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탄화규소가 코팅된 도가니를 이용한 탄화규소 단결정의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015189215
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 탄화규소가 코팅된 도가니를 이용한 탄화규소 단결정의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 탄화규소 코팅층이 적어도 500㎛ 이상이고, 상기 탄화규소는 베타상 결정의 순도 99.9% 이상인 것을 특징으로 하는 탄화규소가 코팅된 그라파이트 도가니를 사용하는 탄화규소 단결정의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면 액상성장법을 이용한 탄화규소 단결정 성장에 있어서, 실리콘 용융액에 그라파이트 도가니로부터 분진이 이탈됨을 방지하여 최종 성장된 탄화규소 단결정에 카본 함침 등 결함을 제어함으로써 고품위 탄화규소 단결정 제조가 가능하고 코팅된 베타상의 탄화규소는 액상규소에 대한 용해도가 높아 별도의 소스 공급없이 탄화규소 단결정 성장이 가능하다.
Int. CL C30B 29/36 (2006.01) C30B 15/10 (2006.01)
CPC C30B 15/10(2013.01) C30B 15/10(2013.01)
출원번호/일자 1020130129660 (2013.10.30)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1549597-0000 (2015.08.27)
공개번호/일자 10-2015-0049300 (2015.05.08) 문서열기
공고번호/일자 (20150903) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.10.30)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서원선 대한민국 서울 강남구
2 정성민 대한민국 경기 광명시 하안로 ***,
3 김영희 대한민국 서울 서대문구
4 이명현 대한민국 경기 수원시 영통구
5 김종일 대한민국 인천광역시 부평구
6 이지은 대한민국 경기 광주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 수 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, *층(역삼동, 케이앤와이빌딩)
2 강민수 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, *층 (역삼동, 우일빌딩)(광개토국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0983480-77
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000353-25
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.06.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0057454-68
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.10.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0744058-10
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2014-1282195-29
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.12.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1282194-84
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2014-1282155-14
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0335493-10
11 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2015.06.22 수리 (Accepted) 7-1-2015-0028210-32
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.07.21 수리 (Accepted) 1-1-2015-0708641-73
13 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2015.07.21 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0708690-00
14 등록결정서
Decision to Grant Registration
2015.08.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0558517-36
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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탄화규소 단결정의 제조방법에 있어서,상기 단결정의 제조는 그라파이트 도가니에 액상규소를 수용하여 단결정을 성장시키는 액상성장법을 이용하되,상기 그라파이트 도가니는 적어도 그 내면이 탄화규소에 의해 코팅되어, 탄화규소가 탄화규소 단결정 성장을 위한 원료공급원이 되도록 하며, 그 코팅층의 두께가 적어도 500㎛이고, 상기 코팅된 탄화규소는 베타상 결정으로서, 그 순도가 적어도 99
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삭제
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삭제
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제 1 항에 따른 탄화규소가 코팅된 그라파이트 도가니 사용하여 제조된 탄화규소 단결정
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.