| 1 |
1
제1 평판과, 상기 제1 평판에 대하여 계단형으로 단차를 갖게 돌출되어 있고 종자정이 위치되는 제2 평판을 포함하는 홀더; 상기 종자정을 노출시키기 위한 개구부가 구비되는 제3 평판과, 상기 제3 평판에 수직한 벽면을 포함하는 구조를 가지며, 내측에 상기 제2 평판을 일부 수용할 수 있는 빈 공간이 있어 상기 제2 평판을 덮을 수 있는 홀더 캡; 및상기 홀더에 대면하는 도가니 본체를 포함하며, 상기 제2 평판의 측면 둘레에 사선형 나사산 형태의 착탈돌기가 구비되고 상기 홀더 캡의 내측에는 상기 착탈돌기에 대응하여 사선형의 착탈홈이 구비되거나, 상기 제2 평판의 측면 둘레에 사선형의 착탈홈이 구비되고 상기 홀더 캡의 내측에는 상기 착탈홈에 대응하여 사선형 나사산 형태의 착탈돌기가 구비되어 있으며, 상기 홀더 캡을 상기 제2 평판 상부에 위치시키고 제1 방향으로 회전시키면 상기 착탈돌기와 상기 착탈홈이 서로 맞물려서 상기 홀더 캡이 상기 홀더에서 이탈되지 않게 결합될 수 있고, 상기 홀더 캡의 탈착시에는 상기 홀더 캡을 상기 제1 방향과 반대되는 제2 방향으로 돌려서 상기 홀더로부터 분리할 수 있으며,상기 개구부는 상기 종자정을 부착시킬 위치에 대응되게 구비되고, 복수 개 구비되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장을 위한 고온화학기상증착 장치용 도가니
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 제1 평판의 길이는 상기 제2 평판의 길이보다 크고, 상기 제2 평판은 상기 제1 평판의 중심부를 기준으로 동일한 거리로 위치되면서 돌출되어 있는 납작한 원기둥 형태를 갖고,상기 홀더 캡의 내측 모양은 상기 제2 평판의 모양에 대응되게 단면 모양이 원형의 형태를 가지며, 상기 홀더 캡 내측의 지름은 상기 제2 평판의 지름보다 크게 구비되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장을 위한 고온화학기상증착 장치용 도가니
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 개구부의 크기는 상기 개구부가 상기 종자정의 상부에 위치되었을 때 상기 종자정의 가장자리가 외부로 노출되지 않도록 상기 종자정의 크기보다 작게 구비되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장을 위한 고온화학기상증착 장치용 도가니
|
| 5 |
5
제1 평판과, 상기 제1 평판에 대하여 계단형으로 단차를 갖게 돌출되어 있고 종자정이 위치되는 제2 평판을 포함하는 홀더; 상기 종자정을 노출시키기 위한 개구부가 구비되는 제3 평판과, 상기 제3 평판에 수직한 벽면을 포함하는 구조를 가지며, 내측에 상기 제2 평판을 일부 수용할 수 있는 빈 공간이 있어 상기 제2 평판을 덮을 수 있는 홀더 캡; 및상기 홀더에 대면하는 도가니 본체를 포함하며, 상기 제2 평판의 측면 둘레에 사선형 나사산 형태의 착탈돌기가 구비되고 상기 홀더 캡의 내측에는 상기 착탈돌기에 대응하여 사선형의 착탈홈이 구비되거나, 상기 제2 평판의 측면 둘레에 사선형의 착탈홈이 구비되고 상기 홀더 캡의 내측에는 상기 착탈홈에 대응하여 사선형 나사산 형태의 착탈돌기가 구비되어 있으며, 상기 홀더 캡을 상기 제2 평판 상부에 위치시키고 제1 방향으로 회전시키면 상기 착탈돌기와 상기 착탈홈이 서로 맞물려서 상기 홀더 캡이 상기 홀더에서 이탈되지 않게 결합될 수 있고, 상기 홀더 캡의 탈착시에는 상기 홀더 캡을 상기 제1 방향과 반대되는 제2 방향으로 돌려서 상기 홀더로부터 분리할 수 있으며,상기 도가니 본체의 상부와 상기 홀더의 제1 평판 사이에는 배출부가 구비되며, 상기 배출부는 탄소 섬유 재질의 다공성의 펠트(felt)로 이루어진 것을 특징으로 하는 단결정 성장을 위한 고온화학기상증착 장치용 도가니
