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실리콘 및 SiC를 포함하고 액상 성분 함량이 20 ~ 50 중량%인 실리콘 슬러지를 컨베이어 벨트에 의해 마이크로웨이브 건조 챔버로 유입하는 단계; 및상기 실리콘 슬러지를 마이크로웨이브 건조 챔버 내의 불활성 분위기에서 40 ~ 100℃의 온도로 마이크로웨이브 가열 처리하여 유분을 제거하는 건조 단계를 포함하는 실리콘 슬러지 건조 방법
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제1항에 있어서,상기 실리콘 슬러지 중 SiC 함량은 50 ~ 80 중량%인 것을 특징으로 하는 실리콘 슬러지 건조 방법
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제1항에 있어서,상기 컨베이어 벨트는 메쉬 벨트인 것을 특징으로 하는 실리콘 슬러지 건조 방법
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제3항에 있어서,상기 메쉬 벨트를 구성하는 각 메쉬 애퍼쳐의 가로 및 세로 크기는 각각 1mm ~ 4mm 범위인 것을 특징으로 하는 실리콘 슬러지 건조 방법
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제3항에 있어서,상기 메쉬 벨트는 유리 섬유 메쉬 벨트인 것을 특징으로 하는 실리콘 슬러지 건조 방법
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제3항에 있어서,상기 메쉬 벨트는 테프론 코팅된 유리 섬유 메쉬 벨트인 것을 특징으로 하는 실리콘 슬러지 건조 방법
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제1항에 있어서, 상기 건조 단계에서 마이크로웨이브의 조사시간이 10~30분인 것을 특징으로 하는 실리콘 슬러지 건조 방법
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