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압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015189288
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 복수의 내부전극이 형성된 압전 세라믹 파이버가 복수 개의 층으로 적층되어 적층체를 이루고, 상기 압전 세라믹 파이버의 한 개 층에 구비된 복수의 내부전극은 제1 방향으로 배향되어 있고 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향을 따라 서로 이격되어 있으며, 상기 압전 세라믹 파이버는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향을 따라 적층되어 있으며, 상기 제2 방향 및 상기 제3 방향이 이루는 상기 적층체의 일면과 이와 마주보는 면에 제1 및 제2 외부전극이 접촉되게 구비되며, 상기 제1 및 제2 외부전극을 보호하기 위한 보호필름이 상기 제1 및 제2 외부전극의 외측에 구비되어 있는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 액추에이터(actuator) 등에 사용되는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자의 전체 영역에 걸쳐 고르게 균일한 전계가 인가될 수 있으므로 효율이 높아질 수 있다.
Int. CL H01L 41/18 (2006.01) H01L 41/083 (2006.01) H01L 41/047 (2006.01)
CPC H01L 41/083(2013.01) H01L 41/083(2013.01) H01L 41/083(2013.01) H01L 41/083(2013.01) H01L 41/083(2013.01) H01L 41/083(2013.01)
출원번호/일자 1020130149595 (2013.12.04)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1537939-0000 (2015.07.14)
공개번호/일자 10-2015-0064816 (2015.06.12) 문서열기
공고번호/일자 (20150720) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.12.04)
심사청구항수 22

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조정호 대한민국 경기 수원시 장안구
2 정영훈 대한민국 경기 광명시 디지털로 **,
3 전창준 대한민국 광주 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고길수 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 **, *층 (서초동)(정석국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.12.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-1108349-93
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000353-25
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.06.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2014-0054247-09
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.09.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0617894-17
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.11.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1072030-91
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2014-1072040-47
8 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination		 2015.03.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2015-0018745-97
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
10 등록결정서
Decision to grant		 2015.04.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0249830-53
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
전도성 재료로 충진된 비아홀과 복수의 내부전극이 형성된 압전 세라믹 파이버가 복수 개의 층으로 적층되어 적층체를 이루고, 상기 압전 세라믹 파이버의 한 개 층에 구비된 복수의 내부전극은 제1 방향으로 배향되어 있고 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향을 따라 서로 이격되어 있으며, 상기 압전 세라믹 파이버는 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향을 따라 적층되어 있으며, 상기 비아홀은 내부전극의 하부에 구비되고,상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 상기 적층체의 일면과 이와 마주보는 면에 제1 및 제2 외부전극이 접촉되게 구비되며, 상기 제1 및 제2 외부전극은 비아홀을 통해 내부전극과 전기적으로 연결되고, 상기 제1 및 제2 외부전극과 내부전극은 서로 평행하게 배열되어 있으며, 상기 제1 및 제2 외부전극을 보호하기 위한 보호필름이 상기 제1 및 제2 외부전극의 외측에 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자
3 3
