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필라를 구비하는 세라믹 구조물 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015189292
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 포토리소그래피 공정을 이용하여 정밀한 채널과 함께 필라를 형성할 수 있는 세라믹 구조물 제조 방법 및 이를 이용한 3차원 구조의 고감도 센서에 대하여 개시한다. 본 발명에 따른 세라믹 구조물 제조 방법은 (a) 세라믹 파우더, 바인더 및 용매를 포함하는 슬러리를 제조하는 단계; (b) 상기 슬러리를 미리 정해진 형상으로 성형한 후 건조하여 그린 세라믹 구조물을 형성하는 단계; (c) 상기 그린 세라믹 구조물을 노광하되, 복수의 필라가 형성될 부분을 제외한 채널이 형성될 부분에 대하여 선택적으로 노광하거나, 채널 내에서 복수의 필라가 형성될 부분 및 나머지 부분에 대하여 선택적으로 노광하는 단계; (d) 상기 선택적 노광이 이루어진 그린 세라믹 구조물을 현상하여 채널 및 필라를 형성하는 단계; 및 (e) 상기 채널 및 필라가 형성된 그린 세라믹 구조물을 소결하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C04B 35/64 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
CPC B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01)
출원번호/일자 1020130166560 (2013.12.30)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1570442-0000 (2015.11.13)
공개번호/일자 10-2015-0080062 (2015.07.09) 문서열기
공고번호/일자 (20151120) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.12.30)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤영준 대한민국 경기 용인시 수지구
2 정현성 대한민국 서울 노원구
3 김창열 대한민국 경기 안양시 만안구
4 김종희 대한민국 서울 송파구
5 김효태 대한민국 서울시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 *
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-1201813-82
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.08.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2014-0073215-38
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.03.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0198547-51
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2015-0504076-57
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.05.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0504101-12
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.07.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0509118-95
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2015.08.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0821815-94
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2015-0821807-28
11 등록결정서
Decision to Grant Registration
2015.09.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0624793-03
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번호 청구항
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(a) 세라믹 파우더, 바인더 및 용매를 포함하는 슬러리를 제조하는 단계; (b) 상기 슬러리를 미리 정해진 형상으로 성형한 후 건조하여 그린 세라믹 구조물을 형성하는 단계; (c) 상기 그린 세라믹 구조물을 노광하되, 복수의 필라가 형성될 부분을 제외한 채널이 형성될 부분에 대하여 선택적으로 노광하거나, 채널 내에서 복수의 필라가 형성될 부분 및 나머지 부분에 대하여 선택적으로 노광하는 단계; (d) 상기 선택적 노광이 이루어진 그린 세라믹 구조물을 현상하여 채널 및 필라를 형성하는 단계; 및(e) 상기 채널 및 필라가 형성된 그린 세라믹 구조물을 소결하는 단계;를 포함하고,상기 (d) 단계 또는 상기 (e) 단계 이후, 상기 필라 표면에 습식 코팅법 또는 건식 코팅법으로 금속 전극을 형성하고, 상기 금속 전극이 형성된 복수의 필라를 서로 연결하도록, 나노와이어, 나노로드, 나노튜브, 나노섬유 중에서 1종 이상 선택되는 일차원 나노구조체를 형성함으로써, 일차원 나노구조체의 응집 문제를 최소화하여 고감도의 센서 특성을 발휘할 수 있으며,상기 일차원 나노구조체는 전기영동(electrophoresis), 유전영동(dielectrophoresis), 전기방사(electrospinning), 스프레이(spray) 코팅, EHD(electrohydrodynamic) 코팅, 화학기상증착(CVD) 및 스핀코팅 중에서 선택되는 방법으로 형성되고,상기 일차원 나노구조체는전도성 또는 반도성 산화물 나노구조체 및 탄소계 나노구조체 중 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 구조물 제조 방법
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제4항에 있어서,상기 (b) 단계는 테잎 캐스팅(tape casting)법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 세라믹 구조물 제조 방법
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제4항에 있어서, 상기 현상이 이루어진 세라믹 시트 상에 다른 세라믹 시트를 적층한 상태에서 소결하여, 채널의 상하를 밀폐하는 것을 특징으로 하는 세라믹 구조물 제조 방법
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제4항에 있어서,상기 바인더는비감광성의 경우 PVB(Polyvinyl butyral)가 사용되고, 감광성의 경우 아크릴계 바인더가 사용되는 것을 특징으로 하는 세라믹 구조물 제조 방법
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제4항에 있어서,상기 슬러리는 세라믹 파우더 100 중량부에 대하여, 바인더 10 ~ 30 중량부 및 용매 50~90 중량부를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 구조물 제조 방법
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제4항에 있어서, 상기 현상 단계는 습식 현상 방식을 이용하는 것을 특징으로 하는 세라믹 구조물 제조 방법
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지정국 정보가 없습니다
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