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경도 및 마모성이 우수한 복합 질화물 코팅막 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015189490
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 비정질의 매트릭스 구조를 갖는 비금속 또는 비전이금속과 나노입자를 갖는 전이 금속이 혼재하는 3차원적 미세 구조를 갖는 복합 조직으로 형성함으로써, 기계 부품의 경도 및 마모성을 향상시킬 수 있는 복합 질화물 코팅막 및 그 제조 방법에 대하여 개시한다.본 발명에 따른 복합 질화물 코팅막 제조 방법은 (a) 증착 챔버 내에 장착되는 모재의 표면에 비대칭 마그네트론 스퍼터링으로 비금속 또는 비전이금속을 증착하여 피막을 형성하는 단계; 및 (b) 상기 증착 챔버 내에서, 상기 모재의 표면에 형성된 피막의 입계 또는 입내에 DC 스퍼터링 또는 아크 이온 플레이팅으로 전이 금속을 주입하여 복합 코팅막을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/46 (2006.01) C23C 14/14 (2006.01)
CPC C23C 14/35(2013.01) C23C 14/35(2013.01) C23C 14/35(2013.01) C23C 14/35(2013.01) C23C 14/35(2013.01)
출원번호/일자 1020110049905 (2011.05.26)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1293106-0000 (2013.07.30)
공개번호/일자 10-2012-0131615 (2012.12.05) 문서열기
공고번호/일자 (20130812) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.26)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오윤석 대한민국 서울특별시 강동구
2 양영환 대한민국 서울특별시 강서구
3 김형태 대한민국 서울특별시 서초구
4 김성원 대한민국 서울특별시 강동구
5 이성민 대한민국 경기도 광주시
6 김경자 대한민국 경기도 군포시 광정로 ***, 대림아파트

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2011-0394041-18
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.06.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.08.01 수리 (Accepted) 9-1-2012-0061738-00
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.12.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0739665-16
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.02.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-0101548-30
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.02.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0101549-86
7 등록결정서
Decision to grant		 2013.05.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0324839-87
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000353-25
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 증착 챔버 내에 장착되는 모재의 표면에 비대칭 마그네트론 스퍼터링으로 ⅢA ~ ⅥA족에 속하며, 매트릭스 상을 형성하는 비금속 또는 비전이금속을 증착하여 비금속 피막을 형성하는 단계; 및 (b) 상기 증착 챔버 내에서, 상기 모재의 표면에 형성된 비금속 피막의 입계 또는 입내에 DC 스퍼터링 또는 아크 이온 플레이팅으로 ⅢB ~ ⅥB족에 속하며, 경질 입자를 형성하는 전이 금속 주입하여 복합 질화물 코팅막을 0
2 2
제1항에 있어서,상기 모재는 금속 또는 세라믹 재질인 것을 특징으로 하는 복합 질화물 코팅막 제조 방법
3 3
삭제
4 4
제3항에 있어서,상기 비금속은 실리콘(Si), 질소(N), 탄소(C), 붕소(B) 및 산소(O) 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 복합 질화물 코팅막 제조 방법
5 5
제3항에 있어서,상기 비전이금속은 알루미늄(Al), 갈륨(Ga), 인듐(In), 게르마늄(Ge) 및 주석(Sn) 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 복합 질화물 코팅막 제조 방법
6 6
삭제
7 7
제6항에 있어서,상기 전이 금속은 티타늄(Ti), 바나듐(V), 크롬(Cr), 지르코늄(Zr), 니오븀(Nb), 하프늄(Hf), 탄탈륨(Ta), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W) 및 란탄족(La) 원소 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 복합 질화물 코팅막 제조 방법
8 8
제1항에 있어서,상기 비전이금속은 실리콘이고, 상기 전이 금속은 티타늄인 것을 특징으로 하는 복합 질화물 코팅막 제조 방법
9 9
삭제
10 10
모재의 표면에 ⅢA ~ ⅥA족에 속하며, 매트릭스 상을 형성하는 비금속 또는 비전이금속을 비대칭 마그네트론 스퍼터링으로 증착하여 형성된 비금속 피막의 입계 또는 입내에 ⅢB ~ ⅥB족에 속하며, 경질 입자를 형성하는 전이 금속을 DC 스퍼터링 또는 아크 이온 플레이팅으로 주입시켜 0
11 11
제10항에 있어서,상기 모재는 금속 또는 세라믹 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 복합 질화물 코팅막
12 12
삭제
13 13
제12항에 있어서,상기 비금속은 실리콘(Si), 질소(N), 탄소(C), 붕소(B) 및 산소(O) 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 복합 질화물 코팅막
14 14
제12항에 있어서,상기 비전이금속은 알루미늄(Al), 갈륨(Ga), 인듐(In), 게르마늄(Ge) 및 주석(Sn) 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 복합 질화물 코팅막
15 15
삭제
16 16
제15항에 있어서,상기 전이 금속은 티타늄(Ti), 바나듐(V), 크롬(Cr), 지르코늄(Zr), 니오븀(Nb), 하프늄(Hf), 탄탈륨(Ta), 몰리브덴(Mo), 텅스텐(W) 및 란탄족(La) 원소 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 복합 질화물 코팅막
17 17
제10항에 있어서,상기 비전이금속은 실리콘이고, 상기 전이 금속은 티타늄인 것을 특징으로 하는 복합 질화물 코팅막
18 18
삭제
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1 한국세라믹기술원 한국세라믹기술원 한국세라믹기술원 정책연구사업 저마찰 나노복합상 코팅기술개발