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레이저 스크라이빙 기술을 이용한 투명전도막 미세 패터닝 방법

  • 기술번호 : KST2015189156
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 레이저 빔을 이용하여 기판 위에 코팅된 투명전도막을 선폭 30㎛ 이하의 도선이 형성되도록 패터닝하는 방법에 관한 것이다.본 발명은 「(a) 투명전도막이 코팅된 기판을 준비하는 단계; (b) 광폭(廣幅) 레이저 빔으로 남겨져야 하는 투명전도선 부분 주위에 여유면을 두고 상기 투명전도막을 깎아내는 단계; (c) 협폭(狹幅) 레이저 빔으로 상기 여유면을 깎아내는 단계; 를 포함하는 레이저 스크라이빙 기술을 이용한 투명전도막 미세 패터닝 방법」을 제공한다.
Int. CL H01L 31/042 (2014.01) B23K 26/36 (2014.01) H01L 31/18 (2006.01) H01B 13/00 (2006.01)
CPC B23K 26/364(2013.01) B23K 26/364(2013.01) B23K 26/364(2013.01) B23K 26/364(2013.01)
출원번호/일자 1020120086692 (2012.08.08)
출원인 한국세라믹기술원, (주)솔라세라믹
등록번호/일자 10-1385235-0000 (2014.04.08)
공개번호/일자 10-2014-0021138 (2014.02.20) 문서열기
공고번호/일자 (20140416) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.08.08)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***
2 (주)에이치앤세온 대한민국 경기도 수원시 권선구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 허승헌 대한민국 서울 동작구
2 김다혜 대한민국 강원도 춘천시 영서로
3 유도형 대한민국 서울 양천구
4 송철규 대한민국 서울 도봉구
5 박성환 대한민국 경기 오산시 경기대로 ***,
6 김보민 대한민국 서울 강서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 조성광 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***(가산동, 가산더블유센터) ****호(지본특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 에이치앤이루자 충청남도 아산시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2012-0633590-92
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2012.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2012-0680212-40
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.06.28 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.08.12 수리 (Accepted) 9-1-2013-0068108-09
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.10.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0704856-66
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.12.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1147472-59
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2013-1147463-48
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000353-25
9 등록결정서
Decision to grant		 2014.03.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0184983-37
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.05.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5069858-62
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2018-5203649-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 투명전도막이 코팅된 기판을 준비하는 단계;(b) 광폭(廣幅) 레이저 빔으로 남겨져야 하는 투명전도선 부분 주위에 여유면을 두고 상기 투명전도막을 깎아내는 단계; 및(c) 협폭(狹幅) 레이저 빔으로 상기 여유면을 깎아내는 단계; 를 포함하며,상기 레이저 빔은 투명전도막을 제외한 기판 자체의 UV-Vis-NIR 투과율이 투명전도막이 코팅된 기판의 UV-Vis-NIR 투과율보다 7% 이상 큰 파장대에 있는 것을 특징으로 하는 레이저 스크라이빙 기술을 이용한 투명전도막 미세 패터닝 방법
2 2
제1항에서,상기 (c)단계는 상기 여유면을 투명전도선과 교차하는 방향으로 깎아 상기 투명전도선의 테두리 주위에 2차 여유면을 남겨 둔 후 상기 투명전도선의 방향을 따라 상기 2차 여유면을 깎아내는 것을 특징으로 하는 레이저 스크라이빙 기술을 이용한 투명전도막 미세 패터닝 방법
3 3
삭제
4 4
제1항에서,상기 레이저 빔의 파장이 1,000nm 이하인 경우 투명전도막이 코팅된 기판에 대한 레이저 빔의 UV-Vis-NIR 투과율이 72% 이상인 것을 특징으로 하는 레이저 스크라이빙 기술을 이용한 투명전도막 미세 패터닝 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 서울특별시 한국세라믹기술원 서울시 산학연 협력사업 (2011년 특허기술상품화 기술 개발지원사업) 유연 FTO 필름의 롤투롤 제조 기술 개발