제2항에 있어서, 상기 압전 세라믹 파이버 사이에 유연성 및 내손상성을 개선시키고 접착을 위해 에폭시층이 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자
4 4
제2항에 있어서, 압전 세라믹 파이버의 한 개 층에 구비된 복수의 내부전극은 일정 피치로 균일하게 이격 배치되어 있고 동일한 너비를 가진 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자
5 5
제2항에 있어서, 상기 제2 방향과 상기 제3 방향이 이루는 상기 적층체의 일면을 전체적으로 바라볼 때, 내부전극은 상기 제3 방향을 따라 열을 이루게 배열되며, 상기 열은 압전 세라믹 파이버의 한 개 층에 구비된 내부전극의 수와 동일하게 구비되는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자
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제2항에 있어서, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 상기 적층체의 일면에 제1 외부전극이 접촉되게 구비되고, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 상기 적층체의 일면과 마주보는 면에 제2 외부전극이 접촉되게 구비되며, 상기 제1 및 제2 외부전극은 압전 세라믹 파이버의 면적과 동일하게 구비되고, 최하부층의 압전 세라믹 시트를 관통하는 비아홀과 최상부층의 압전 세라믹 시트를 관통하는 비아홀은 서로 교번되면서 서로 다른 열에 위치하며, 상기 제1 외부전극과 비아홀을 통해 연결되는 내부전극들은 홀수번째 열이나 짝수번째 열에 교번하면서 배열되고, 상기 제2 외부전극과 비아홀을 통해 연결되는 내부전극들은 짝수번째 열이나 홀수번째 열에 교번하면서 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자
10 10
제2항에 있어서, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 상기 적층체의 일면과 이와 마주보는 면의 각각에 제1 및 제2 외부전극이 접촉되게 구비되며, 상기 제1 및 제2 외부전극은 제1 방향으로 배향되어 있고 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향을 따라 이격되게 배치되어 있으며, 압전 세라믹 파이버의 한 개 층에 구비된 내부전극의 수와 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 상기 적층체의 일면에 구비된 제1 및 제2 외부전극의 전체 수가 동일하게 구비된 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자
11 11
제2항에 있어서, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 상기 적층체의 일면에 제1 외부전극이 접촉되게 구비되고, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 상기 적층체의 일면과 마주보는 면에 제2 외부전극이 접촉되게 구비되며, 최하부층의 압전 세라믹 시트를 관통하는 비아홀과 최상부층의 압전 세라믹 시트를 관통하는 비아홀은 서로 교번되면서 서로 다른 열에 위치하며, 압전 세라믹 파이버의 한 개 층에 구비된 내부전극의 수와 상기 제1 및 제2 외부전극의 전체 수가 동일하게 구비되고, 상기 제1 외부전극과 비아홀을 통해 연결되는 내부전극들은 홀수번째 열이나 짝수번째 열에 교번하면서 배열되고, 상기 제2 외부전극과 비아홀을 통해 연결되는 내부전극들은 짝수번째 열이나 홀수번째 열에 교번하면서 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자
12 12
제2항에 있어서, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 상기 적층체의 일면에 제1 외부전극이 접촉되게 구비되고, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 상기 적층체의 일면과 마주보는 면에 제2 외부전극이 접촉되게 구비되며, 상기 적층체에 제1 외부전극과 제2 외부전극이 결합되어 제2 적층체를 이루며, 상기 제2 적층체가 제2 방향 및 제3 방향이 이루는 면을 따라 커팅되어 적층체 파이버를 이루고, 상기 적층체 파이버가 복수 개 결합되어 제3 적층체를 이루며, 상기 적층체 파이버의 사이에 절연성 접착층이 구비되어 있고,상기 제1 및 제2 외부전극은 압전 세라믹 파이버의 면적과 동일하게 구비되고, 최하부층의 압전 세라믹 시트를 관통하는 비아홀과 최상부층의 압전 세라믹 시트를 관통하는 비아홀은 서로 교번되면서 서로 다른 열에 위치하며, 상기 제1 외부전극과 비아홀을 통해 연결되는 내부전극들은 홀수번째 열이나 짝수번째 열에 교번하면서 배열되고, 상기 제2 외부전극과 비아홀을 통해 연결되는 내부전극들은 짝수번째 열이나 홀수번째 열에 교번하면서 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자
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제2항에 있어서, 전도성 재료로 충진된 비아홀과 복수의 내부전극이 형성된 압전 세라믹 파이버가 복수 개의 층으로 적층되어 적층체 파이버를 이루고, 상기 적층체 파이버가 복수 개 결합되어 제2 적층체를 이루며, 상기 제2 적층체에 제1 외부전극과 제2 외부전극이 결합되어 제3 적층체를 이루며, 상기 적층체 파이버의 사이에 절연성 접착층이 구비되어 있고,상기 절연성 접착층은 제2 방향과 제3 방향이 이루는 면에 대하여 평행하게 복수개 구비되며,상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 상기 제3 적층체의 일면에 제1 외부전극이 접촉되게 구비되고, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 상기 적층체의 일면과 마주보는 면에 제2 외부전극이 접촉되게 구비되며, 제1 및 제2 외부전극은 복수 개의 적층체 파이버를 커버하는 형태로 구비되고, 최하부층의 압전 세라믹 시트를 관통하는 비아홀과 최상부층의 압전 세라믹 시트를 관통하는 비아홀은 서로 교번되면서 서로 다른 열에 위치하며, 상기 제1 외부전극과 비아홀을 통해 연결되는 내부전극들은 홀수번째 열이나 짝수번째 열에 교번하면서 배열되고, 상기 제2 외부전극과 비아홀을 통해 연결되는 내부전극들은 짝수번째 열이나 홀수번째 열에 교번하면서 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자
