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단결정 성장용 질화알루미늄 분말 제조 방법에 있어서,(a) 평균 입경 5 미크론 미만인 질화알루미늄 분말을 로 내부에 제공하는 단계;(b) 진공 펌프로 상기 로 내부의 압력을 대기압 미만인 제1 압력으로 감압하고 상기 로를 폐쇄하는 단계; (c) 감압 상태에서 상기 로 내의 온도를 제1 온도로 유지하는 제1 열처리 단계; 및(d) 상기 로 내의 온도를 상기 제1 온도 보다 낮은 제2 온도로 감온하여 상기 상기 질화알루미늄 분말을 입성장시키는 제2 열처리 단계를 포함하는 단결정 성장용 질화알루미늄 분말의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제1 압력은 1~200 torr인 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 질화알루미늄 분말의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제2 온도는 상기 제1 온도에 비해 100~200 ℃ 낮은 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 질화알루미늄 분말의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 단계 (c) 및 (d)를 반복하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 질화알루미늄 분말의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제1 온도는 1750~2000℃인 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 질화알루미늄 분말의 제조 방법
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제4항에 있어서,상기 제2 온도는 1600~1850℃인 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 질화알루미늄 분말의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 질화알루미늄 분말은 평균 입경은 10 미크론 이상인 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 질화알루미늄 분말의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제1 열처리 단계 및 제2 열처리 단계의 유지 시간은 1~30분인 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 질화알루미늄 분말의 제조 방법
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(a) 제1 평균 입경을 갖는 제1 질화알루미늄 분말과 상기 제1 평균 입경보다 높은 제2 평균 입경을 갖는 질화알루미늄 분말을 로 내부에 제공하는 단계;(b) 진공 펌프로 상기 로 내부의 압력을 대기압 미만인 제1 압력으로 감압하고 상기 로를 폐쇄하는 단계; (c) 감압 상태에서 상기 로 내의 온도를 제1 온도로 유지하는 제1 열처리 단계; 및(d) 상기 로 내의 온도를 상기 제1 온도 보다 낮은 제2 온도로 감온하여 유지하는 제2 열처리 단계를 포함하고,상기 단계 (c) 및 단계 (d)를 반복하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 질화알루미늄 분말의 제조 방법
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제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 기재된 방법으로 제조된 단결정 성장용 질화알루미늄 분말
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