| 1 |
1
기판; 상기 기판 상부에 형성되고 FTO(Fluorine-doped Tin Oxide) 나노로드로 이루어진 제1 가스감지층; 상기 제1 가스감지층 상부에 형성되고 플레이크 형태의 반도성 산화물로 이루어진 제2 가스감지층; 및상기 제2 가스감지층 상부에 형성되고 상기 제2 가스감지층과 전기적으로 연결된 전극을 포함하며, 상기 FTO 나노로드는 (110) 결정면이 우선 배향된 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 복합 가스센싱 소자
|
| 2 |
2
기판; 상기 기판 상부에 형성된 전극;상기 기판 상부에 형성되고 상기 전극과 전기적으로 연결되며 FTO(Fluorine-doped Tin Oxide) 나노로드로 이루어진 제1 가스감지층; 및상기 제1 가스감지층 상부에 형성되고 플레이크 형태의 반도성 산화물로 이루어진 제2 가스감지층을 포함하며, 상기 FTO 나노로드는 (110) 결정면이 우선 배향된 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 복합 가스센싱 소자
|
| 3 |
3
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 FTO 나노로드는 주석(Sn)과 불소(F)의 몰비가 1:0
|
| 4 |
4
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 플레이크 형태의 반도성 산화물은 두께(Depth) 당 길이(Length)의 비율(L/D)이 1∼50 범위이고, 상기 플레이크 형태의 반도성 산화물 사이에 간극이 존재하여 가스가 침투하는 공간을 제공하는 것을 특징으로 하는 복합 가스센싱 소자
|
| 5 |
5
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1 가스감지층은 0
|
| 6 |
6
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 플레이크 형태의 반도성 산화물은 CuO, Cu2O, NiO, WO3, Nb2O3 및 TiO2 중에서 선택된 1종 이상의 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 복합 가스센싱 소자
|
| 7 |
7
기판을 준비하는 단계;상기 기판 상부에 (110) 결정면이 우선 배향된 구조의 FTO(Fluorine-doped Tin Oxide) 나노로드로 이루어진 제1 가스감지층을 형성하는 단계;상기 제1 가스감지층 상부에 플레이크 형태의 반도성 산화물로 이루어진 제2 가스감지층을 형성하는 단계; 및상기 제2 가스감지층 상부에 상기 제2 가스감지층과 전기적으로 연결되는 전극을 형성하는 단계를 포함하는 복합 가스센싱 소자의 제조방법
|
| 8 |
8
기판을 준비하는 단계;상기 기판 상부에 전극을 형성하는 단계;상기 기판 상부에 (110) 결정면이 우선 배향된 구조의 FTO(Fluorine-doped Tin Oxide) 나노로드로 이루어지고 상기 전극과 전기적으로 연결되는 제1 가스감지층을 형성하는 단계; 및상기 제1 가스감지층 상부에 플레이크 형태의 반도성 산화물로 이루어진 제2 가스감지층을 형성하는 단계를 포함하는 복합 가스센싱 소자의 제조방법
|
| 9 |
9
제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 FTO 나노로드는,용매에 주석 전구체와 불소 전구체를 주석(Sn)과 불소(F)의 몰비가 1:0
|
| 10 |
10
제9항에 있어서, 상기 주석 전구체는 SnCl4·5H2O, SnCl2 및 SnCl2·2H2O 중에서 선택된 1종 이상의 물질이고, 상기 불소 전구체는 알킬기를 포함하지 않은 NH4F, HF 및 아세틸 플루오라이드(acetyl fluoride) 중에서 선택된 1종 이상의 물질인 것을 특징으로 하는 복합 가스센싱 소자의 제조방법
|
| 11 |
11
제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 플레이크 형태의 반도성 산화물은,반도성 산화물의 전구체인 금속염화물, 금속황산염 또는 금속질산염을 용매에 용해하여 전구체 용액을 형성하고, 상기 전구체 용액을 상기 제1 가스감지층 상부에 200∼550℃의 온도에서 스프레이 코팅하여 형성하며, 상기 플레이크 형태의 반도성 산화물은 두께(Depth) 당 길이(Length)의 비율(L/D)이 1∼50 범위를 이루는 것을 특징으로 하는 복합 가스센싱 소자의 제조방법
|
| 12 |
12
제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 제1 가스감지층은 0
|
| 13 |
13
제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 플레이크 형태의 반도성 산화물은 CuO, Cu2O, NiO, WO3, Nb2O3 및 TiO2 중에서 선택된 1종 이상의 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 복합 가스센싱 소자의 제조방법
|