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제2항에 있어서, 전도성 재료로 충진된 비아홀과 복수의 내부전극이 형성된 압전 세라믹 파이버가 복수 개의 층으로 적층되어 적층체 파이버를 이루고, 상기 적층체 파이버가 복수 개 결합되어 제2 적층체를 이루며, 상기 제2 적층체에 제1 외부전극과 제2 외부전극이 결합되어 제3 적층체를 이루며, 상기 적층체 파이버의 사이에 절연성 접착층이 구비되어 있고,상기 절연성 접착층은 제1 방향과 제3 방향이 이루는 면에 대하여 평행하게 복수개 구비되며,상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 상기 제3 적층체의 일면에 제1 외부전극이 접촉되게 구비되고, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 상기 적층체의 일면과 마주보는 면에 제2 외부전극이 접촉되게 구비되며, 제1 및 제2 외부전극은 복수 개의 적층체 파이버를 커버하는 형태로 구비되고, 최하부층의 압전 세라믹 시트를 관통하는 비아홀과 최상부층의 압전 세라믹 시트를 관통하는 비아홀은 서로 교번되면서 서로 다른 열에 위치하며, 상기 제1 외부전극과 비아홀을 통해 연결되는 내부전극들은 홀수번째 열이나 짝수번째 열에 교번하면서 배열되고, 상기 제2 외부전극과 비아홀을 통해 연결되는 내부전극들은 짝수번째 열이나 홀수번째 열에 교번하면서 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자
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압전 세라믹 시트에 전도성 재료로 충진된 비아홀과 복수의 내부전극을 형성하되, 상기 복수의 내부전극은 상기 비아홀과 연결되고 제1 방향으로 배향되며 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향을 따라 서로 이격되게 형성하는 단계; 전도성 재료로 충진된 비아홀과 복수의 내부전극이 형성된 압전 세라믹 시트를 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향을 따라 복수 개의 층으로 적층하여 스택을 형성하는 단계;제1 외부전극이 형성된 보호필름과 제2 외부전극이 형성된 보호필름을 준비하거나 제1 및 제2 외부전극이 형성된 보호필름을 준비하는 단계;상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 상기 스택의 일면과 이와 마주보는 면에 제1 및 제2 외부전극이 접촉되게 상기 보호필름을 접착시키는 단계; 및상기 보호필름이 접착된 결과물을 제2 및 제3 방향이 이루는 면을 따라 커팅하여 복수의 내부전극이 형성된 압전 세라믹 파이버가 복수 개의 층으로 적층된 형태의 적층체를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 압전 세라믹 파이버의 한 개 층에 구비된 복수의 내부전극은 제1 방향으로 배향되어 있고 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향을 따라 서로 이격되어 있으며, 상기 압전 세라믹 파이버는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향을 따라 적층되어 있으며, 상기 비아홀은 내부전극의 하부에 구비되고,상기 제1 및 제2 외부전극은 비아홀을 통해 내부전극과 전기적으로 연결되고, 상기 제1 및 제2 외부전극과 내부전극은 서로 평행하게 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자의 제조방법
19 19
압전 세라믹 시트에 전도성 재료로 충진된 비아홀과 복수의 내부전극을 형성하되, 상기 복수의 내부전극은 상기 비아홀과 연결되고 제1 방향으로 배향되며 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향을 따라 서로 이격되게 형성하는 단계; 전도성 재료로 충진된 비아홀과 복수의 내부전극이 형성된 압전 세라믹 시트를 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향을 따라 복수 개의 층으로 적층하여 스택을 형성하는 단계;상기 스택을 제2 및 제3 방향이 이루는 면을 따라 커팅하여 복수의 내부전극이 형성된 압전 세라믹 파이버가 복수 개의 층으로 적층된 형태의 적층체를 형성하는 단계;제1 외부전극이 형성된 보호필름과 제2 외부전극이 형성된 보호필름을 준비하거나 제1 및 제2 외부전극이 형성된 보호필름을 준비하는 단계; 및상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 상기 적층체의 일면과 이와 마주보는 면에 제1 및 제2 외부전극이 접촉되게 상기 보호필름을 접착시키는 단계를 포함하며, 상기 압전 세라믹 파이버의 한 개 층에 구비된 복수의 내부전극은 제1 방향으로 배향되어 있고 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향을 따라 서로 이격되어 있으며, 상기 압전 세라믹 파이버는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향을 따라 적층되어 있으며, 상기 비아홀은 내부전극의 하부에 구비되고,상기 제1 및 제2 외부전극은 비아홀을 통해 내부전극과 전기적으로 연결되고, 상기 제1 및 제2 외부전극과 내부전극은 서로 평행하게 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자의 제조방법
