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고온화학기상증착용 버블링 장치

  • 기술번호 : KST2015189409
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 액상의 원료를 저장하는 원료저장부와, 상기 원료를 버블링 시키기 위한 적어도 하나의 버블 가스를 공급하는 버블 가스 공급부와, 상기 버블 가스에 의해 버블링된 원료를 가열하여 기화시키기 위한 가열 수단과, 상기 버블 가스가 상기 원료저장부로 유입되는 통로를 제공하는 버블 가스 유입구 및 상기 원료가 기화되어 형성된 원료 가스가 상기 원료저장부에서 배출되어 고온화학기상증착 장치의 반응챔버로 공급하기 위한 통로를 제공하는 원료 가스 배출구를 포함하는 고온화학기상증착용 버블링 장치에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 고온화학기상증착에 액상의 원료를 사용할 수 있으므로 많은 다양한 물질을 적용하여 목표하는 물질을 제조할 수 있고, 버블링을 이용하므로 액상의 원료를 기화시키기가 용이하며, 비교적 저온에서 액상의 원료를 기화시킬 수 있다.
Int. CL C23C 16/455 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01)
CPC C23C 16/4482(2013.01) C23C 16/4482(2013.01) C23C 16/4482(2013.01) C23C 16/4482(2013.01)
출원번호/일자 1020120026857 (2012.03.16)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1375616-0000 (2014.03.12)
공개번호/일자 10-2013-0104908 (2013.09.25) 문서열기
공고번호/일자 (20140318) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.03.16)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서원선 대한민국 서울 강남구
2 이명현 대한민국 경기 수원시 영통구
3 김경훈 대한민국 경기 안양시 만안구
4 정성민 대한민국 경기 광명시 안현로 **, *
5 윤영준 대한민국 경기 용인시 수지구
6 안종필 대한민국 경기 수원시 장안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고길수 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 **, *층 (서초동)(정석국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.03.16 수리 (Accepted) 1-1-2012-0212004-51
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.02.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.04.03 수리 (Accepted) 9-1-2013-0022426-46
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.07.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0482945-80
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.09.12 수리 (Accepted) 1-1-2013-0833384-63
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.10.11 수리 (Accepted) 1-1-2013-0917703-83
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.11.12 수리 (Accepted) 1-1-2013-1027115-94
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.12.12 수리 (Accepted) 1-1-2013-1137184-25
9 지정기간연장관련안내서
Notification for Extension of Designated Period
2013.12.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0158519-23
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000353-25
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.01.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0025939-52
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2014-0025999-81
13 등록결정서
Decision to grant
2014.01.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0044832-13
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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액상의 원료를 저장하는 원료저장부; 상기 원료를 버블링 시키기 위한 적어도 하나의 버블 가스를 공급하는 버블 가스 공급부;상기 버블 가스에 의해 버블링된 원료를 가열하여 기화시키기 위한 제1 가열 수단;상기 버블 가스가 상기 원료저장부로 유입되는 통로를 제공하는 버블 가스 유입구; 및상기 원료가 기화되어 형성된 원료 가스가 상기 원료저장부에서 배출되어 고온화학기상증착 장치의 반응챔버로 공급하기 위한 통로를 제공하는 원료 가스 배출구를 포함하며,상기 원료는 테트라메틸실란, 메틸트리클로로실란, 트리에틸실란 및 트리메틸알루미늄 중에서 선택된 1종 이상의 물질을 포함하고,상기 버블 가스 유입구로 유입된 버블 가스가 상기 버블 가스 유입구에서 상기 원료저장부의 저부로 이동되는 경로를 제공하는 버블 가스 운반관이 구비되어 있고, 상기 버블 가스 운반관은 상기 원료저장부의 바닥까지 연장되게 형성되어 있으며,상기 원료저장부의 둘레에는 냉각 실린더가 구비되고, 상기 냉각 실린더 내부를 냉각수가 순환되게 하고,상기 원료 가스 배출구와 상기 반응챔버를 연통하는 도관의 둘레에는 제2 가열 수단이 구비되어 있고, 상기 제2 가열 수단에 의해 상기 원료 가스가 액화되는 것을 억제하며,상기 원료저장부에 저장된 원료의 함량을 확인할 수 있게 원료확인부가 구비되어 있으며, 상기 원료확인부는 투명한 창을 갖는 별도의 도관으로 형성되고 상기 원료저장부의 바닥면과 상기 원료확인부의 바닥면이 동일하게 함으로써 상기 원료저장부에 원료가 채워지는 경우에 상기 원료확인부에도 동일한 높이로 원료가 채워지게 구성되며, 상기 원료확인부의 투명한 창을 통해 액상인 원료의 잔량을 확인함으로써 상기 원료를 보충하는 시기를 판단할 수 있는 것을 특징으로 하는 고온화학기상증착용 버블링 장치
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제1항에 있어서, 상기 원료를 상기 원료저장부에 보충하기 원료투입구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 고온화학기상증착용 버블링 장치
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제1항에 있어서, 상기 원료는 액상의 금속유기화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 고온화학기상증착용 버블링 장치
8 8
삭제
9 9
제1항에 있어서, 상기 버블 가스는 아르곤(Ar), 헬륨(He), 질소(N2), 수소(H2) 및 산소(O2) 중에서 선택된 1종 이상의 가스로 이루어진 것을 특징으로 하는 고온화학기상증착용 버블링 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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