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세라믹 분말 에어로졸 증착 방법

  • 기술번호 : KST2015189485
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 세라믹 분말을 진공팽창원리로 가속시킨 후(에어로졸 증착법: 이하 AD법) 기재에 충돌시키는 방법을 통하여 세라믹 증착막을 균일하게 형성시키는 방법에 관한 것이다.본 발명은 수송기체를 챔버 내부로 분사하는 회전식 가스분사기가 구비되어 있는 에어로졸 챔버; 내부에 기재가 배치된 저진공상태의 증착챔버; 및 일단은 상기 에어로졸 챔버와 연통되고 타단은 상기 증착챔버 내에 삽입되어 상기 기재를 향해 개구되어 있는 수송관; 을 포함하여 구성된 에어로졸 증착장치에 의해, (a) 세라믹 분말을 상기 에어로졸 챔버에 도입하는 단계; (b) 상기 회전식 가스분사기를 통해 수송가스를 분사하여 상기 에어로졸 챔버 내부에서 수송가스의 회전기류가 형성되도록 함으로써, 세라믹 분말을 에어로졸화시키면서, 상기 에어로졸 챔버 바닥에 세라믹 분말이 적층되지 않도록 하는 단계 및 (c) 상기 에어로졸을 진공팽창원리로 가속하여 상기 수송관을 통해 상기 증착챔버 내부로 토출시킴으로써, 상기 기재에 증착시키는 단계; 로 시행되는 세라믹 분말 에어로졸 증착 방법을 제공한다.
Int. CL B05D 1/20 (2006.01) C23C 24/08 (2006.01)
CPC C23C 24/04(2013.01) C23C 24/04(2013.01) C23C 24/04(2013.01)
출원번호/일자 1020100116095 (2010.11.22)
출원인 한국세라믹기술원, 거림테크 주식회사
등록번호/일자 10-1230241-0000 (2013.01.31)
공개번호/일자 10-2012-0054793 (2012.05.31) 문서열기
공고번호/일자 (20130206) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.11.22)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***
2 거림테크 주식회사 대한민국 대구광역시 달서구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 지영호 대한민국 대구광역시 달서구
2 정세진 대한민국 대구광역시 달서구
3 이희진 대한민국 대구광역시 서구
4 허승헌 대한민국 서울특별시 동작구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 조성광 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***(가산동, 가산더블유센터) ****호(지본특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
2 거림테크 주식회사 대구광역시 달서구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.11.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0760450-85
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.07.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0406250-62
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2012-0747863-46
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.10.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0828879-09
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.10.12 수리 (Accepted) 1-1-2012-0828876-62
6 등록결정서
Decision to grant
2012.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0703247-68
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000353-25
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.02.24 수리 (Accepted) 4-1-2017-5029714-70
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
수송기체를 챔버 내부로 분사하는 회전식 가스분사기가 구비되어 있는 에어로졸 챔버; 내부에 기재가 배치된 저진공상태의 증착챔버; 및 일단은 상기 에어로졸 챔버와 연통되고 타단은 상기 증착챔버 내에 삽입되어 상기 기재를 향해 개구되어 있는 수송관; 을 포함하여 구성된 에어로졸 증착장치에 의해 다음의 각 단계로 시행되는세라믹 분말 에어로졸 증착 방법
2 2
제1항에서,상기 세라믹은 TiO2인 것을 특징으로 하는 세라믹 분말 에어로졸 증착 방법
3 3
제2항에서, 상기 기재는 투명전도막인 것을 특징으로 하는 세라믹 분말 에어로졸 증착 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.