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초음파를 이용한 내부 부산물 부착 방지 장치

  • 기술번호 : KST2015189113
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 배관 외벽에 초음파 진동을 발생시켜 배관 내부에 부산물이 부착되는 것을 최소화 할 수 있는 초음파를 이용한 내부 부산물 부착 방지 장치 및 부산물 부착 방지 시스템에 대하여 개시한다.본 발명에 따른 부산물 부착 방지 장치는 진공 챔버; 상기 진공 챔버에 결합되는 진공 펌프; 상기 진공 펌프를 통해 부산물들이 이송되는 배관; 상기 배관을 통해 이송된 부산물을 처리하는 스크러버; 및 상기 배관의 외벽에 배치되는 초음파 발생기;를 포함하고, 상기 초음파 발생기는 압전소자 또는 자왜소자를 이용하여, 초음파 진동을 발생시켜, 상기 배관에 부산물이 부착되는 것을 방지하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01)
CPC H01L 21/67017(2013.01) H01L 21/67017(2013.01)
출원번호/일자 1020120068454 (2012.06.26)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0002821 (2014.01.09) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.06.26)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이영진 대한민국 경기 안양시 동안구
2 백종후 대한민국 경기 안양시 동안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.06.26 수리 (Accepted) 1-1-2012-0507867-66
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.06.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0454093-94
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0795602-41
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2013.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0884455-91
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.10.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0987433-24
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0987419-95
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000353-25
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2014.03.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0169511-15
9 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)		 2014.04.09 수리 (Accepted) 7-1-2014-0013341-29
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2014-0439712-49
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2014.05.09 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0439713-95
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2014.06.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0395632-10
13 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)		 2014.07.11 무효 (Invalidation) 7-1-2014-0026222-09
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공 챔버;상기 진공 챔버에 결합되는 진공 펌프;상기 진공 펌프를 통해 부산물들이 이송되는 배관;상기 배관을 통해 이송된 부산물을 처리하는 스크러버; 및상기 배관의 외벽에 배치되는 초음파 발생기;를 포함하고,상기 초음파 발생기는 압전소자 또는 자왜소자를 이용하여 초음파 진동을 발생시켜, 상기 배관에 부산물이 부착되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 부산물 부착 방지 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 초음파 진동의 주파수는20kHz 이상인 것을 특징으로 하는 부산물 부착 방지 장치
3 3
제1항에 있어서,상기 진공 챔버는반도체 제조용 진공 챔버인 것을 특징으로 하는 부산물 부착 방지 장치
4 4
제3항에 있어서,상기 진공 챔버는포토 리소그라피 공정, 이온 주입 공정, 증착 공정, 식각 공정 또는 세정 공정 중 어느 하나의 공정이 수행되는 것을 특징으로 하는 부산물 부착 방지 장치
5 5
제1항에 있어서,상기 압전소자는 Ni, Fe-Co, Fe-Al, Zn-ferrite, Pb(Zr,Ti)O3＋Pb(Zn,Nb)O3, Pb(Zr,Ti)O3＋Pb(Ni,Nb)O3, Pb(Zr,Ti)O3＋PVDF 폴리머, Pb(Zr,Ti)O3＋실리콘 폴리머 및 Pb(Zr,Ti)O3+에폭시 폴리머 중에서 선택되는 1종 이상의 압전 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 부산물 부착 방지 장치
6 6
진공 챔버;상기 진공 챔버에 결합되는 진공 펌프;상기 진공 펌프를 통해 부산물들이 이송되는 배관;상기 배관을 통해 이송된 부산물을 처리하는 스크러버; 상기 배관을 감싸도록 형성되는 히팅 코일; 및상기 배관의 외벽에 배치되는 초음파 발생기; 를 포함하고,상기 초음파 발생기는 압전소자 또는 자왜소자를 이용하여 초음파 진동을 발생시키며, 상기 히팅 코일은 열을 발생시켜, 상기 배관에 부산물이 부착되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 부산물 부착 방지 장치
7 7
제6항에 있어서,상기 초음파 진동의 주파수는20kHz 이상인 것을 특징으로 하는 부산물 부착 방지 장치
8 8
제7항에 있어서,상기 진공 챔버는반도체 제조용 진공 챔버인 것을 특징으로 하는 부산물 부착 방지 장치
9 9
제6항에 있어서,상기 진공 챔버는포토 리소그라피 공정, 이온 주입 공정, 증착 공정, 식각 공정 또는 세정 공정 중 어느 하나의 공정이 수행되는 것을 특징으로 하는 부산물 부착 방지 장치
10 10
제6항에 있어서,상기 압전소자는 Ni, Fe-Co, Fe-Al, Zn-ferrite, Pb(Zr,Ti)O3＋Pb(Zn,Nb)O3, Pb(Zr,Ti)O3＋Pb(Ni,Nb)O3, Pb(Zr,Ti)O3＋PVDF 폴리머, Pb(Zr,Ti)O3＋실리콘 폴리머 및 Pb(Zr,Ti)O3+에폭시 폴리머 중에서 선택되는 1종 이상의 압전 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 부산물 부착 방지 장치
11 11
진공 챔버;상기 진공 챔버에 결합되는 진공 펌프;상기 진공 펌프를 통해 부산물들이 이송되는 배관;상기 배관을 통해 이송된 부산물을 처리하는 스크러버; 및상기 배관의 외벽에 배치되는 초음파 발생기; 및상기 초음파 발생기와 연결되어, 상기 배관의 내부를 모니터링하는 모니터링부;를 포함하고,상기 초음파 발생기는 압전소자 또는 자왜소자를 이용하여 초음파 진동을 발생시켜, 상기 배관에 부산물이 부착되는 것을 방지하며, 상기 모니터링부는 미리 정해진 주파수를 기준으로, 측정되는 주파수를 통해 배관 내부의 부산물 부착 여부를 판단하는 것을 특징으로 하는 부산물 부착 방지 시스템
12 12
제11항에 있어서,상기 진공 챔버는반도체 제조용 진공 챔버인 것을 특징으로 하는 부산물 부착 방지 시스템
13 13
제12항에 있어서,상기 진공 챔버는포토 리소그라피 공정, 이온 주입 공정, 증착 공정, 식각 공정 또는 세정 공정 중 어느 하나의 공정이 수행되는 것을 특징으로 하는 부산물 부착 방지 시스템
14 14
제11항에 있어서,상기 압전소자는 Ni, Fe-Co, Fe-Al, Zn-ferrite, Pb(Zr,Ti)O3＋Pb(Zn,Nb)O3, Pb(Zr,Ti)O3＋Pb(Ni,Nb)O3, Pb(Zr,Ti)O3＋PVDF 폴리머, Pb(Zr,Ti)O3＋실리콘 폴리머 및 Pb(Zr,Ti)O3+에폭시 폴리머 중에서 선택되는 1종 이상의 압전 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 부산물 부착 방지 시스템
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.