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응력완화성이 우수한 플라즈마 저항성 세라믹 탑코트 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015189355
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 응력완화성이 우수한 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트 및 그 제조 방법에 대하여 개시한다. 본 발명에 따른 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트 제조 방법은 (a) 기판재의 상부에 응력완화 중간층을 형성하는 단계; (b) 상기 응력완화 중간층 상부에 세라믹 탑 코트를 형성하는 단계; 및 (c) 상기 응력완화 중간층 및 세라믹 탑 코트가 형성된 기판재를 열처리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) C09D 1/00 (2006.01) C23C 14/00 (2006.01)
CPC C09D 1/00(2013.01) C09D 1/00(2013.01) C09D 1/00(2013.01) C09D 1/00(2013.01)
출원번호/일자 1020100037305 (2010.04.22)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2011-0117846 (2011.10.28) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.04.22)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오윤석 대한민국 서울특별시 강동구
2 김희식 대한민국 대구광역시 서구
3 서동남 대한민국 충청남도 서산시 석림*로 **,
4 이성민 대한민국 경기도 광주시
5 김성원 대한민국 서울특별시 강동구
6 김형태 대한민국 서울특별시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0257913-57
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.04.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.05.17 수리 (Accepted) 9-1-2011-0042736-84
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.12.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0736014-65
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.02.13 수리 (Accepted) 1-1-2012-0113743-28
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.02.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0113742-83
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2012.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0438607-52
8 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)		 2012.08.30 수리 (Accepted) 7-1-2012-0040582-79
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000353-25
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판재의 상부에 형성되는 응력완화 중간층; 및상기 응력완화 중간층 상부에 형성되는 세라믹 탑 코트;를 포함하고,상기 응력완화 중간층은 상기 세라믹 탑 코트의 0
2 2
제1항에 있어서, 상기 기판재는 비철금속, 상기 비철금속의 합금, 산화물 세라믹, 비산화물 세라믹, 유리 및 철계 금속 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트
3 3
제2항에 있어서,상기 비철금속은 알루미늄(Al), 구리(Cu) 및 마그네슘(Mg) 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트
4 4
제2항에 있어서,상기 산화물 세라믹은 이트륨 산화물(Y2O3), 실리콘 산화물(SiO2) 및 알루미나(Al2O3) 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트
5 5
제2항에 있어서,상기 비산화물 세라믹은 알루미늄 질화물(AlN), 실리콘 질화물(Si3N4) 및 실리콘 카바이드(SiC) 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트
6 6
제1항에 있어서, 상기 응력완화 중간층은 불화물계 물질, 산화물계 물질 또는 이들의 화합물로 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트
7 7
제6항에 있어서, 상기 불화물계 물질은 이트륨 불화물(YF3), 마그네슘 불화물(MgF2) 및 알루미늄 불화물(AlF) 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트
8 8
제6항에 있어서, 상기 산화물계 물질은 실리콘 산화물(SiO2)인 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트
9 9
제1항에 있어서, 상기 세라믹 탑 코트는 산화물계 세라믹 및 비산화물계 세라믹 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트
10 10
제9항에 있어서,상기 산화물계 세라믹은 알루미나(Al2O3), 이트륨 산화물(Y2O3), 실리콘 산화물(SiO2) 및 희토류 산화물 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트
11 11
제9항에 있어서,상기 비산화물계 세라믹은 알루미늄, 실리콘 및 희토류 금속 중 하나 이상을 포함하는 질화물 또는 탄화물인 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트
12 12
(a) 기판재의 상부에 응력완화 중간층을 형성하는 단계; (b) 상기 응력완화 중간층 상부에 세라믹 탑 코트를 형성하는 단계; 및(c) 상기 응력완화 중간층 및 세라믹 탑 코트가 형성된 기판재를 열처리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트 제조 방법
13 13
제12항에 있어서, 상기 (a) 단계에서, 상기 응력완화 중간층은 상기 세라믹 탑 코트의 0
14 14
제12항에 있어서, 상기 (a) 단계에서, 상기 응력완화 중간층은 상기 세라믹 탑 코트의 0
15 15
제12항에 있어서, 상기 기판재는 비철금속, 상기 비철금속의 합금, 산화물 세라믹, 비산화물 세라믹, 유리 및 철계 금속 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트 제조 방법
16 16
제15항에 있어서,상기 비철금속은 알루미늄(Al), 구리(Cu) 및 마그네슘(Mg) 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트 제조 방법
17 17
제15항에 있어서,상기 산화물 세라믹은 이트륨 산화물(Y2O3), 실리콘 산화물(SiO2) 및 알루미나(Al2O3) 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트 제조 방법
18 18
제15항에 있어서,상기 비산화물 세라믹은 알루미늄 질화물(AlN), 실리콘 질화물(Si3N4) 및 실리콘 카바이드(SiC) 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트 제조 방법
19 19
제12항에 있어서, 상기 응력완화 중간층은 불화물계 물질, 산화물계 물질 또는 이들의 화합물로 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트 제조 방법
20 20
제19항에 있어서, 상기 불화물계 물질은 이트륨 불화물(YF3), 마그네슘 불화물(MgF2) 및 알루미늄 불화물(AlF) 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트 제조 방법
21 21
제19항에 있어서, 상기 산화물계 물질은 실리콘 산화물(SiO2)인 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트 제조 방법
22 22
제12항에 있어서, 상기 세라믹 탑 코트는 산화물계 세라믹 및 비산화물계 세라믹 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트 제조 방법
23 23
제22항에 있어서,상기 산화물계 세라믹은 알루미나(Al2O3), 이트륨 산화물(Y2O3), 실리콘 산화물(SiO2) 및 희토류 산화물 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트 제조 방법
24 24
제22항에 있어서,상기 비산화물계 세라믹은 알루미늄, 실리콘 및 희토류 금속 중 하나 이상을 포함하는 질화물 또는 탄화물인 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트 제조 방법
25 25
제12항에 있어서,상기 (a) 단계 또는 상기 (b) 단계는 진공증착법으로 실시되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트 제조 방법
26 26
제25항에 있어서,상기 진공증착법은 전자빔 증착, 스퍼터링, 이온플레이팅 및 CVD 방법 중에서 선택되는 방법으로 실시되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트 제조 방법
27 27
제25항에 있어서,상기 진공증착법은 저압식 에어로졸 증착 방법으로 실시되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트 제조 방법
28 28
제27항에 있어서,상기 저압식 에어로졸 증착 방법은 상기 기판재가 Ra값 기준으로 50nm 이하의 표면조도를 갖도록 경면 연마한 후, 상기 응력완화 중간층을 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 저항성 세라믹 탑 코트 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 부설 재료연구소 소재원천기술개발사업 계면제어기술을 통한 초임계 성능 세라믹스 소재 개발