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전계방출용 ＣＮＴ-금속 혼합막 제조 방법 및 에어로졸 증착장치

  • 기술번호 : KST2015189137
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 CNT(탄소나노튜브)와 금속의 혼합분말을 진공팽창원리로 가속시킨 후(에어로졸 증착법: 이하 AD법) 기재에 충돌시키는 방법을 통하여 전계방출용 (Electron Field Emission) CNT-금속 혼합막을 균일하게 형성시키는 방법 및 이러한 방법 실시를 위한 에어로졸 증착장치에 관한 것이다. 본 발명은 미세공이 다수 형성된 샤워기 형태로 구성된 가스유입부가 구비된 에어로졸 챔버; 내부에 기재가 배치된 저진공상태의 증착챔버; 및 일단은 상기 에어로졸 챔버와 연통되고 타단은 상기 증착챔버 내에 삽입되어 상기 기재를 향해 개구되어 있는 수송관; 을 포함하여 구성된 에어로졸 증착장치에 의해 (a) CNT-금속 혼합분말에 기계적 충돌에너지를 가하는 전처리 단계; (b) 전처리된 CNT-금속 혼합분말을 상기 에어로졸 챔버에 도입하고, 상기 CNT-금속 혼합분말에 수송가스를 직접 분사하여 에어로졸화시키되, 상기 샤워기 형태의 가스유입부에 의해 수송가스를 에어로졸 챔버의 전 영역에 유입시킴으로써, 에어로졸 챔버 바닥에 CNT-금속 혼합분말이 적층되지 않도록 하는 작업이 함께 시행되는 단계; 및 (c) 상기 에어로졸을 진공팽창원리로 가속하여 상기 수송관을 통해 상기 증착챔버 내부로 토출시킴으로써, 상기 기재에 증착시키는 단계; 로 시행되는 전계방출용 CNT-금속 혼합막 제조 방법을 제공한다.
Int. CL C23C 24/04 (2006.01) B05D 1/02 (2006.01)
CPC C23C 24/04(2013.01) C23C 24/04(2013.01) C23C 24/04(2013.01) C23C 24/04(2013.01) C23C 24/04(2013.01) C23C 24/04(2013.01) C23C 24/04(2013.01)
출원번호/일자 1020120092967 (2012.08.24)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1214051-0000 (2012.12.13)
공개번호/일자 10-2012-0099201 (2012.09.07) 문서열기
공고번호/일자 (20121220) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2010-0116129 (2010.11.22)
관련 출원번호 1020100116129
심사청구여부/일자 Y (2012.08.24)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 허승헌 대한민국 서울 동작구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 조성광 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***(가산동, 가산더블유센터) ****호(지본특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2012.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2012-0682266-41
2 등록결정서
Decision to grant		 2012.09.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0541747-29
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000353-25
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
미세공이 다수 형성된 샤워기 형태로 구성된 가스유입부가 구비된 에어로졸 챔버; 내부에 기재가 배치된 저진공상태의 증착챔버; 및 일단은 상기 에어로졸 챔버와 연통되고 타단은 상기 증착챔버 내에 삽입되어 상기 기재를 향해 개구되어 있는 수송관; 을 포함하여 구성된 에어로졸 증착장치에 의해 다음의 각 단계로 시행되는 전계방출용 CNT-금속 혼합막 제조 방법
2 2
제1항에서,상기 샤워기 형태의 가스유입부는 전원 공급에 의해 회전하도록 구성되어,상기 (b)단계에서는 상기 에어로졸 챔버 내에서 수송가스의 회전기류를 형성시키는 것을 특징으로 하는 전계방출용 CNT-금속 혼합막 제조 방법
3 3
제1항에서,상기 금속은 Ag, Au, Al, Zn, Pd, Sn, Pt, Fe, Co, Ni, W 및 Mo 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 전계방출용 CNT-금속 혼합막 제조 방법
4 4
제1항에서,상기 기재는 금속기판 또는 투명전도막인 것을 특징으로 하는 전계방출용 CNT-금속 혼합막 제조 방법
5 5
제1항에서,상기 (a)단계는 볼밀링법에 의해 기계적 충돌에너지를 가하는 것을 특징으로 하는 전계방출용 CNT-금속 혼합막 제조 방법
6 6
제1항에서,상기 (a)단계는 블레이드 회전에 의해 기계적 충돌에너지를 가하는 것을 특징으로 하는 전계방출용 CNT-금속 혼합막 제조 방법
7 7
제6항에서,상기 블레이드는 5,000~15,000rpm의 속도로 회전시키는 것을 특징으로 하는 전계방출용 CNT-금속 혼합막 제조 방법
8 8
가스유입부가 구비된 에어로졸 챔버; 내부에 기재가 배치된 저진공상태의 증착챔버; 및 일단은 상기 에어로졸 챔버와 연통되고 타단은 상기 증착챔버 내에 삽입되어 상기 기재를 향해 개구되어 있는 수송관; 을 포함하여 구성되며,상기 가스유입부는 미세공이 다수 형성된 샤워기 형태로 구성된 것을 특징으로 하는 에어로졸 증착장치
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