1종 이상의 물질을 사용하는 것을 특징으로 하는 갈륨산화물 분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 pH의 조절은 상기 갈륨(Ga) 성분을 포함하는 금속이온물질과 염을 형성하지 않는 질산(HNO3) 또는 염산(HCl)을 사용하며, 상기 pH는 0∼6 범위로 조절되는 것을 특징으로 하는 갈륨산화물 분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 pH의 조절은 상기 갈륨(Ga) 성분을 포함하는 금속이온물질과 염을 형성하지 않는 테트라메틸암모늄 하이드록사이드 또는 테트라에틸암모늄 하이드록사이드를 사용하며, 상기 pH는 9∼14 범위로 조절되는 것을 특징으로 하는 갈륨산화물 분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 폴리에스테르화를 진행시키기 위하여 상기 제1 온도로 가열하는 것은 250∼350℃ 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는 갈륨산화물 분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 열처리는 상기 제1 온도보다 높은 450∼650℃의 제2 온도에서 산화 분위기에서 수행하는 것을 특징으로 하는 갈륨산화물 분말의 제조방법
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