20 20
압전 세라믹 시트에 전도성 재료로 충진된 비아홀과 복수의 내부전극을 형성하되, 상기 복수의 내부전극은 상기 비아홀과 연결되고 제1 방향으로 배향되며 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향을 따라 서로 이격되게 형성하는 단계; 전도성 재료로 충진된 비아홀과 복수의 내부전극이 형성된 압전 세라믹 시트를 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향을 따라 복수 개의 층으로 적층하여 스택을 형성하는 단계;제1 외부전극이 형성된 보호필름과 제2 외부전극이 형성된 보호필름을 준비하는 단계;상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 상기 스택의 일면에 제1 외부전극이 접촉되게 보호필름을 접착시키고 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 상기 스택의 일면과 마주보는 면에 제2 외부전극이 접촉되게 보호필름을 접착시키는 단계; 상기 보호필름이 접착된 결과물을 제2 및 제3 방향이 이루는 면을 따라 커팅하여 슬릿에 의해 구분되는 복수개의 적층체 파이버를 형성하는 단계; 및상기 슬릿 내에 절연성 접착제를 충진하여 상기 적층체 파이버 사이에 절연성 접착층을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 압전 세라믹 파이버의 한 개 층에 구비된 복수의 내부전극은 제1 방향으로 배향되어 있고 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향을 따라 서로 이격되어 있으며, 상기 압전 세라믹 파이버는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향을 따라 적층되어 있으며, 상기 비아홀은 내부전극의 하부에 구비되고,상기 제1 및 제2 외부전극은 비아홀을 통해 내부전극과 전기적으로 연결되고, 상기 제1 및 제2 외부전극과 내부전극은 서로 평행하게 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자의 제조방법
21 21
압전 세라믹 시트에 전도성 재료로 충진된 비아홀과 복수의 내부전극을 형성하되, 상기 복수의 내부전극은 상기 비아홀과 연결되고 제1 방향으로 배향되며 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향을 따라 서로 이격되게 형성하는 단계; 전도성 재료로 충진된 비아홀과 복수의 내부전극이 형성된 압전 세라믹 시트를 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향을 따라 복수 개의 층으로 적층하여 스택을 형성하는 단계;상기 스택을 제2 및 제3 방향이 이루는 면을 따라 커팅하여 복수의 내부전극이 형성된 압전 세라믹 파이버가 복수 개의 층으로 적층된 형태의 적층체를 형성하는 단계;상기 적층체의 제2 및 제3 방향이 이루는 면을 따라 커팅하여 슬릿에 의해 구분되는 복수개의 적층체 파이버를 형성하는 단계; 상기 슬릿 내에 절연성 접착제를 충진하여 상기 적층체 파이버 사이에 절연성 접착층을 형성하는 단계;제1 외부전극이 형성된 보호필름과 제2 외부전극이 형성된 보호필름을 준비하는 단계; 및절연성 접착층에 의해 복수개의 적층체 파이버가 결합된 적층체에서 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 일면에 제1 외부전극이 접촉되게 보호필름을 접착시키고 복수개의 적층체 파이버가 결합된 적층체에서 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 일면과 마주보는 면에 제1 및 제2 외부전극이 접촉되게 보호필름을 접착시키는 단계를 포함하며, 상기 압전 세라믹 파이버의 한 개 층에 구비된 복수의 내부전극은 제1 방향으로 배향되어 있고 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향을 따라 서로 이격되어 있으며, 상기 압전 세라믹 파이버는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향을 따라 적층되어 있으며, 상기 비아홀은 내부전극의 하부에 구비되고,상기 제1 및 제2 외부전극은 비아홀을 통해 내부전극과 전기적으로 연결되고, 상기 제1 및 제2 외부전극과 내부전극은 서로 평행하게 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자의 제조방법
22 22
압전 세라믹 시트에 전도성 재료로 충진된 비아홀과 복수의 내부전극을 형성하되, 상기 복수의 내부전극은 상기 비아홀과 연결되고 제1 방향으로 배향되며 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향을 따라 서로 이격되게 형성하는 단계; 전도성 재료로 충진된 비아홀과 복수의 내부전극이 형성된 압전 세라믹 시트를 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향을 따라 복수 개의 층으로 적층하여 스택을 형성하는 단계;상기 스택을 제2 및 제3 방향이 이루는 면을 따라 커팅하여 복수의 내부전극이 형성된 압전 세라믹 파이버가 복수 개의 층으로 적층된 형태의 적층체를 형성하는 단계;상기 적층체의 제1 및 제3 방향이 이루는 면을 따라 커팅하여 슬릿에 의해 구분되는 복수개의 적층체 파이버를 형성하는 단계; 상기 슬릿 내에 절연성 접착제를 충진하여 상기 적층체 파이버 사이에 절연성 접착층을 형성하는 단계;제1 외부전극이 형성된 보호필름과 제2 외부전극이 형성된 보호필름을 준비하는 단계; 및절연성 접착층에 의해 복수개의 적층체 파이버가 결합된 적층체에서 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 일면에 제1 외부전극이 접촉되게 보호필름을 접착시키고 복수개의 적층체 파이버가 결합된 적층체에서 