맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

박막 제조방법

  • 기술번호 : KST2015189363
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 박막 제조방법에 관한 것으로, Ni 및 Fe를 기판에 증착한 후, Ni 및 Fe가 증착된 기판을 열처리하여 이루어지는 박막 제조방법에 있어서,상기 기판은, Ni 및 Fe가 증착되는 증착과정과, 열처리 과정이 동일 챔버 내에서 이루어지는 것을 특징으로 하여, 열처리 후 포화자화값이 낮아지지 않도록 하는 효과가 있다.
Int. CL H01L 21/203 (2006.01) H01L 21/324 (2006.01)
CPC H01L 21/324(2013.01) H01L 21/324(2013.01)
출원번호/일자 1020100125570 (2010.12.09)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2012-0064372 (2012.06.19) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.09)
심사청구항수 3

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 전명표 대한민국 경기도 수원시 권선구
2 강대식 대한민국 서울특별시 서대문구
3 조정호 대한민국 경기도 수원시 장안구
4 남중희 대한민국 경기도 군포시
5 백종후 대한민국 경기도 안양시 동안구
6 이영진 대한민국 경기도 안양시 동안구
7 정영훈 대한민국 서울특별시 구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이상문 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** 남경빌딩 ***호(삼오국제특허법률사무소)
2 박천도 대한민국 서울시 강남구 역삼로 *** 남경빌딩 ***호(삼오국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.12.09 수리 (Accepted) 1-1-2010-0811872-13
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.08.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.09.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0072562-84
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.03.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0170382-66
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.04.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0316537-80
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2012.10.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0649089-94
7 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner		 2013.01.16 수리 (Accepted) 7-8-2013-0001541-02
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000353-25
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
Ni 및 Fe를 기판에 증착한 후, Ni 및 Fe가 증착된 기판을 열처리하여 이루어지는 박막 제조방법에 있어서,상기 기판은, Ni 및 Fe가 증착되는 증착과정과, 열처리 과정이 동일 챔버 내에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 챔버는 초기 진공이 6×10-6 torr가 되고, Ar 가스가 30 sccm으로 챔버에 주입되어, 5 mtorr가 되는 한편, 기판의 증착과정은 p-type의 Si로 이루어진 기판이 챔버 내에서 6rpm으로 회전하면서, Ni 및 Fe가 동시에 기판에 증착되되, 100nm의 두께로 증착되어 이루어지고, 기판의 열처리 과정은 챔버 내에 설치된 히터에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막 제조방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 기판은 300~450℃로 열처리 되는 것을 특징으로 하는 박막 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.