|
| 6 |
6
제5항에 있어서, 화학기상증착 동안에 상기 배출부 주변의 온도가 1900℃보다 높은 온도로 유지되게 하여 상기 배출부에서의 탄소 석출을 억제하기 위하여 상기 홀더의 길이 및 홀더 캡의 두께를 조절하여 설계된 것을 특징으로 하는 단결정 성장을 위한 고온화학기상증착 장치용 도가니
|
| 7 |
7
제1항에 있어서, 상기 홀더 및 상기 홀더 캡은 흑연 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 단결정 성장을 위한 고온화학기상증착 장치용 도가니
|
| 8 |
8
제1항에 있어서, 상기 도가니 본체는 하부에서 상부까지 내부가 관통되어 있는 구조를 갖고, 흑연 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 단결정 성장을 위한 고온화학기상증착 장치용 도가니
|
| 9 |
9
제1 평판과, 상기 제1 평판에 대하여 계단형으로 단차를 갖게 돌출되어 있고 종자정이 위치되는 제2 평판을 포함하는 홀더; 상기 종자정을 노출시키기 위한 개구부가 구비되는 제3 평판과, 상기 제3 평판에 수직한 벽면을 포함하는 구조를 가지며, 내측에 상기 제2 평판을 일부 수용할 수 있는 빈 공간이 있어 상기 제2 평판을 덮을 수 있는 홀더 캡; 및상기 홀더에 대면하는 도가니 본체를 포함하며, 상기 제2 평판의 측면 둘레에 사선형 나사산 형태의 착탈돌기가 구비되고 상기 홀더 캡의 내측에는 상기 착탈돌기에 대응하여 사선형의 착탈홈이 구비되거나, 상기 제2 평판의 측면 둘레에 사선형의 착탈홈이 구비되고 상기 홀더 캡의 내측에는 상기 착탈홈에 대응하여 사선형 나사산 형태의 착탈돌기가 구비되어 있으며, 상기 홀더 캡을 상기 제2 평판 상부에 위치시키고 제1 방향으로 회전시키면 상기 착탈돌기와 상기 착탈홈이 서로 맞물려서 상기 홀더 캡이 상기 홀더에서 이탈되지 않게 결합될 수 있고, 상기 홀더 캡의 탈착시에는 상기 홀더 캡을 상기 제1 방향과 반대되는 제2 방향으로 돌려서 상기 홀더로부터 분리할 수 있으며,상기 도가니 본체는, 상기 도가니를 지지하기 위한 도가니 지지부에 안착되는 제1 도가니 본체; 상기 제1 도가니 본체의 상부에 장착되는 제2 도가니 본체; 및 상기 제2 도가니 본체 상부에 장착되는 제3 도가니 본체를 포함하는 3단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장을 위한 고온화학기상증착 장치용 도가니
|
| 10 |
10
제9항에 있어서, 상기 제1 도가니 본체는, 하부에 구비되고 상기 도가니 지지부의 상단이 일부 삽입되게 상부로 오목하게 구비된 제1 단턱부;내측을 중심으로 외측 방향으로 돌출되게 구비되어 상기 도가니의 둘레를 감싸는 단열재를 지지하기 위한 단열재 지지부; 및상부에 구비되고 상기 제2 도가니 본체의 하단이 일부 삽입되게 하부로 오목하게 구비된 제2 단턱부를 포함하고,상기 제2 도가니 본체는,하부에 구비되고 상기 제1 도가니 본체의 상단이 일부 삽입되게 상부로 오목하게 구비된 제3 단턱부; 및상부에 구비되고 상기 제3 도가니 본체의 하단이 일부 삽입되게 하부로 오목하게 구비된 제4 단턱부를 포함하며,상기 제3 도가니 본체는,상기 제2 도가니 본체의 상단이 일부 삽입되게 상부로 오목하게 구비된 제5 단턱부를 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장을 위한 고온화학기상증착 장치용 도가니
|
| 11 |
11