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 일면과 마주보는 면에 제1 및 제2 외부전극이 접촉되게 보호필름을 접착시키는 단계를 포함하며, 상기 압전 세라믹 파이버의 한 개 층에 구비된 복수의 내부전극은 제1 방향으로 배향되어 있고 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향을 따라 서로 이격되어 있으며, 상기 압전 세라믹 파이버는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향을 따라 적층되어 있으며, 상기 비아홀은 내부전극의 하부에 구비되고,상기 제1 및 제2 외부전극은 비아홀을 통해 내부전극과 전기적으로 연결되고, 상기 제1 및 제2 외부전극과 내부전극은 서로 평행하게 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자의 제조방법
23 23
제18항 또는 제19항에 있어서, 상기 스택을 형성하는 단계에서 유연성 및 내손상성을 개선시키고 접착을 위해 상기 압전 세라믹 시트 사이에 에폭시를 도포하여 애폭시층이 형성되게 하는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자의 제조방법
24 24
제18항 내지 제22항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 압전 세라믹 파이버의 한 개 층에 구비된 복수의 내부전극은 일정 피치로 균일하게 이격 배치하고 동일한 너비를 갖게 형성하는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자의 제조방법
25 25
제18항 내지 제22항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 제2 방향과 상기 제3 방향이 이루는 상기 적층체의 일면을 전체적으로 바라볼 때, 내부전극은 상기 제3 방향을 따라 열을 이루게 배열하며, 상기 열은 압전 세라믹 파이버의 한 개 층에 구비된 내부전극의 수와 동일하게 형성하는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자의 제조방법
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삭제
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삭제
28 28
제18항 또는 제19항에 있어서, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 상기 적층체의 일면에 제1 외부전극이 접촉되게 하고, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 상기 적층체의 일면과 마주보는 면에 제2 외부전극이 접촉되게 하며, 상기 제1 및 제2 외부전극은 압전 세라믹 파이버의 면적과 동일하게 하고, 최하부층의 압전 세라믹 시트를 관통하는 비아홀과 최상부층의 압전 세라믹 시트를 관통하는 비아홀은 서로 교번되면서 서로 다른 열에 위치시키며, 상기 제1 외부전극과 비아홀을 통해 연결되는 내부전극들은 홀수번째 열이나 짝수번째 열에 교번하면서 배열되게 하고, 상기 제2 외부전극과 비아홀을 통해 연결되는 내부전극들은 짝수번째 열이나 홀수번째 열에 교번하면서 배열되게 한 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자의 제조방법
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제18항 또는 제19항에 있어서, 상기 제1 및 제2 외부전극은 제1 방향으로 배향하고 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향을 따라 이격되게 배치하며, 압전 세라믹 파이버의 한 개 층에 구비된 내부전극의 수와 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 상기 적층체의 일면에 접촉되는 제1 및 제2 외부전극의 전체 수를 동일하게 형성하는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자의 제조방법
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제18항 또는 제19항에 있어서, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 상기 적층체의 일면에 제1 외부전극이 접촉되게 하고, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향이 이루는 상기 적층체의 일면과 마주보는 면에 제2 외부전극이 접촉되게 하며, 최하부층의 압전 세라믹 시트를 관통하는 비아홀과 최상부층의 압전 세라믹 시트를 관통하는 비아홀은 서로 교번되면서 서로 다른 열에 위치시키며, 압전 세라믹 파이버의 한 개 층에 구비된 내부전극의 수와 상기 제1 및 제2 외부전극의 전체 수가 동일하게 하고, 상기 제1 외부전극과 비아홀을 통해 연결되는 내부전극들은 홀수번째 열이나 짝수번째 열에 교번하면서 배열되게 하고, 상기 제2 외부전극과 비아홀을 통해 연결되는 내부전극들은 짝수번째 열이나 홀수번째 열에 교번하면서 배열되게 한 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자의 제조방법
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제20항 내지 제22항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 제1 외부전극과 비아홀을 통해 연결되는 내부전극들은 홀수번째 열이나 짝수번째 열에 교번하면서 배열되고, 상기 제2 외부전극과 비아홀을 통해 연결되는 내부전극들은 짝수번째 열이나 홀수번째 열에 교번하면서 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자의 제조방법
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