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박막 상에 소정의 패턴을 형성하는 패터닝 방법에 있어서,기재 상에 적어도 한 층의 박막을 형성하는 단계;상기 박막 상에 복수의 노치(notch)를 형성하여 적어도 하나의 상기 노치에 의한 크랙을 발생시키는 단계; 및상기 발생된 크랙의 진행 및 상기 진행 중인 크랙의 중지를 통해 상기 박막에 소정의 패턴을 형성하는 단계를 포함하되,상기 크랙을 발생시키는 노치는 적어도 일단이 나노 규모(nanoscale)의 첨단(tip)의 형태인 박막 패터닝 방법
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제 1 항에 있어서,상기 크랙을 개시하는 단계는,식각 공정을 통해 상기 복수의 노치 중 적어도 하나의 노치를 형성하는 박막 패터닝 방법
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제 1 항에 있어서,상기 박막 및 기재 간의 막응력(membrane stress)이 클수록 상기 첨단의 예각은 작게 형성된 것인 박막 패터닝 방법
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제 1 항에 있어서,상기 첨단으로부터 개시되어 진행된 크랙은 사인파형, 직선형 및 바늘땀형 중 적어도 하나로 형성된 것인 박막 패터닝 방법
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제 4 항에 있어서,상기 바늘땀형의 크랙은,상기 기재 상에 둘 이상의 상기 박막이 형성된 상태에서 형성되며,상기 둘 이상의 박막 중 하부 제 1 박막에서 크랙이 개시된 후 상기 제 1 박막의 상부 제 2 박막에서 크랙이 개시되되,상기 제 2 박막의 크랙 개시 지점은 상기 제 1 박막의 크랙 개시 지점으로부터 특정 범위 이내로 근접한 것인 박막 패터닝 방법
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제 1 항에 있어서,상기 박막에 소정의 패턴을 형성하는 단계는,상기 복수의 노치 중 상기 첨단이 서로 상이한 방향으로 형성된 적어도 둘 이상의 노치의 각 첨단으로부터 개시된 크랙의 진행이 다른 첨단으로부터 진행된 크랙에 의해 중지되거나, 상기 크랙을 발생시키는 노치의 첨단으로부터 개시된 크랙이 다른 노치에 의해 중지되되,크랙을 중지시키는 상기 다른 노치는,상기 첨단의 예각이 상기 기재 및 박막 간의 막응력에서 크랙이 발생되지 않도록 크게 형성된 노치, 상기 진행된 크랙과 상기 첨단이 아닌 타단이 접하도록 형성된 노치, 및 상기 첨단이 비형성된 노치 중 적어도 하나인 것인 박막 패터닝 방법
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제 1 항에 있어서,상기 적어도 한 층의 박막은 나노 구조체인 것인 박막 패터닝 방법
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제 1 항에 있어서,상기 박막을 형성하는 단계 이후에,상기 박막이 형성된 기재를 계단형의 다층 구조로 생성하는 단계를 더 포함하되,상기 박막을 패터닝하는 단계에서 적어도 하나의 상기 노치에 의해 개시된 크랙이 상기 다층 구조 중 다른 층과의 경계에 접하면 중지되는 것인 박막 패터닝 방법
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제 8 항에 있어서,상기 다층 구조로 생성하는 단계는,이중 마스크 패턴 포토리소그래피 공정를 통한 회절-유도 계단형 리소그래피를 수행하는 단계를 포함하되,회절-유도 계단형 리소그래피를 수행하는 단계에서,상기 노치가 형성된 층은 초점면에 위치하고, 상기 노치가 형성되지 않은 층은 비초점면에 위치하도록 하는 것인 박막 패터닝 방법
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박막 상에 소정의 패턴이 형성된 구조물에 있어서,기재;상기 기재 상에 형성된 적어도 한 층의 박막;상기 박막 중 최상층 박막 상에 형성되되, 적어도 하나가 적어도 일단이 나노 규모(nanoscale)의 첨단(tip)의 형태인 복수의 노치(notch); 및상기 노치의 첨단에서 발생된 크랙의 진행 및 상기 진행 중인 크랙의 중지에 의해 형성된 소정의 패턴을 포함하는 박막 패터닝 구조물
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제 10 항에 있어서,상기 박막 및 기재 간의 막응력(membrane stress)이 클수록 상기 첨단의 예각은 작게 형성된 것인 박막 패터닝 구조물
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제 10 항에 있어서,상기 기재는 단일 결정 영역을 갖는 재료로 구성되되,상기 크랙의 진행 방향은 상기 기재의 결정 방향에 따라 형성된 것인 박막 패터닝 구조물
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제 10 항에 있어서,상기 크랙의 진행 방향은,상기 기재와 박막이 접합한 후의 재료 성질 이방성(anisotropic behavior)에 따라 형성된 박막 패터닝 구조물
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제 10 항에 있어서,상기 첨단으로부터 개시되어 진행된 크랙은 사인파형, 직선형 및 바늘땀형 중 적어도 하나로 형성된 박막 패터닝 구조물
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제 14 항에 있어서,상기 직선형의 크랙의 폭은 상기 사인파형의 크랙의 폭보다 좁게 형성된 것인 박막 패터닝 구조물
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제 14 항에 있어서,상기 바늘땀형의 크랙은,상기 기재 상에 둘 이상의 상기 박막이 형성된 상태에서 형성되며,상기 둘 이상의 박막 중 하부 제 1 박막에서 크랙이 개시된 후 상기 제 1 박막의 상부 제 2 박막에서 크랙이 개시되되,상기 제 2 박막의 크랙 개시 지점은 상기 제 1 박막의 크랙 개시 지점으로부터 특정 범위 이내로 근접한 것인 박막 패터닝 구조물
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제 14 항에 있어서,상기 바늘땀형의 크랙은,상기 개시 후 비진행 분기(non-propagating branches)하는 것인 박막 패터닝 구조물
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제 10 항에 있어서,상기 적어도 한 층의 박막은 나노 구조체인 것인 박막 패터닝 구조물
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제 10 항에 있어서,상기 소정의 패턴은,상기 복수의 노치 중 상기 첨단이 서로 상이한 방향으로 형성된 적어도 둘 이상의 노치의 각 첨단으로부터 개시된 크랙의 진행이 다른 첨단으로부터 진행된 크랙에 의해 중지되거나, 상기 크랙을 발생시키는 노치의 첨단으로부터 개시된 크랙이 다른 노치에 의해 중지되어 형성되되,크랙을 중지시키는 상기 다른 노치는,상기 첨단의 예각이 상기 기재 및 박막 간의 막응력에서 크랙이 발생되지 않도록 크게 형성된 노치, 상기 진행된 크랙과 상기 첨단이 아닌 타단이 접하도록 형성된 노치, 및 상기 첨단이 비형성된 노치 중 적어도 하나인 것인 박막 패터닝 구조물
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제 10 항에 있어서,상기 박막이 형성된 기재는 계단형의 다층 구조이되,적어도 하나의 상기 노치에 의해 개시된 크랙이 상기 다층 구조 중 다른 층과의 경계에 접하면 중지된 박막 패터닝 구조물
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제 20 항에 있어서,상기 다층 구조에서 적어도 하나의 층의 표면은 마찰력이 크게 생성된 것인 박막 패터닝 구조물
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제 20 항에 있어서,상기 다층 구조는,상기 노치가 형성된 면을 상기 노치가 형성되지 않은 면이 둘러싼 형태로 생성된 것인 박막 패터닝 구조물
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