| 요약 |
본 발명은 MEMS 미러에서 미러 판을 정전 구동부에 결합하는 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 (1) 구동부의 에칭 과정에서, 미러의 중심부에 구동부가 기판과 닿을 수 있도록 제1 면적의 지지 포스트(supporting post)를 남겨두는 단계와, (2) 미러 판의 바닥 면에 제1 면적보다 더 넓은 제2 면적의 받침대(pedestal)를 패터닝하는 단계와, (3) 받침대를 이용하여 미러 판을 구동부에 결합하는 단계와, (4) 지지 포스트를 제거할 수 있도록, 제1 면적보다는 넓고, 제2 면적보다는 좁은 제3 면적으로 에칭하는 단계를 포함하는 미러 판과 구동부의 결합 방법에 관한 것이다.본 발명에 따르면, 구동부의 에칭 과정에서 미러의 중심부에 구동부가 기판과 닿을 수 있도록 소정의 면적의 지지 포스트를 남겨두었다가 이 지지 포스트를 이용하여 미러 판을 구동부에 안전하게 결합한 후, 지지 포스트의 면적보다 넓은 면적으로 에칭하여 지지 포스트를 제거함으로써, 미러 판을 구동부와 결합하는 과정에서 구동부가 파손될 가능성을 크게 줄일 수 있다.MEMS 미러, 정전 구동 방식, 결합, 미러 판, 구동부, 에칭, 지지 포스트, 받침대, 기판, 면적
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