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a) 친수성 블록과 소수성 블록이 포함된 블록공중합체의 역마이셀 및 금속 또는 금속 산화물 나노입자 전구체를 함유하는 제1 혼합 용액을 기판 상에 도포하여 금속 또는 금속 산화물 나노입자 전구체가 담지된 블록공중합체 박막을 제조하는 단계; 및b) 상기 박막에 진공 분위기에서 자외선을 조사하여 금속 또는 금속 산화물 나노입자가 담지된 제1 블록공중합체 박막을 제조하는 단계 를 포함하는 3차원 다층막 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서, c) 제1 블록공중합체 박막 상에 친수성 블록과 소수성 블록이 포함된 블록공중합체의 역마이셀 및 금속 또는 금속 산화물 나노입자 전구체를 함유하는 제2 혼합 용액을 도포하여 금속 또는 금속 산화물 나노입자 전구체가 담지된 블록공중합체 박막을 제조하는 단계; 및d) 상기 단계 c)의 박막에 진공 분위기에서 자외선을 조사하여 금속 또는 금속 산화물 나노입자가 담지된 제2 블록공중합체 박막을 제조하는 단계를 추가로 포함하는 3차원 다층막 구조체의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제1 혼합 용액은 2종 이상의 금속 또는 금속 산화물 나노입자 전구체를 포함하는 3차원 다층막 구조체의 제조방법
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제 2 항에 있어서, 상기 제2 혼합 용액의 금속 또는 금속 산화물 나노입자 전구체는 제1 혼합 용액의 금속 또는 금속 산화물 나노입자 전구체와 동일하거나 상이한 것을 특징으로 하는 3차원 다층막 구조체의 제조방법
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제 2 항에 있어서, 상기 단계 a) 및 b)를 2회 이상 반복하고, 단계 c) 및 d)를 2회 이상 반복하는 단계를 포함하는 3차원 다층막 구조체의 제조방법
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제 1 항에 있어서, c'') 친수성 블록과 소수성 블록이 포함된 블록공중합체의 역마이셀을 함유하는 제 2 용액을 기판 상에 도포하여 블록공중합체 박막을 제조하는 단계;d'') 상기 박막에 진공 분위기에서 자외선을 조사하여 제 2 블록공중합체 박막을 제조하는 단계;를 추가로 포함하되, 상기 단계 a), b), c''), d'') 또는 단계 c''), d''), a), b) 순서대로 수행하는 3차원 다층막 구조체의 제조방법
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제 6 항에 있어서, 상기 단계 a) 및 b)를 2회 이상 반복하고, 단계 c'') 및 d'')를 2회 이상 반복하거나 상기 단계 c'') 및 d'')를 2회 이상 반복하고, 단계 a) 및 b)를 2회 이상 반복하는 단계를 포함하는 3차원 다층막 구조체의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 친수성 블록은 폴리비닐피리딘, 폴리에틸렌옥시드, 폴리아크릴산, 폴리메타크릴산, 폴리비닐알콜, 폴리아크릴아미드 및 폴리스티렌설폰산으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 중합체인 3차원 다층막 구조체의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 소수성 블록은 폴리스티렌, 폴리올레핀, 폴리알킬아크릴레이트, 폴리이소프렌, 폴리부타디엔, 폴리실록산, 폴리이미다졸, 폴리락티드, 폴리디메틸실록산 및 폴리락톤으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 중합체인 3차원 다층막 구조체의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 금속은 귀금속 또는 전이 금속을 포함하는 3차원 다층막 구조체의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 금속 또는 금속 산화물 나노입자 전구체는 금속 염화물, 금속 질산화물, 금속 산화물의 졸-겔 전구체 또는 친수성 리간드로 개질된 금속 또는 금속 산화물 나노입자인 3차원 다층막 구조체의 제조방법
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제 11 항에 있어서, 상기 친수성 리간드는 히드록시기(-OH) 또는 카르복시기(-COOH)인 3차원 다층막 구조체의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 친수성 블록 단량체에 대하여 금속 또는 금속 산화물 나노입자의 몰비가 0
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제 1 항에 있어서, 상기 기판 상에 제1 혼합 용액을 1000 내지 2500 rpm의 속도로 스핀 코팅을 사용하여 도포하는 3차원 다층막 구조체의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 자외선은 250 내지 260 nm의 파장, 20 내지 30 J/cm2의 세기로 1 내지 2 시간 동안 조사되는 3차원 다층막 구조체의 제조방법
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16
금속 또는 금속 산화물 나노입자가 담지된 하나 이상의 블록공중합체가 배열되어 있는 단일 층이 하나 이상 적층되어 있는 3차원 다층막 구조체
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제 16 항에 있어서, 상기 금속 또는 금속 산화물 나노 입자가 담지된 하나 이상의 블록공중합체가 배열되어 있는 단일 층; 및하나 이상의 블록공중합체가 배열되어 있는 단일 층이 교대로 적층되어 있는 3차원 다층막 구조체
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18
제 16 항에 있어서, 각 단일 층의 금속 또는 금속 산화물 나노 입자는 동일한 종류인 3차원 다층막 구조체
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제 16 항에 있어서, 각 단일 층의 금속 또는 금속 산화물 나노 입자는 상이한 종류인 3차원 다층막 구조체
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제 19 항에 있어서, 제1 금속 또는 금속 산화물 나노 입자를 포함하는 단일 층과 제2 금속 또는 금속 산화물 나노 입자를 포함하는 단일 층이 교대로 적층되어 있는 3차원 다층막 구조체
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제 19 항에 있어서, 제1 금속 또는 금속 산화물 나노 입자를 포함하는 단일 층이 2 이상 적층되어 있는 제1 단일 층 그룹과 제2 금속 또는 금속 산화물 나노 입자를 포함하는 단일 층이 2 이상 적층되어 있는 제2 단일 층 그룹이 교대로 적층되어 있는 3차원 다층막 구조체
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제 16 항에 있어서, 각 단일 층의 금속 또는 금속 산화물 나노 입자는 2종 이상의 금속 또는 금속 산화물 복합체인 3차원 다층막 구조체
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제 17 항에 있어서, 블록공중합체가 배열되어 있는 단일 층이 2 이상 적층되어 있는 제1'' 단일 층 그룹과 금속 또는 금속 산화물 나노 입자를 포함하는 단일 층이 2 이상 적층되어 있는 제2'' 단일 층 그룹이 교대로 적층되어 있는 3차원 다층막 구조체
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제 16 항 또는 제 17 항에 있어서, 광결정 특성을 갖는 3차원 다층막 구조체
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제 16 항 또는 제 17 항의 3차원 다층막 구조체를 포함하는 광촉매제
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제 16 항 또는 제 17 항의 3차원 다층막 구조체를 포함하는 광센서
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