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열전용 자립형 박막 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015189231
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따라서 기판을 제공하는 단계와; 상기 기판 상에 다층 구조의 열전 재료 박막을 형성하는 단계로서, 상기 다층 구조의 열전 재료 박막은 상기 기판 상에 형성되는 제1 열전 재료 박막과, 상기 제1 열전 재료 박막 상에 형성되는 제2 열전 재료 박막을 포함하고, 상기 제1 열전 재료 박막을 구성하는 원소의 이동도는 상기 제2 열전 재료 박막을 구성하는 원소의 이동도보다 큰 것인, 상기 다층 구조의 열전 재료 박막을 형성하는 단계와; 상기 다층 구조의 열전 재료 박막이 형성된 기판을 소정의 반응로 내부에 장착하여 열처리를 수행하는 단계와; 상기 반응로 내부에 일정 유량 이상의 불활성 가스를 도입하여, 상기 다층 구조의 열전 재료 박막이 형성된 기판을 향해 흘려주는 단계와; 상기 다층 구조의 열전 재료 박막을 상기 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 자립형 열전 재료 박막 제조 방법이 제공된다.
Int. CL H01L 35/12 (2006.01)
CPC H01L 35/34(2013.01) H01L 35/34(2013.01) H01L 35/34(2013.01)
출원번호/일자 1020130166935 (2013.12.30)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1568118-0000 (2015.11.05)
공개번호/일자 10-2015-0077953 (2015.07.08) 문서열기
공고번호/일자 (20151111) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.12.30)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김병근 대한민국 서울 금천구
2 이홍림 대한민국 서울 영등포구
3 정성민 대한민국 경기 광명시 하안로 ***,
4 서원선 대한민국 서울 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김승욱 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로 ***, ***호(서초동, 두산베어스텔)(아이피마스터특허법률사무소)
2 이채형 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** (대치동 동구빌딩 *층) Neo국제특허법률사무소

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 *
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-1204067-42
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.01.03 수리 (Accepted) 1-1-2014-0004644-52
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.07.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.08.08 수리 (Accepted) 9-1-2014-0065230-81
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0665925-04
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-1155521-76
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2014-1268954-48
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2015-0097192-19
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.02.26 수리 (Accepted) 1-1-2015-0189428-79
10 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period
2015.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0042560-23
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.03.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0307345-13
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-0307336-13
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
14 등록결정서
Decision to grant
2015.08.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0525618-87
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판을 제공하는 단계와;상기 기판 상에 다층 구조의 열전 재료 박막을 형성하는 단계로서, 상기 다층 구조의 열전 재료 박막은 상기 기판 상에 형성되는 제1 열전 재료 박막과, 상기 제1 열전 재료 박막 상에 형성되는 제2 열전 재료 박막을 포함하고, 상기 제1 열전 재료 박막을 구성하는 원소의 이동도는 상기 제2 열전 재료 박막을 구성하는 원소의 이동도보다 큰 것인, 상기 다층 구조의 열전 재료 박막을 형성하는 단계와;상기 다층 구조의 열전 재료 박막이 형성된 기판을 소정의 반응로 내부에 장착하여 열처리를 수행하는 단계와;상기 반응로 내부에 일정 유량 이상의 불활성 가스를 도입하여, 상기 다층 구조의 열전 재료 박막이 형성된 기판을 향해 흘려주는 단계와;상기 다층 구조의 열전 재료 박막을 상기 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하고,상기 열처리는 상기 제1 열전 재료 박막을 구성하는 원소와 제2 열전 재료 박막을 구성하는 원소 사이에 상호 확산이 가능케 하는 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는 자립형 열전 재료 박막 제조 방법
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 다층 구조의 열전 재료 박막을 구성하는 각각의 박막은 스퍼터링을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 자립형 열전 재료 박막 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 다층 구조의 열전 재료 박막은 Sb2Te3로 이루어지는 제1 열전 재료 박막과 Bi2Te3로 구성되는 제2 열전 재료 박막을 포함하는 것을 특징으로 하는 자립형 열전 재료 박막 제조 방법
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삭제
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청구항 1에 있어서, 상기 열처리는 300℃보다 높은 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는 자립형 열전 재료 박막 제조 방법
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청구항 5에 있어서, 상기 열처리는 300℃보다 높지만 상기 열전 재료 박막을 산화시키지 않는 온도 이하의 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는 자립형 열전 재료 박막 제조 방법
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청구항 5에 있어서, 상기 열처리에 의해 Bi-Sb-Te 조성의 단일막이 형성되는 것을 특징으로 하는 자립형 열전 재료 박막 제조 방법
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청구항 7에 있어서, 상기 열처리를 상기 열전 재료 박막이 산화되는 온도에서 수행하여, 상기 Bi-Sb-Te 조성의 단일막을 산화물 박막으로 변화시키는 것을 특징으로 하는 자립형 열전 재료 박막 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 열처리에 의해, 제1 열전 재료 박막 중의 Sb가 제2 열전 재료 중의 Bi보다 더 많이 이동하여, 상기 제1 열전 재료 박막과 기판 사이에 공극이 형성되는 것을 특징으로 하는 자립형 열전 재료 박막 제조 방법
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청구항 9에 있어서, 상기 불활성 가스가 상기 공극을 통해 흐르도록 하여, 상기 제1 열전 재료 박막과 기판 사이의 결합을 해제하는 것을 특징으로 하는 자립형 열전 재료 박막 제조 방법
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청구항 10에 있어서, 상기 불활성 가스는 100 sccm 이상의 유량으로 상기 반응로 내부에 공급되는 것을 특징으로 하는 자립형 열전 재료 박막 제조 방법
12 12
삭제
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청구항 1, 청구항 2, 청구항 3 및 청구항 5 내지 청구항 11 중 어느 한 항의 방법에 따라 만들어지는 자립형 열전 재료 박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.