원료 가스가 공급되어 목표하는 물질을 합성하는 공간을 제공하는 반응챔버; 상기 반응챔버를 지지하기 위한 반응챔버 지지부;상기 반응챔버 내에 구비되고 자체 가열원으로 작용하는 도가니;상기 도가니를 지지하기 위한 도가니 지지부;상기 반응챔버의 둘레를 감싸게 구비되고 상기 도가니를 고주파 유도가열 방식으로 가열하기 위한 가열수단;상기 도가니 상부에 위치되고 목표하는 물질이 증착되는 타겟;상기 타겟을 지지하기 위한 타겟 지지부;상기 반응챔버에 원료 가스를 공급하는 원료공급부; 상기 원료 가스를 상기 반응챔버에 공급하기 위한 통로를 제공하는 가스유입구; 및상기 반응챔버 내의 가스를 배출하기 위한 가스배출구를 포함하며,상기 도가니는, 제1 평판과, 상기 제1 평판에 대하여 계단형으로 단차를 갖게 돌출되어 있고 종자정이 위치되는 제2 평판을 포함하는 홀더; 상기 종자정을 노출시키기 위한 개구부가 구비되는 제3 평판과, 상기 제3 평판에 수직한 벽면을 포함하는 구조를 가지며, 내측에 상기 제2 평판을 일부 수용할 수 있는 빈 공간이 있어 상기 제2 평판을 덮을 수 있는 홀더 캡; 및상기 홀더에 대면하는 도가니 본체를 포함하며, 상기 제2 평판의 측면 둘레에 사선형 나사산 형태의 착탈돌기가 구비되고 상기 홀더 캡의 내측에는 상기 착탈돌기에 대응하여 사선형의 착탈홈이 구비되거나, 상기 제2 평판의 측면 둘레에 사선형의 착탈홈이 구비되고 상기 홀더 캡의 내측에는 상기 착탈홈에 대응하여 사선형 나사산 형태의 착탈돌기가 구비되어 있으며, 상기 홀더 캡을 상기 제2 평판 상부에 위치시키고 제1 방향으로 회전시키면 상기 착탈돌기와 상기 착탈홈이 서로 맞물려서 상기 홀더 캡이 상기 홀더에서 이탈되지 않게 결합될 수 있고, 상기 홀더 캡의 탈착시에는 상기 홀더 캡을 상기 제1 방향과 반대되는 제2 방향으로 돌려서 상기 홀더로부터 분리할 수 있는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 고온화학기상증착 장치
|
| 12 |
12
제11항에 있어서, 상기 반응챔버의 하부에 상기 반응챔버 지지부가 구비되고,상기 반응챔버 지지부는, 상기 반응챔버의 하단과 맞닿아서 밀폐하기 위한 받침부; 상기 받침부와 연결되는 몸체부; 및 상기 몸체부와 연결되어 지지하기 위한 제1 지지 플레이트를 포함하며, 상기 받침부, 상기 몸체부 및 상기 제1 지지 플레이트의 내부에는 빈 공간인 관통공이 구비되어 있고, 상기 관통공은 상기 반응챔버의 내부와 연결되는 통로로서 상기 도가니 본체와 상기 도가니 지지부가 삽입되는 공간을 제공하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 고온화학기상증착 장치
|
| 13 |
13
제12항에 있어서, 상기 받침부에는 상기 반응챔버의 하단 일부가 삽입되게 하부로 오목한 단턱부가 형성되어 있고, 상기 몸체부의 둘레에는 냉각 실린더가 구비되며,상기 냉각 실린더 내부를 흐르는 냉각수에 의해 상기 반응챔버 지지부를 수냉시켜 상기 반응챔버의 하단이 과열되는 것을 억제하고 상기 반응챔버의 하단을 냉각시킬 수 있으며, 상기 제1 지지 플레이트는 상기 몸체부의 외경보다 큰 넓은 판형으로 구비되고 가이드레일에 연결되며, 상기 가이드레일을 따라 상기 반응챔버와 상기 반응챔버 지지부는 상하로 이동될 수 있는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 고온화학기상증착 장치
|
| 14 |
14
제11항에 있어서, 상기 도가니 본체의 하부에 상기 도가니 지지부가 구비되고,상기 도가니 지지부는, 상기 도가니 본체가 안착되고 증착 시에 상기 반응챔버 지지부 내에 구비된 관통공을 통해 상기 반응챔버 내로 일부 삽입되는 도가니 안착부; 상기 도가니 안착부에 연결되고 상기 반응챔버 지지부 내에 구비된 관통공을 밀폐하기 위한 실링부; 및상기 실링부와 연결되어 지지하기 위한 제2 지지 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 고온화학기상증착 장치
|
| 15 |
15
