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A3Al5O12 조성의 희토류 산화물-알루미나계 세라믹으로서, A 사이트는 GdxY1-x(0003c#x≤0
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BAl11O18 조성의 희토류 산화물-알루미나계 세라믹으로서, B 사이트는 LaxY1-x(0003c#x003c#1)로 이루어지며, LaAl11O18 결정상과 가넷 결정상을 포함하며, 불소계 플라즈마에 대한 식각 속도가 LaAl11O18 조성의 세라믹에 비하여 작은 것을 특징으로 하는 내플라즈마 특성을 갖는 희토류 산화물-알루미나계 세라믹
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제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 희토류 산화물-알루미나계 세라믹은 불소계 플라즈마 식각 조건에서 쿼츠(quartz)와 사파이어에 비하여 식각속도가 작은 것을 특징으로 하는 내플라즈마 특성을 갖는 희토류 산화물-알루미나계 세라믹
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제1항에 있어서, 상기 A3Al5O12 조성의 희토류 산화물-알루미나계 세라믹은 상기 A 사이트가 GdxY1-x(0003c#x≤0
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제2항에 있어서, (LaxY1-x)Al11O18 조성의 희토류 산화물-알루미나계 세라믹에서 0
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A3Al5O12 조성의 희토류 산화물-알루미나계 세라믹을 제조하는 방법에 있어서, (GdxY1-x)3Al5O12(0003c#x≤0
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BAl11O18 조성의 희토류 산화물-알루미나계 세라믹을 제조하는 방법에 있어서, (LaxY1-x)Al11O18(0003c#x003c#1) 조성을 이루도록 Al2O3, Y2O3 및 La2O3의 몰비를 계산하여 Al2O3,분말, Y2O3 분말 및 La2O3 분말을 칭량하고 혼합하는 단계;상기 Al2O3, Y2O3 및 La2O3의 혼합물을 최밀 충진이 되도록 성형하는 단계; 및성형된 결과물을 1500~1800℃의 온도에서 소결하는 단계를 포함하는 내플라즈마 특성을 갖는 희토류 산화물-알루미나계 세라믹의 제조방법
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제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 혼합은 볼밀링 공정을 이용하고, 상기 볼밀링 공정에서 인산을 사용하여 산화물들을 분산시키며, 상기 성형은 냉간 정수압 성형기를 이용하는 것을 특징으로 하는 내플라즈마 특성을 갖는 희토류 산화물-알루미나계 세라믹의 제조방법
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제6항에 있어서, 불소계 플라즈마에 대한 식각 속도에 있어서 상기 A3Al5O12 조성의 희토류 산화물-알루미나계 세라믹이 Y3Al5O12 조성의 세라믹에 비하여 작도록 하기 위하여 A 사이트가 GdxY1-x(0003c#x≤0
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제7항에 있어서, 상기 BAl11O18 조성의 희토류 산화물-알루미나계 세라믹에서 B 사이트가 LaxY1-x(0
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