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세라믹 물질이 코팅된 하나 이상의 세라믹 로드형 전극봉, 하나 이상의 금속 로드형 전극봉, 및 상기 세라믹 로드형 전극봉과 금속 로드형 전극봉에 수직 방향으로 배치되는 분리판을 포함하며, 상기 세라믹 로드형 전극봉과 금속 로드형 전극봉은 등간격으로 배치되고, 상기 세라믹 로드형 전극봉과 금속 로드형 전극봉은 휘발성 유기 화합물을 포함하는 가스 흐름 방향에 수직을 형성하며 배치되고, 상기 분리판은 휘발성 유기 화합물을 포함하는 가스 흐름을 형성시키는 관통홀이 형성된 것이며, 상기 분리판은 상기 가스 흐름 방향에 평행하게 배치되는 휘발성 유기화합물 처리용 플라즈마 반응 장치
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제1항에 있어서, 3개 이상의 분리판을 포함하는 휘발성 유기화합물 처리용 플라즈마 반응 장치
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제1항에 있어서, 상기 분리판의 관통홀은 이웃하는 분리판의 관통홀과 서로 다른 방향으로 형성되는 것인 휘발성 유기화합물 처리용 플라즈마 반응 장치
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제1항에 있어서, 상기 금속 로드형 전극봉은 철, 텅스텐, 및 구리로 이루어진 군에서 선택된 금속 성분으로 제조된 것인 휘발성 유기화합물 처리용 플라즈마 반응 장치
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제1항에 있어서, 금속 촉매 및 금속산화물 촉매로 이루어진 군 중에서 선택된 1종 이상이 충진된 분리망을 추가로 포함하는 휘발성 유기화합물 처리용 플라즈마 반응 장치
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6
제1항에 있어서, 흡착제가 충진된 분리망을 추가로 포함하는 휘발성 유기화합물 처리용 플라즈마 반응 장치
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7 |
7
제1항에 있어서, 상기 세라믹 로드형 전극봉 및 금속 로드형 전극봉에 교류전압을 인가하여 플라즈마를 발생시키는 휘발성 유기화합물 처리용 플라즈마 반응 장치
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제7항에 있어서, 상기 교류 전압은 1 내지 30 kV인 휘발성 유기화합물 처리용 플라즈마 반응 장치
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