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태양전지 광흡수층 제조장치

  • 기술번호 : KST2015190464
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 목적은 인체에 위해한 H2Se나 가격이 높은 DESe를 사용하지 않고 순수한 셀레늄 증기를 이용한 셀렌화 공정을 효율적으로 수행할 수 있는 태양전지 광흡수층 제조장치를 제공하는 것이다본 발명의 일 관점에 따르면, 챔버; 상기 챔버 내부에 설치되는 스퍼터링 타겟 및 증발기; 및 기판이 장착되며, 상기 장착된 기판을 상기 챔버의 내부에서 상기 스퍼터링 타겟 및 상기 증발기에 대향되도록 회전이송시킬 수 있는 기판홀더;를 포함하는, 태양전지 광흡수층 제조장치가 제공된다.
Int. CL H01L 31/18 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01)
출원번호/일자 1020110017059 (2011.02.25)
출원인 영남대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1265967-0000 (2013.05.14)
공개번호/일자 10-2012-0097694 (2012.09.05) 문서열기
공고번호/일자 (20130524) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.03.08)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 경산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전찬욱 대한민국 서울특별시 중랑구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김남식 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
2 한윤호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
3 양기혁 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **(삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
4 이인행 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 경상북도 경산시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2011-0138769-00
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2011.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2011-0166605-22
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.12.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.01.17 수리 (Accepted) 9-1-2012-0005488-88
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.04.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0242893-07
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2012.06.21 수리 (Accepted) 1-1-2012-0495815-76
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.07.26 수리 (Accepted) 1-1-2012-0597149-35
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.07.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0597150-82
9 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2012.11.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0692440-15
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.01.15 수리 (Accepted) 1-1-2013-0038561-67
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.01.15 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0038560-11
12 등록결정서
Decision to grant		 2013.05.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0325255-02
13 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)		 2013.05.14 수리 (Accepted) 1-1-2013-0422446-77
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2014-5029868-88
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2014-5037590-23
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2017-5175631-14
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.10.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5220555-67
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
챔버;상기 챔버 내부에 설치된 스퍼터링 타겟 및 증발기; 및기판이 장착되며, 상기 장착된 기판을 상기 챔버의 내부에서 상기 스퍼터링 타겟 및 상기 증발기에 대향되도록 회전이송시킬 수 있는 기판홀더;를 포함하며,상기 챔버는상기 스퍼터링 타겟이 설치된 제1챔버;상기 제1챔버와 증발된 셀레늄이 통과할 수 있는 개방영역을 가진 격벽을 두고 인접하며, 상기 증발기가 상기 개방영역을 통해 상기 기판과 대향되도록 장착된 제2챔버;를 포함하며,상기 스퍼터링 타겟은 제1인듐 타겟, 제2인듐타겟 및 구리-갈륨 타겟을 포함하되, 상기 제1인듐 타겟, 제2인듐 타겟 및 구리-갈륨 타겟은 동일한 회전방향으로 소정의 회전각도를 가지고 제1인듐 타겟, 구리-갈륨 타겟 및 제2인듐 타겟의 순서로 이격 배치되는, 태양전지 광흡수층 제조장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서, 상기 증발기는 상기 스터퍼팅 타겟에 비해 하부에 설치되는, 태양전지 광흡수층 제조장치
7 7
제1항에 있어서, 상기 증발기는 셀레늄을 증발시킬 수 있는, 태양전지 광흡수층 제조장치
8 8
제1항에 있어서, 상기 기판홀더는 드럼형상을 가지고, 그 외주면에 상기 기판이 장착될 수 있는 장착부를 포함하는, 태양전지 광흡수층 제조장치
9 9
제8항에 있어서, 상기 기판홀더는 상기 드럼형상의 중심축을 중심으로 회전운동할 수 있는, 태양전지 광흡수층 제조장치
10 10
제1항에 있어서, 상기 제1인듐 타겟, 상기 제2인듐 타겟 및 상기 구리-갈륨 타겟은 하나의 원의 원주를 따라 배치되고,상기 기판홀더는 드럼형상을 가지고, 상기 드럼형상의 중심축은 상기 원의 중심과 일치하는, 태양전지 광흡수층 제조장치
11 11
제1항에 있어서, 상기 기판홀더에 장착된 기판을 가열할 수 있는 가열장치를 더 구비하는, 태양전지 광흡수층 제조장치
12 12
제11항에 있어서, 상기 가열장치는 상기 기판이 상기 증발기에 대향될 때 상기 기판을 가열할 수 있도록 배치되는, 태양전지 광흡수층 제조장치
13 13
삭제
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.