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제1 보호층; 상기 제1 보호층 상에 형성된 제1 전극; 상기 제1 전극 및 제1 보호층 상에 전기 방사 방식으로 적층 형성된 압전 섬유층; 상기 압전 섬유층 상에 형성된 제2 전극; 및 상기 제2 전극 및 압전 섬유층 상에 형성된 제2 보호층;을 포함하며, 상기 압전 섬유층은 압전 세라믹 분말 및 폴리머 레진을 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 섬유 복합체
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제1항에 있어서,상기 제1 및 제2 보호층 각각은 PDMS(polydimethylsiloxane), PE(polyethylene), PP(polypropylene), 에폭시 수지(epoxy resin), 폴리이미드 수지(polyimide resin), PVA(polyvinyl alcohol) 및 PVB(polyvinyl butyral) 중 선택된 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 압전 섬유 복합체
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제1항에 있어서,상기 압전 섬유층은 100 ~ 5000㎛의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 압전 섬유 복합체
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제1항에 있어서,상기 압전 세라믹 분말은 10 ~ 300㎛의 평균 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 압전 섬유 복합체
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제1항에 있어서,상기 압전 세라믹 분말은 PZT계, KNN계, BNT계 및 BKT계 중 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 압전 섬유 복합체
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제1항에 있어서,상기 폴리머 레진은 PVDF(polyvinylidene fluoride), PVP(polyvinylpyrrolidone) 및 에폭시 수지(epoxy resin) 중 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 압전 섬유 복합체
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(a) 스핀 척 상에 제1 보호 물질을 적하하여 스핀 코팅한 후, 건조하여 제1 보호층을 형성하는 단계; (b) 상기 제1 보호층 상에 스퍼터링 방식 또는 코팅 방식으로 제1 전극을 형성하는 단계; (c) 상기 제1 전극이 형성된 제1 보호층 상에 압전 섬유 물질을 전기 방사하여 압전 섬유층을 적층 형성하는 단계; (d) 상기 압전 섬유층 상에 스퍼터링 방식 또는 코팅 방식으로 제2 전극을 형성하는 단계; 및 (e) 상기 제2 전극이 형성된 압전 섬유층 상에 제2 보호 물질을 적하하여 스핀 코팅한 후, 건조하여 제2 보호층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 섬유 복합체 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 (c) 단계에서,상기 전기 방사는 방사 전압 : 10 ~ 30V 및 방사 거리 : 5 ~ 20cm 조건으로 실시하는 것을 특징으로 하는 압전 섬유 복합체 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 (c) 단계에서,상기 압전 섬유 물질은 압전 세라믹 분말, 폴리머 레진 및 용매를 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 섬유 복합체 제조 방법
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제10항에 있어서,상기 압전 세라믹 분말은 PZT계, KNN계, BNT계 및 BKT계 중 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 압전 섬유 복합체 제조 방법
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제10항에 있어서,상기 압전 세라믹 분말은 10 ~ 300㎛의 평균 직경을 갖는 것을 특징으로 하는 압전 섬유 복합체 제조 방법
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제10항에 있어서,상기 폴리머 레진은 PVDF(polyvinylidene fluoride), PVP(polyvinylpyrrolidone) 및 에폭시 수지(epoxy resin) 중 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 압전 섬유 복합체 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 압전 섬유층은 100 ~ 5000㎛의 두께로 형성하는 것을 특징으로 하는 압전 섬유 복합체 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 (e) 단계 이후, (f) 상기 스핀 척으로부터 상기 제1 보호층, 제1 전극, 압전 섬유층, 제2 전극 및 제2 보호층이 차례로 적층된 압전 섬유 복합체를 떼어내는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 섬유 복합체 제조 방법
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