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마이크로 전기 기계 장치 미러 어레이에서 어드레싱 라인을형성하는 방법

  • 기술번호 : KST2015189870
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 MEMS 미러 셀을 가로 및 세로 방향으로 배열한 MEMS 미러 어레이에서 각각의 MEMS 미러 셀을 개별적으로 제어할 수 있는 어드레싱 라인 형성 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 (1) MEMS 미러 어레이 하부의 기판을 에칭하여 어드레싱 라인이 배치될 수 있는 공간을 준비하는 단계와, (2) 준비된 공간을 이용하여, 어드레싱 라인을 배치하는 단계와, (3) MEMS 미러 어레이를 구성하는 각각의 MEMS 미러 셀의 구동 전극을 배치된 어드레싱 라인 중 대응하는 어드레싱 라인과 연결(bonding)하는 단계를 포함하는 어드레싱 라인 형성 방법에 관한 것이다.본 발명의 어드레싱 라인 형성 방법에 따르면, MEMS 미러 어레이 하부의 기판에 어드레싱 라인을 상감시켜 형성한 후, 각각의 MEMS 미러 셀의 구동 전극을 형성된 어드레싱 라인 중 대응하는 어드레싱 라인과 연결함으로써, 각각의 MEMS 미러 셀을 개별적으로 제어할 수 있게 하면서, 동시에 어드레싱 라인으로 인한 면적의 손실(dead area)을 줄임으로써 MEMS 미러 어레이 전체의 채움-인자(fill-factor)를 대폭 향상시킬 수 있다.MEMS 미러 셀, MEMS 미러 어레이, 어드레싱 라인, 기판, 에칭, (어드레싱 라인이 배치될 수 있는) 공간, 구동 전극, 연결(bonding), 채움-인자(fill-factor)
Int. CL G02B 26/08 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01)
CPC G02B 26/08(2013.01)
출원번호/일자 1020070017705 (2007.02.22)
출원인 이화여자대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0782555-0000 (2007.11.29)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20071206) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.02.22)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 이화여자대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박일흥 대한민국 경기 성남시 분당구
2 박재형 대한민국 서울 관악구
3 김용권 대한민국 서울 강남구
4 유병욱 대한민국 서울 관악구
5 문경화 대한민국 서울 은평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김건우 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***, 에이동 ***호 특허그룹덕원 (가산동, 우림 라이온스밸리)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 이화여자대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.02.22 수리 (Accepted) 1-1-2007-0155378-77
2 우선심사신청서
Request for Accelerated Examination
2007.02.22 수리 (Accepted) 1-1-2007-0155714-15
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.03.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.04.12 수리 (Accepted) 9-1-2007-0024549-03
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.04.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0210474-23
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.06.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0444640-36
7 의견서
Written Opinion
2007.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2007-0444635-18
8 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items
2007.06.28 수리 (Accepted) 1-1-2007-0472538-88
9 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2007.08.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0430744-50
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.10.08 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2007-0718721-30
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.10.08 수리 (Accepted) 1-1-2007-0718709-92
12 등록결정서
Decision to grant
2007.11.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0610421-96
13 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2010.10.30 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2010-0707646-49
14 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2010.11.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0096894-83
15 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2010.12.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2010-0108854-94
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번호 청구항
1 1
초미세 전기기계 시스템(Micro-Electro-Mechanical Systems; MEMS) 미러 셀을 가로 및 세로 방향으로 배열한 MEMS 미러 어레이에서, 상기 MEMS 미러 어레이를 구성하는 각각의 MEMS 미러 셀을 개별적으로 제어할 수 있는 어드레싱 라인을 형성하는 방법으로서,상기 MEMS 미러 어레이 하부의 기판을 에칭하여 어드레싱 라인이 배치될 수 있는 공간을 준비하는 단계;상기 준비된 공간을 이용하여, 어드레싱 라인을 배치하는 단계; 및상기 MEMS 미러 어레이를 구성하는 각각의 MEMS 미러 셀의 구동 전극을 상기 배치된 어드레싱 라인 중 대응하는 어드레싱 라인과 연결(bonding)하는 단계를 포함하되,어드레싱 라인을 배치하는 상기 배치 단계에서, 특정 MEMS 미러 셀의 구동 전극과 연결될 어드레싱 라인은 상기 특정 MEMS 미러 셀의 구동 전극과 연결될 수 있도록 기판 상으로 돌출되게 배치하며, 상기 특정 MEMS 미러 셀이 아닌 다른 MEMS 미러 셀의 구동 전극과 연결될 어드레싱 라인은 상기 특정 MEMS 미러 셀의 아래쪽을 지나갈 수 있도록 상기 준비된 공간 내부로 배치하는 어드레싱 라인 형성 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 MEMS 미러 어레이를 구성하는 MEMS 미러 셀의 수에 비례하여 어드레싱 라인을 배치하는 어드레싱 라인 형성 방법
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제1항에 있어서,어드레싱 라인을 MEMS 미러 셀의 구동 전극과 연결하는 상기 단계에서, 연결 방법에는 양극 연결(anodic bonding) 및 공융 연결(eutectic bonding)이 포함될 수 있는 어드레싱 라인 형성 방법
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제1항에 있어서,상기 기판은 유리 기판(glass substrate)일 수 있으며, 상기 어드레싱 라인의 재료에는 금(Au) 및 알루미늄(Al)이 포함될 수 있는 어드레싱 라인 형성 방법
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제4항에 있어서,어드레싱 라인을 배치하는 상기 단계에서, 니켈(Ni) 위에 금(Au) 및 알루미늄(Al)을 증착하여 어드레싱 라인을 형성하는 어드레싱 라인 형성 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술부 MEMS 우주망원경 연구단 창의적 연구진흥 지원연구 MEMS 기반 차세대 우주망원경 개발을 통한극한에너지 우주현상 연구