제14항에 있어서, 상기 도가니 안착부, 상기 실링부 및 상기 제2 지지 플레이트의 내부에는 온도 측정용 홀이 구비되어 있고, 상기 도가니 본체의 내부와 연결되는 통로인 상기 온도 측정용 홀을 통해 광학적 온도 측정 방식을 이용하여 상기 도가니 본체의 온도를 측정할 수 있는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 고온화학기상증착 장치
|
| 16 |
16
제14항에 있어서, 상기 도가니 안착부는 기둥 형상의 구조로 이루어지고,상기 도가니 안착부의 상부는 상기 도가니 본체의 하단과 맞닿는 부분으로서 상기 도가니 본체의 하단에 구비된 오목한 제1 단턱부로 일부 삽입됨으로써 상기 도가니 본체와 결합되며,상기 도가니 안착부에는 상기 반응챔버 내로 가스를 유입시키기 위한 가스유입구가 구비되어 있으며, 상기 제2 지지 플레이트는 상기 실링부의 외경보다 큰 넓은 판형으로 구비되고 가이드레일에 연결되며, 상기 가이드레일을 따라 상기 도가니 본체와 상기 도가니 지지부는 상하로 이동될 수 있는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 고온화학기상증착 장치
|
| 17 |
17
제11항에 있어서, 상기 반응챔버 지지부를 승강 또는 하강시키기 위한 제1 구동부를 더 포함하며, 상기 제1 구동부에 의해 상기 반응챔버와 상기 반응챔버 지지부가 상하로 이동될 수 있는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 고온화학기상증착 장치
|
| 18 |
18
제11항에 있어서, 상기 도가니 지지부를 승강 또는 하강시키기 위한 제2 구동부를 더 포함하며, 상기 제2 구동부에 의해 상기 도가니 본체와 상기 도가니 지지부가 상하로 이동될 수 있어 상기 도가니 본체와 상기 타겟 사이의 거리를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 고온화학기상증착 장치
|
| 19 |
19
제11항에 있어서, 상기 타겟 지지부는 승강 또는 하강할 수 있게 구비되고, 상기 타겟 지지부의 승강 또는 하강에 연동되어 상기 타겟이 상하로 이동될 수 있어 상기 타겟과 상기 도가니 본체 사이의 거리를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 고온화학기상증착 장치
|
| 20 |
20
제11항에 있어서, 상기 가열수단은 승강 또는 하강될 수 있게 구비되고, 상기 가열수단이 상하로 이동될 수 있어 상기 도가니 본체의 위치에 따라 상기 가열수단의 위치를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 고온화학기상증착 장치
|
| 21 |
21
제11항에 있어서, 상기 타겟 지지부에 온도 측정용 홀이 상기 타겟이 설치된 위치까지 관통되게 형성되고, 상기 온도 측정용 홀을 통해 광학적 프리즘을 이용하여 상기 타겟의 온도를 광학적으로 측정하는 광학적 온도 측정장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 고온화학기상증착 장치
|
| 22 |
22
제11항에 있어서, 상기 도가니 지지부에 온도 측정용 홀이 상기 도가니 본체가 설치된 위치까지 관통되게 형성되고, 상기 온도 측정용 홀을 통해 광학적 프리즘을 이용하여 상기 도가니 본체의 온도를 광학적으로 측정하는 광학적 온도 측정장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 고온화학기상증착 장치
|
| 23 |
23
제11항에 있어서, 상기 가열수단의 둘레에는 냉각 실린더가 더 구비되고, 상기 냉각 실린더 내부를 냉각수가 순화되게 하여 상기 반응챔버 내부의 온도가 과열되는 것을 억제하고 상기 반응챔버를 냉각하고, 상기 타겟 주변의 열 방출을 억제하기 위한 단열재가 더 구비되고, 상기 단열재는 증착되는 위치를 제외한 부분의 타겟 둘레를 감싸는 형태로 구비되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 고온화학기상증착 장치
|
