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상측이 개방되고 하부에 용융된 실리콘이 토출되는 토출부가 구비된 용기 형태로 이루어지며, 상기 토출부의 상부면에 대해 기울기를 갖고, 상기 토출부와 내벽을 연결하는 경사부를 구비하는 쿼츠 도가니; 및상기 쿼츠 도가니 내벽에 형성되는 다공성 코팅층;을 포함하는, 실리콘 결정성장용 도가니
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제 1 항에 있어서,상기 다공성 코팅층은 실리콘 나이트라이드(silicon nitride)를 포함하는, 실리콘 결정성장용 도가니
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제 1 항에 있어서,상기 쿼츠 도가니는 단면이 "U"자 및 "V"자 형상을 포함하는, 실리콘 결정성장용 도가니
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용융 물질 또는 분말 물질을 수용하기에 적합한 쿼츠 도가니를 준비하는 단계;상기 쿼츠 도가니의 내벽을 가열하는 단계; 및가열된 상기 쿼츠 도가니의 내벽에 다공성 미세 분말을 분사하여 복수의 공극(pore)을 포함하는코팅층을 형성하는 단계;를 포함하는, 실리콘 결정성장용 도가니의 제조방법
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제 4 항에 있어서,상기 코팅층은 상기 쿼츠 도가니의 내벽 전면을 코팅하는 것을 포함하는, 실리콘 결정성장용 도가니의 제조방법
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