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몰드 처리방법

  • 기술번호 : KST2015189521
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 몰드 처리방법에 관한 것으로서, 소정의 패턴이 형성되어 있는 몰드를 마련하는 단계와; 상기 몰드의 표면에 수산화기 또는 아미노기를 도입하는 단계와; 상기 몰드에 다음 화학식 1로 표현된 표면처리 물질을 가하여 비접착 코팅층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.화학식 1.(여기서 R1은 서로 같거나 다를 수 있으며 CH3, F, CF3 중 어느 하나이고, R2는 상기 수산화기 또는 아미노기와 반응가능한 관능기임)이에 의해 몰드와 유기층 간의 접착을 감소시키는 몰드처리방법이 제공된다.
Int. CL H01L 21/306 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020060032465 (2006.04.10)
출원인 이화여자대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0705641-0000 (2007.04.03)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070417) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.04.10)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 이화여자대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김연상 대한민국 경기 고양시 덕양구
2 이내윤 대한민국 경기 용인시
3 이민정 대한민국 서울 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장기석 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)
2 허성원 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, 리더스빌딩 *층 (서초동)(신원국제특허법률사무소)
3 서동헌 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, 리더스빌딩 *층 (서초동)(신원국제특허법률사무소)
4 윤창일 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 이화여자대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.04.10 수리 (Accepted) 1-1-2006-0248630-03
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.12.05 수리 (Accepted) 9-1-2006-0082147-66
4 등록결정서
Decision to grant
2007.02.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0103861-13
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번호 청구항
1 1
소정의 패턴이 형성되어 있는 몰드를 마련하는 단계와;상기 몰드의 표면에 수산화기를 도입하는 단계와;상기 몰드에 다음 화학식 1로 표현된 표면처리 물질을 가하여 비접착 코팅층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 몰드 처리방법
2 2
제1항에 있어서,상기 화학식 1에서 상기 R2는 에폭시기를 포함하는 것을 특징으로 하는 몰드 처리방법
3 3
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 수산화기 도입 후에,상기 몰드 표면에 아미노기를 도입하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 몰드처리방법
4 4
제3항에 있어서,상기 아미노기의 도입은,상기 몰드에NH2를 말단기로 가지는 실란을 가하여 수행되는 것을 특징으로 하는 몰드처리방법
5 5
제4항에 있어서,상기 실란은 아미노프로필트리클로로실란(NH2(CH2)3SiCl3) 아미노프로필트리클로로실란(aminopropyltrichlorosilane), N-(3-(트리메톡시실릴)프로필)에틸렌디아민(N-(3-(Trimethoxysilyl)propyl)ethylenediamine), 4-아미노부틸트리에톡시실란(4-aminobutyltriethoxysilane), (아미노에틸아미노메틸)페네틸트리메톡시실란((aminoethylaminomethyl)phenethyltrimethoxysilane), N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필실란트리올(N-(2-aminoethyl)-3-aminopropylsilanetriol), N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란(N-(2-aminoethyl)-3-aminopropyltrimethoxysilane), N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필트리에톡시실란( N-(2-aminoethyl)-3-aminopropyltriethoxysilane), N-(6-아미노헥실)아미노메틸트리메톡시실란(N-(6-aminohexyl)aminomethyltrimethoxysilane), N-(6-아미노헥실)아미노프로필메톡시실란(N-(6-aminohexyl)aminopropyltrimethoxysilane), N-(2-아미노에틸)-11-아미노운데실트리메톡시실란(N-(2-aminoethyl)-11-aminoundecyltrimethoxysilane), 3-(m-아미노페녹시)프로필트리메톡시실란)(3-(m-aminophenoxy)propyltrimethoxysilane), m-아미노페닐트리메톡시실란(m-aminophenyltrimethoxysilane), p-아미노페닐트리메톡시실란(p-aminophenyltrimethoxysilane), N-3-[아미노(폴리프로필렌옥시)]아미노프로필트리메톡시실란(N-3-[amino(polypropylenoxy)]aminopropyltrimethoxysilane), 11-아미노운데실트리에톡시실란(11-aminoundecyltriethoxysilane), 3-아미노프로필메톡시실란(NH2(CH2)3Si(OCH3)3, 3-aminopropyltrimethoxysilane), 3-아미노프로필트리에톡시실란( NH2(CH2)3Si(OC2H5)3 , 3-aminopropyltriethoxysilane)으로 이루어진 군 중에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 몰드처리방법
6 6
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 수산화기의 도입은,상기 몰드를 산소 플라즈마 처리하거나, 상기 몰드를 UVO(UV with oxygen)처리하여 수행되는 것을 특징으로 하는 몰드처리방법
7 7
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 몰드의 재질은 폴리우레탄계 고분자 또는 아크릴계 고분자를 포함하며,상기 아크릴계 고분자는 펜타에리스리톨 프로폭실레이트 트리아크릴레이트(Pentaerythritol propoxylate triacrylate), 비스페놀 A 프로폭실레이트 다이아크릴레이트(Bisphenol A propoxylate diacrylate), 트리메틸롤프로판 에톡실레이트 트리아크릴레이트(Trimethylolpropane ethoxylate triacrylate)로 이루어진 군 중에서 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 몰드처리방법
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