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외부로부터 유입되는 공정 가스를 연소하는 연소챔버, 상기 연소챔버와 접하며 둘 이상의 영역으로 분리되어 상기 공정 가스와 열교환하는 열교환층, 및 상기 연소챔버에 상기 공정 가스를 공급하거나 배출하기 위한 공정 가스의 유동 경로를 제공하는 로터형 분배 기구를 포함하는 축열식 연소 설비에 있어서,상기 열교환층은 유전 물질을 포함하고,상기 로터형 분배 기구를 도파 경로로 하여 상기 열교환층의 미리 결정된 영역을 마이크로파 가열하는 가열 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 축열식 연소 설비
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제 1항에 있어서,상기 열교환층은 코디어라이트, 알루미나, 및 뮬라이트로 이루어진 그룹 중에서 선택된 적어도 하나 이상의 물질을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 축열식 연소 설비
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제 1항에 있어서,상기 열교환층은 유전율 10이상인 SiC, TiO2, ZnO, CuO, NiO, V2O5, Ferrite, Graphite, Zn02, 및 SiH2 로 이루어진 그룹 중에서 선택된 적어도 하나 이상의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 축열식 연소 설비
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제 1항에 있어서,상기 열교환층은 코디어라이트, 알루미나, 및 뮬라이트로 이루어진 그룹 중에서 선택된 적어도 하나 이상의 물질에 SiC, TiO2, ZnO, CuO, NiO, V2O5, Ferrite, Graphite, Zn02, 및 SiH2 로 이루어진 그룹 중에서 선택된 적어도 하나 이상의 물질이 코팅된 것을 특징으로 하는 축열식 연소 설비
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제 1항에 있어서,상기 가열 수단은 상기 로터형 분배 기구 하부에 구비되며, 상기 가열 수단으로부터 공급되는 마이크로파가 상기 로터형 분배 기구 하부에 결합되는 회전축 의 중공 및 상기 로터형 분배 기구의 내부를 도파 경로로 하여 상기 열교환층의 미리 결정된 영역을 마이크로파 가열하는 것을 특징으로 하는 축열식 연소 설비
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