| 요약 |
본 발명은 압전력(piezoelectric force)을 이용한 2축-구동 초미세 전기기계 시스템(Micro-Electro-Mechanical Systems; MEMS) 미러에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 (1) 기판과, (2) 기판 상에 마련되는 실리콘층과, (3) 실리콘층 상에 마련되고, 그 형상이 대칭이며 분리되어 있는 제1 대칭부 및 제2 대칭부를 포함하며, 압전 물질(piezoelectric material)을 포함하여 MEMS 미러가 서로 직교하는 제1 축 방향 및 제2 축 방향으로 회전(tilting)할 수 있도록 구동하기 위한 압전 구동부층과, (4) 실리콘층 상에 마련되며, 각각 제1 대칭부 및 제2 대칭부 내에 위치하는 한 쌍의 미러 받침대(mirror pedestal)와, (5) 한 쌍의 미러 받침대 상에 마련되는 미러 플레이트(mirror plate)를 포함하되, (6) 제1 대칭부 및 제2 대칭부는 각각, 미러 플레이트의 중심부를 인접하여 가로지르는 회전축을 포함하는 제1 '' 형상의 제1 압전 구동부와, 제1 압전 구동부의 제1 '' 형상 내부에 미러 받침대를 둘러싸는 제2 '' 형상의 제2 압전 구동부를 더 포함하며, (7) 실리콘층 및 압전 구동부층은 제1 압전 구동부의 제1 '' 형상의 양 끝점에서 기판에 고정되어, MEMS 미러의 제1 축 방향의 회전에 대한 고정점 역할을 하는 고정부를 더 포함하고, 제2 압전 구동부는 제2 '' 형상의 중심변과 회전축이 접속하여, MEMS 미러의 제2 축 방향의 회전에 대한 고정점 역할을 하는 접속점을 더 포함하는 MEMS 미러에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 서로 직교하는 제1 축 방향 및 제2 축 방향으로 독립적으로 구동할 수 있으며, 채움-인자가 크게 향상된 독립적 2-축 구동 MEMS 미러를 압전력을 이용하여 구현할 수 있다.초미세 전기기계 시스템(Micro-Electro-Mechanical Systems; MEMS), 미러, 2축-구동, 압전력(piezoelectric force), 기판, 실리콘층, 압전 구동부층, 미러 받침대, 미러 플레이트, 고정부, 대칭부, 압전 구동부, 회전축, 채움-인자, X-축 회전, Y-축 회전
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