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페릴렌 증착 장치 및 증착 방법

  • 기술번호 : KST2015190378
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 페릴렌 증착 장치 및 증착 방법이 제공된다. 본 발명에 따른 페릴렌 증착 장치는 페릴렌 전구체(이량체)가 담겨지는 용기; 상기 용기를 가열시킴으로써, 페릴렌 이량체 증기를 생성시키기 위한 제 1 가열기; 상기 용기와 수직 연결되어, 상기 용기로부터 발생한 상기 페릴렌 이량체 증기를 수직으로 유동시키기 위한 배관; 상기 배관의 단부에 연결된 증착 챔버; 및 상기 배관과 증착 챔버 사이에 구비되며, 상기 페릴렌 증기를 가열시켜 페릴렌 단량체를 형성시키는 제 2 가열기를 포함하는 것을 특징으로 하며, 배관 등에 페릴렌이 증착되는 문제를 효과적으로 방지할 수 있으므로, 페릴렌 증착 공정의 수율을 향상시킬 수 있다. 또한 종래 증착 설비에 비하여 본 발명에 따른 페릴렌 증착 장치는 설치 면적이 상대적으로 작으므로, 공간 활용이 용이하고, 설치 공정 또한 단순하다는 효과를 갖는다.
Int. CL C23C 16/00 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01)
CPC C23C 16/4586(2013.01) C23C 16/4586(2013.01) C23C 16/4586(2013.01) C23C 16/4586(2013.01) C23C 16/4586(2013.01)
출원번호/일자 1020080115892 (2008.11.20)
출원인 영남대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1025664-0000 (2011.03.22)
공개번호/일자 10-2010-0056895 (2010.05.28) 문서열기
공고번호/일자 (20110330) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.11.20)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 경산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박진호 대한민국 경상북도 경산시
2 구대욱 대한민국 경상북도 경산시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김성현 대한민국 부산광역시 연제구 중앙대로 ****, *층 (거제동)(아너스특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 경산시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2008-0801704-24
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2009.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2009-0055820-14
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2009-0002966-87
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.10.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.11.12 수리 (Accepted) 9-1-2009-0062076-68
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.12.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0577075-64
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.02.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0111570-45
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.02.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-0109165-64
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.02.16 수리 (Accepted) 1-1-2011-0111592-49
10 등록결정서
Decision to grant		 2011.03.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0153862-92
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2014-5029868-88
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2014-5037590-23
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2017-5175631-14
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5220555-67
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
페릴렌 전구체가 담겨지는 용기; 상기 용기를 가열시킴으로써, 페릴렌 증기를 생성시키기 위한 제 1 가열기; 상기 용기와 수직 연결되어, 상기 용기로부터 발생한 상기 페릴렌 증기를 수직으로 유동시키기 위한 배관; 상기 배관의 단부에 연결된 증착 챔버; 상기 배관과 증착 챔버 사이에 구비되며, 상기 페릴렌 증기를 가열시켜 페릴렌 단량체를 형성시키는 제 2 가열기; 및 상기 용기의 수직 높이를 조절함으로써, 상기 증착 챔버와 상기 용기 간의 배관 길이를 조절하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 페릴렌 증착 장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 페릴렌 증착 장치는 상기 제 2 가열기와 증착 챔버 사이에 챔버를 보호하기 위한 냉각기를 포함하는 것을 특징으로 하는 페릴렌 증착 장치
3 3
제 1항에 있어서, 상기 배관은 석영을 포함하는 것을 특징으로 하는 페릴렌 증착 장치
4 4
제 1항에 있어서, 상기 챔버에 연결되며, 상기 챔버를 진공 환경으로 만들기 위한 펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 페릴렌 증착 장치
5 5
제 1항에 있어서, 상기 제 1 가열기는 페릴렌을 80 내지 150℃의 온도로 가열하는 것을 특징으로 하는 페릴렌 증착 장치
6 6
제 1항에 있어서, 상기 제 2 가열기는 상기 증기 상태의 페릴렌을 600 내지 700℃의 온도로 가열하는 것을 특징으로 하는 페릴렌 증착 장치
7 7
고체 상태의 페릴렌 전구체를 제 1 가열하여 증기 상태의 페릴렌 이량체를 형성시키는 단계; 상기 증기 상태의 페릴렌 이량체를 수직으로 유동시키는 단계; 상기 수직으로 유동하는 증기 상태의 페릴렌 이량체를 제 2 가열하여 페릴렌 단량체를 형성하는 단계; 상기 페릴렌 단량체를 수직으로 유동시키는 단계; 및 상기 페릴렌 단량체를 소자 표면에 접촉시켜, 상기 소자 표면 상에 응축되면서 페릴렌 고분자 박막을 형성하는 단계를 포함하되, 상기 증착 챔버와 상기 용기 간의 배관 길이를 조절하는 수단을 구비하여 상기 용기의 수직 높이를 조절하게 되는 것을 특징으로 하는 페릴렌 증착 방법
8 8
제 7항에 있어서, 상기 제 1 가열은 상기 고체 상태의 페릴렌 전구체를 80 내지 150℃의 온도로 가열하는 것을 특징으로 하는 페릴렌 증착 방법
9 9
제 7항에 있어서, 상기 제 2 가열은 상기 기체 상태의 페릴렌 이량체를 600 내지 700℃의 온도로 가열하는 것을 특징으로 하는 페릴렌 증착 방법
10 10
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1 지식경제부 영남대학교 지방기술혁신사업(지역 R＆D 클러스터 구축 사업) 경북 융합형 첨단 유기겔 신소재 연구 개발 클러스터 구축사업