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1
내부공간이 형성되고, 상부가 개방된 도가니;상기 도가니의 측벽에서 이격되어 구비되고, 상기 도가니를 가열하는 복수개의 가열기를 포함하는 가열유닛;상기 도가니 상측에 배치되는 인상기;를 포함하고,상기 도가니는 상하부가 관통되고 내부에 공간을 형성하는 상부도가니와;,상기 상부도가니의 하부에 이격되어 구비되고, 상부가 개방된 하부도가니;를 포함하며,상기 가열기들은 각각 독립적으로 제어되어, 상기 상부도가니와 상기 하부도가니를 가열하는 단결정 성장장치
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내부공간이 형성되고, 상부가 개방된 도가니;상기 도가니의 측벽에서 이격되어 구비되고, 상기 도가니를 가열하는 복수개의 가열기를 포함하는 가열유닛;상기 도가니 상측에 배치되는 인상기;를 포함하고,상기 가열기들은 각각 독립적으로 제어되며,상기 도가니는 하부도가니, 상부도가니, 하부도가니의 바닥면 순으로 발열량이 작아지는 단결정 성장장치
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3
청구항 2 에 있어서,상기 도가니는 상하부가 관통되고 내부에 공간을 형성하는 상부도가니와;,상기 상부도가니의 하부에 이격되어 구비되고, 상부가 개방된 하부도가니;를 포함하는 단결정 성장장치
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4
청구항 1 또는 청구항 3 에 있어서,상기 가열유닛은 상기 도가니의 외측면 상부에 구비되고 상기 상부도가니를 가열하는 제1 가열기와,상기 제1 가열기의 하부에 이격되어 구비되고, 상기 하부도가니의 측면을 가열하는 제2 가열기를 포함하고,상기 제1 가열기 및 상기 제2 가열기에는 전원 공급기가 각각 연결되는 단결정 성장장치
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5
청구항 4 에 있어서,상기 제1 가열기와 상기 제2 가열기 사이에는 차폐부재가 구비되는 단결정 성장장치
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6
청구항 4 에 있어서,상기 도가니 외측 바닥부에는,상기 하부도가니의 바닥면을 가열하기 위한 제3 가열기가 구비되고,상기 제3 가열기에는 전원 공급기가 연결되는 단결정 성장장치
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7
청구항 6 에 있어서,상기 제2 가열기와 상기 제3 가열기 사이에는 차폐부재가 구비되는 단결정 성장장치
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8
청구항 1 또는 청구항 2 에 있어서,상기 가열기들은 전원 공급기로부터 각각 상이한 주파수의 전류를 공급받고,상기 가열기들은 서로 다른 크기의 전기장이 발생되는 단결정 성장장치
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9
청구항 6 에 있어서,상기 제2 가열기는 상기 제1 가열기 및 상기 제3 가열기보다 크고, 상기 제1 가열기는 상기 제3 가열기보다 큰 주파수의 전류를 공급받는 단결정 성장장치
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10
청구항 6 에 있어서,상기 가열기들 중 적어도 어느 하나는 저항 가열 방식을 포함하는 단결정 성장장치
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11
청구항 1 또는 청구항 3 에 있어서,상기 도가니는,상부가 개방된 외부도가니와;상기 외부도가니 내부에 배치되는 내부도가니;를 포함하고,상기 외부도가니와 상기 내부도가니 사이에는 충진부재;가 구비되는 단결정 성장장치
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12
청구항 11 에 있어서,상기 외부도가니는 측면과 바닥면이 분리형으로 형성되고,상기 바닥면은 제3 가열기에 의해 가열되는 단결정 성장장치
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